一种带智能风干功能的研磨机制造技术

一种带智能风干功能的研磨机，包括研磨机本体，研磨机本体上设置控制箱，所述控制箱上设置手动阀，手动阀的进气口连接气管、出气口连接软管，气管按照流动方向依次串联设置研磨机气缸、空气压缩机、稳压阀、电磁阀、手动阀，软管的活动端设置喷嘴，喷嘴上设置光电感应开关，光电感应开关与中间继电器串联并接入研磨机电源，中间继电器触点与电磁阀串联并接入研磨机电源。对硅片进行临时检测前，将硅片放置在喷嘴位置处，光电感应开关的感应光源被遮蔽并闭合，喷嘴喷出压缩空气，对硅片进行自动风干，实现风干硅片表面水分及研磨液，方便操作员观察硅片表面有无异常，有效提高研磨工序的加工稳定性及良率。加工稳定性及良率。加工稳定性及良率。

【技术实现步骤摘要】
一种带智能风干功能的研磨机


[0001]本技术属于研磨机
，具体涉及一种带智能风干功能的研磨机。

技术介绍

[0002]硅片在经过金刚线切割加工后，表面会存在深度约20μm～50μm的表面损伤层，通过研磨机械加工后，会极大降低表面损伤层的深度，再结合化学腐蚀可以较为完全地去除损伤层，同时，研磨机械加工还可以使硅片具有一定的几何尺寸精度。在硅片的研磨过程中，需要将硅片从硅片研磨机中取出，对硅片的表面进行临时检测，观察硅片表面有无划道、裂纹、杂质等异常，如果硅片的表面检测不合格，需要将硅片继续放置在硅片研磨机进行研磨，直到硅片研磨合格。硅片在研磨加工前后泡在水中，在研磨机械加工过程中，硅片表面存在研磨液，由于硅片表面氧化层的存在，表面整体呈亲水性，硅片表面容易存附水或研磨液，从而干扰硅片的临时检测，不利于操作员观察硅片加工过程中表面的滑道、杂质等等情况。现有处理方式是使用无尘布对硅片表面进行擦干，这种操作方式不仅容易增加硅片表面粗糙度，也会大幅降低加工效率，降低制程稳定性，或者将硅片研磨后不进行检测，直接将硅片送到检测程序进行质检，但容易打回返工，影响生产效率。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本技术提供一种带智能风干功能的研磨机。
[0004]本技术的目的是采用以下技术方案来实现。依据本技术提出的一种带智能风干功能的研磨机，包括研磨机本体，研磨机本体上设置控制箱，所述控制箱上设置手动阀，手动阀的进气口连接气管、出气口连接软管，气管按照流动方向依次串联设置研磨机气缸、空气压缩机、稳压阀、电磁阀、手动阀，软管的活动端设置喷嘴，喷嘴上设置光电感应开关，光电感应开关与中间继电器串联并接入研磨机电源，中间继电器触点与电磁阀串联并接入研磨机电源。
[0005]与现有技术相比，本技术方案的有益之处在于：对硅片进行临时检测前，将硅片放置在喷嘴位置处，光电感应开关的感应光源被遮蔽并闭合，喷嘴喷出压缩空气，对硅片进行自动风干，实现风干硅片表面水分及研磨液，方便操作员观察硅片表面有无异常，有效提高研磨工序的加工稳定性及良率。
[0006]进一步的，所述手动阀的壳体材料采用磁性材料并吸附在控制箱的外壳上。
[0007]与现有技术相比，本技术方案的有益之处在于：操作者可以根据需求，调整手动阀在控制箱上的位置，方便操作者的使用。
[0008]进一步的，所述软管的材质选用聚酯软管。
[0009]与现有技术相比，本技术方案的有益之处在于：可以将软管随意折弯并保持折弯的形状，操作者可以根据需要，调整软管的形状，以调整喷嘴的位置，方便操作者使用。
[0010]进一步的，所述喷嘴选用鸭嘴形式的扁平喷嘴。
[0011]与现有技术相比，本技术方案的有益之处在于：扁平喷嘴增大喷气的速度，同时扩
大喷气的范围；将硅片对准喷嘴进行风干时，沿着一个方向移动硅片，移动方向与喷嘴的宽度方向垂直，当硅片移动时，喷嘴喷出的空气逐渐扫过整个硅片，实现对硅片进行风干。
[0012]进一步的，所述研磨机电源、中间继电器、光电感应开关、电磁阀通过导线连接形成电路，所述导线通过捆绑的方式固定在气管、软管上。
