框架夹紧装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种框架夹紧装置，其对支承被加工物的框架进行夹紧，不受使用了切削液的切削加工中产生的切削液的喷雾和污染物的影响，能够检测出是否夹紧了框架。在配设于卡盘工作台的外周且对支承被加工物的环状框架进行固定的框架夹紧装置(6)中，具有被定位于夹紧位置和开放位置的按压部件(63)，并且具有检测构件(64)，检测构件(64)通过在按压部件(63)处于夹紧位置时与按压部件(63)抵接，而使得真空垫(640)的抽吸孔(640a)被封闭，产生负压且压力值为规定的值以下，由此检测出按压部件(63)处于夹紧位置。由于切削液和污染物被从抽吸孔(640a)吸入，因此能够防止因它们的附着而使检测构件(64)不能工作。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种框架夹紧装置，其配置于卡盘工作台的外周，对支承黏着片上粘贴的被加工物的环状框架进行固定，所述框架夹紧装置的特征在于，具有：支承部件，其支承所述环状框架；致动器，其固定于所述支承部件且具有旋转轴；按压部件，其由按压部以及固定于所述致动器的旋转轴的固定部构成，所述按压部与所述固定部连接，且通过驱动所述固定部，所述按压部在夹紧位置和开放位置之间转动；以及检测构件，其对所述按压部件被定位于所述夹紧位置的情况进行检测，所述检测构件具有：真空垫，其配置于所述支承部件且具有抽吸孔；负压生成源，其与所述抽吸孔连通并生成负压；以及压力检测部，其对使所述负压生成源与所述抽吸孔连通的通路内的压力进行检测，所述真空垫位于这样的位置：在所述按压部件被定位于所述夹紧位置时，所述抽吸孔与所述按压部件的所述固定部抵接，所述抽吸孔被封闭，在所述按压部件被定位于所述夹紧位置时，所述真空垫的所述抽吸孔被抵接的所述固定部封闭而产生负压，由所述压力检测部检测出的压力表现为规定的值以下，当所述按压部件从所述夹紧位置转动向所述开放位置侧时，所述固定部从所述真空垫离开，负压从所述抽吸孔泄漏，由所述压力检测部检测出的压力表现为规定的值以上，检测出所述按压部件从所述夹紧位置移开。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：大河原聪，中西优尔，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP