硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装制造技术

本发明专利技术涉及硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，包含导轨以及位于其上的夹具支座，导轨底部安装有线圈，线圈连接电源和控制单元，夹具支座上设有用于夹持硬盘盘片的夹具，夹具支座内装有电磁体；通电后，导轨线圈产生的磁场极性与夹具支座上的电磁体极性保持相同，两者同性相斥，排斥力使夹具支座悬浮。利用磁性同性相斥的原理产生的推力高于地心引力，使工装平稳地悬浮在流水线轨道上方约3mm，通过控制工装及流水线的磁力大小，使工装运行平稳。磁悬浮原理，改变原有机械导轨安装方式，使夹持工装脱离基座进行流水作业，减少换型时间，减少机械摩擦而产生的微小颗粒而污染镀膜工艺所需的真空坏境，从而提高产品的合格率及效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装。
技术介绍
目前，硬盘盘片真空溅射镀膜所采用的夹持工装为机械导轨安装方式进行流水作业，不仅增加了换型时间，使机械之间产生摩擦，而且影响精度、污染真空环境，造成产品不良。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装。本专利技术的目的通过以下技术方案来实现:硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，特点是:包含导轨以及位于其上的夹具支座，所述导轨底部安装有线圈，线圈连接电源和控制单元，所述夹具支座上设有用于夹持硬盘盘片的夹具，夹具支座内装有电磁体；通电后，导轨线圈产生的磁场极性与夹具支座上的电磁体极性保持相同，两者同性相斥，排斥力使夹具支座悬浮。进一步地，上述的硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，其中，所述导轨两侧装有线圈，交流电使线圈变为电磁体，与夹具支座上的电磁体相互作用，使夹具支座前行。更进一步地，上述的硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，其中，所述夹具支座内间隔分布有数个电磁体。再进一步地，上述的硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，其中，所述夹具支座与导轨之间的悬浮间隙为3mm ο本专利技术技术方案突出本文档来自技高网...

【技术保护点】
硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，其特征在于：包含导轨以及位于其上的夹具支座，所述导轨底部安装有线圈，线圈连接电源和控制单元，所述夹具支座上设有用于夹持硬盘盘片的夹具，夹具支座内装有电磁体；通电后，导轨线圈产生的磁场极性与夹具支座上的电磁体极性保持相同，两者同性相斥，排斥力使夹具支座悬浮。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王忠明，郑广扣，陈勇，
申请(专利权)人：科瑞自动化技术苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32