下载硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装的技术资料

文档序号:12028233

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本发明涉及硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装,包含导轨以及位于其上的夹具支座,导轨底部安装有线圈,线圈连接电源和控制单元,夹具支座上设有用于夹持硬盘盘片的夹具,夹具支座内装有电磁体;通电后,导轨线圈产生的磁场极性与夹具支座上的电磁体极性保持相同,...
该专利属于科瑞自动化技术(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过科瑞自动化技术(苏州)有限公司授权不得商用。

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