[0013]与现有技术相比，本技术方案的有益之处在于：避免导线、气管、软管杂乱设置。
[0014]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
附图说明
[0015]图1为本技术一种带智能风干功能的研磨机实施例的示意图；
[0016]图2为图1中A处的放大示意图；
[0017]图3为图1所示实施例气路及电路的示意图。
[0018]【附图标记】
[0019]1‑
研磨机本体，2
‑
控制箱，3
‑
喷嘴，4
‑
光电感应开关，5
‑
手动阀，6
‑
电磁阀，7
‑
稳压阀，8
‑
中间继电器，9
‑
中间继电器触点，10
‑
空气压缩机，11
‑
研磨机气缸，12
‑
研磨机电源，13
‑
软管，14
‑
导线，15
‑
气管。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]本技术一种带智能风干功能的研磨机的实施例，如图1至图3所示，包括研磨机本体1、控制箱2、喷嘴3、光电感应开关4、手动阀5、电磁阀6、稳压阀7、中间继电器8、空气压缩机10、研磨机气缸11、研磨机电源12。
[0022]研磨机本体1为现有技术中的研磨机结构，用于对半导体硅片进行研磨，在此不再赘述。研磨机本体1上设置控制箱2，用于控制研磨机的运行。在控制箱上2的外壳上设置手动阀5，手动阀5的进气口连接气管15，出气口连接软管13，手动阀5用于控制气管15与软管13之间的通断，在使用该研磨机研磨硅片时，打开手动阀5。在本实施例中，手动阀5的壳体材料采用磁性材料，可以吸附在控制箱2的外壳上，并可以轻松取下，操作者可以根据需求，调整手动阀5在控制箱2上的位置，方便操作者的使用。
[0023]软管13的活动端设置喷嘴3，在本实施例中，软管13的材质选用聚酯软管，可以将软管13随意折弯并保持折弯的形状，操作者可以根据需要，调整软管13的形状，以调整喷嘴3的位置，方便操作者使用。
[0024]使用气管15依次串联研磨机气缸11、空气压缩机10、稳压阀7、电磁阀6、手动阀5，手动阀5通过软管13与喷嘴3连接，形成气路。空气压缩机10为气路提供压缩空气，压缩空气通过稳压阀7后形成稳定的压缩空气，稳定的压缩空气经过电磁阀6、手动阀5后从喷嘴3喷出。
[0025]在本实施例中，喷嘴3选用鸭嘴形式的喷嘴，增大喷气的速度，同时扩大喷气的范围。将硅片对准喷嘴进行风干时，沿着一个方向移动硅片，移动方向与喷嘴的宽度方向垂直，当硅片移动时，喷嘴喷出的空气逐渐扫过整个硅片，实现对硅片进行风干。
[0026]喷嘴3上设置光电感应开关4，在本实施例中，采用捆绑的方式将喷嘴3与光电感应开关4固定在一起。光电感应开关4与中间继电器8串联，并且光电感应开关4、中间继电器8接入研磨机电源12。电磁阀6与中间继电器触点9串联并接入研磨机电源12，中间继电器触点9为常开触点。研磨机电源12、中间继电器8、光电感应开关4、电磁阀通过导线14连接形成电路。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带智能风干功能的研磨机，包括研磨机本体，研磨机本体上设置控制箱，其特征在于：所述控制箱上设置手动阀，手动阀的进气口连接气管、出气口连接软管，气管按照流动方向依次串联设置研磨机气缸、空气压缩机、稳压阀、电磁阀、手动阀，软管的活动端设置喷嘴，喷嘴上设置光电感应开关，光电感应开关与中间继电器串联并接入研磨机电源，中间继电器触点与电磁阀串联并接入研磨机电源。2.根据权利要求1所述的一种带智能风干功能的研磨机，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚剑龙，李斌，周涛，赵娜，宋亚峰，
申请(专利权)人：洛阳鸿泰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：