一种微制绒抛光工艺制造技术

本发明专利技术提供了一种微制绒抛光工艺，本发明专利技术在湿法槽式碱抛中增加一个制绒槽，然后改变背抛工艺，具体表现为在碱抛功能槽之前增加一个微制绒功能槽，在碱抛之前用上述工艺配方进行制绒处理，消除硅片边缘与中间由于单面硼扩造成的掺杂浓度差异带来的材料理化性质的改变，获得边缘与中间塔基大小一致，且分布均匀错落有致的背面形貌，改良背抛后边缘与中间形貌差异造成的效率损失，整体效率提升约0.05%

【技术实现步骤摘要】
一种微制绒抛光工艺


[0001]本专利技术属于太阳能电池
，具体地说是一种微制绒抛光工艺。

技术介绍

[0002]随着能源更替的迫切需要，刺激了新能源行业高速发展，光伏也迎来了更大的风口。往往机遇与挑战并存，更高的光电转换效率成为该行业焦点中的焦点。电池效率的再次提升，需要更加先进的技术做背书；这些技术体现在光伏电池制造的各个环节，要求每个技术点都做到优中更优。
[0003]TOPCon电池是一种基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触 (Tunnel Oxide Passivated Contact)太阳能电池技术，其电池结构为N型硅衬底电池，在电池背面制备一层超薄氧化硅，然后再沉积一层掺杂硅薄层，二者共同形成了钝化接触结构，有效降低表面复合和金属接触复合，为N
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PERT电池转换效率进一步提升提供了更大的空间。TOPCon技术与n
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PERT双面电池产线相兼容，可以通过对n
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PERT双面电池产线简单的改造实现N型单晶双面TOPCon电池的规模化生产。隧穿氧化层可通过热氧法本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微制绒抛光工艺，其特征在于包括微制绒工艺：微制绒溶液为配比1.5%
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1.6%KOH，0.09%
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0.10%ADD1，温度80
±
2℃，时间200
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300s。2.根据权利要求1所述的一种微制绒抛光工艺，其特征在于，所述ADD1为时创TS55型制绒添加剂，其成分为：表面活性剂、成核剂、分散剂、催化剂、消泡剂中的一种或多种。3.根据权利要求1所述的一种微制绒抛光工艺，其特征在于，所述微制绒工艺得到尺寸为1.7
±
0.2μm大小的硅片表面金字塔结构。4.一种包含权利要求1至3任意之一所述微制绒工艺的TOPCon电池加工工艺，其特征是还包括预清洗的步骤：配比0.5%KOH，2%
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3%H2O2，温度55
±
5℃，时间60
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120s，清洗掉链式去BSG过程中可能产生的有机杂质，增加表面活性。5.一种包含权利要求1至3任意之一所述微制绒工艺的TOPCon电池加工工艺，其特征是还包括碱抛光的步骤：配比5%KOH，1.2%
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1.3%ADD2，温度68
±
2℃，时间120s。6.一种包含权利要求1至3任意之一所述微制绒工艺的TOPCon电池加工工艺，...

【专利技术属性】
技术研发人员：任常瑞，张文超，董建文，符黎明，
申请(专利权)人：常州时创能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：