加热盘检漏替代工装制造技术

加热盘检漏替代工装，由两个密封用端面结构不同的左连接块和右连接块通过一根两端带有螺纹的连杆连接而成；左连接块和右连接块分别位于连杆的两端，通过连杆连接成一体，呈对称状分布；连接杆两端带有相同的螺纹结构，中间为光杆结构，左连接块的密封用端面除了具有六个均布的安装孔外，还带有胶圈密封槽及定位销孔结构，定位销孔与六个安装孔位于同一圆周上；右连接块的密封用端面上只有六个均布的安装孔，没有其他结构。本发明专利技术结合已有的加热盘固定基座的安装孔及加热盘固定端的结构形式，设计一简单的连接件，通过其来实现对腔体加热盘处的密封，可以用于不同结构形式的加热盘固定基座和加热盘配合的情况下，替代加热盘进行预检漏。

【技术实现步骤摘要】
【专利说明】
:本专利技术涉及一种半导体镀膜设备采用的腔体检漏用工装，通过该工装来替代加热盘，进行腔体的检漏及前期其他工作，属于半导体薄膜沉积应用及制造

技术介绍
:在现有的半导体镀膜设备中，加热盘是关键的零部件。但因为国内的加工技术及加工工艺有限，所以加热盘均从国外进行整体采购。加热盘因自身的结构特点，导致其加工工艺复杂，加工周期较一般工件长。加其报关手续复杂，如果稍有差异，就会拖期，不能按时到货。有时，即使加热盘按时到货后，也会因为电气、机械等某一方面的性能不符合使用要求，导致不能正常安装使用。在工艺调试前，腔体漏率必须合格，这是保证整个设备可以进行工艺调试的先决条件。所以，在装配期间，我们需要对设备腔体进行预检漏。但多方面的因素都会导致整个设备不能按时进行安装调试，很多相关工作不能按期正常进行，直接影响整个设备交货周期，从而影响产品在市场上的销售。所以，必须有一款可以替代加热盘进行预检漏的部件，来保证设备的正常进行。
技术实现思路
:针对上述现有技术的不足，本专利技术提供了一种加热盘检漏替代工装。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是:加热盘检漏替代工装，由两个密封用端面结构不同的左连接块和右连接块通过一根两端带有螺纹的连杆连接而成。左连接块和右连接块分别位于连杆的两端，通过连杆连接成一体，呈对称状分布。连接杆两端带有相同的螺纹结构，用于与连接块的连接，中间为光杆结构，便于把持。左连接块的密封用端面除了具有六个均布的安装孔外，还带有胶圈密封槽及定位销孔结构。定位销孔与六个安装孔位于同一圆周上，胶圈密封槽位于安装孔的外部圆周处，并带有退刀孔。左连接块适用于原加热盘固定基座上有定位销，但没有密封槽的结构形式。右连接块的密封用端面上只有六个均布的安装孔，没有其他结构。该连接块适用于原加热盘固定基座上设有密封槽，但没有任何定位的结构形式。两个连接块除了密封用端面结构不同外，其余部位结构相同，每个连接块都是圆柱凸台结构，分为大、小同心圆柱面的结构形式。大的圆柱面外形尺寸与加热盘固定端的外形尺寸完全一致。小的圆柱面的端面上有一螺纹孔，该螺纹孔与连杆上的螺纹相匹配。螺纹孔的端面设有倒角，便于安装时旋入。大的圆柱面与小的圆柱面之间设有圆角，二者各自的端角处也都为圆角，无尖角存在。本专利技术结合已有的加热盘固定基座的安装孔及加热盘固定端的结构形式，设-H简单的连接件，通过其来实现对腔体加热盘处的密封，可以用于不同结构形式的加热盘固定基座和加热盘配合的情况下，替代加热盘进行预检漏。从而可以继续进行因为无加热盘而无法进行的其他工作。【附图说明】:图1是本专利技术实施例1的结构示意图。图2是图1的左视图。图3是图1的右视图。图4是实施例2的结构示意图图5是图4的左视图。 图6是实施例3的结构示意图。图7是图6的右视图。【具体实施方式】:下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。如图1-图3所示:加热盘检漏替代工装，由两个结构不同密封用端面I和密封用端面10的左连接块15和右连接块9，通过一根两端带有螺纹的连杆8连接而成。左连接块15和右连接块9分别位于连杆8的两端，通过连杆8连接成一体，呈对称状分布。连杆8两端带有相同的螺纹14结构，用于与连接块的连接，中间为光杆7结构，便于把持。A端连接块的密封用端面I除了具有六个均布的安装孔18外，还带有胶圈密封槽16及定位销孔17结构。定位销孔17与六个安装孔18位于同一圆周上，胶圈密封槽16位于安装孔18的外部圆周处，并带有退刀孔19 (如图2所示)。该连接块适用于原加热盘固定基座上有定位销，但没有密封槽的结构形式。B端连接块的密封用端面10上只有六个均布的安装孔20，没有其他结构。该连接块适用于原加热盘固定基座上设有密封槽，但没有任何定位的结构形式。左连接块15和右连接块9除了密封用端面I和密封用端面10结构不同外，其余部位结构相同，每个连接块都是圆柱凸台结构，分为大、小同心圆柱面的结构形式。大的圆柱面2外形尺寸与加热盘固定端的外形尺寸完全一致。小的圆柱面5的端面6上有一螺纹孔11，该螺纹孔11与连杆8上的螺纹14相匹配。螺纹孔11的端面设有倒角13，便于安装时旋入。大的圆柱面2与小的圆柱面5之间设有圆角3，二者各自的端角处也都为圆角3，无尖角存在。实施例2参照图4和图5，加热盘检漏替代工装，由连接块15和一根两端带有螺纹14的连杆8组合而成。连接块15是圆柱凸台结构，分为大、小同心圆柱面的结构形式。大的圆柱面2外形尺寸与加热盘固定端的外形尺寸完全一致。小的圆柱面5的端面6上有一螺纹孔11，该螺纹孔11与连杆8上的螺纹14相匹配。螺纹孔11的端面设有倒角13，便于安装时旋入。大的圆柱面2与小的圆柱面5之间设有圆角3，二者各自的端角处也都为圆角3，无尖角存在。实施例3参照图6和图7，加热盘检漏替代工装，由连接块9和一根两端带有螺纹14的连杆8组合而成。连接块9是圆柱凸台结构，分为大、小同心圆柱面的结构形式。大的圆柱面2外形尺寸与加热盘固定端的外形尺寸完全一致。小的圆柱面5的端面6上有一螺纹孔11，该螺纹孔11与连杆8上的螺纹14相匹配。螺纹孔11的端面设有倒角13，便于安装时旋入。大的圆柱面2与小的圆柱面5之间设有圆角3，二者各自的端角处也都为圆角3，无尖角存在。【主权项】1.加热盘检漏替代工装，其特征在于:由两个密封用端面结构不同的左连接块和右连接块通过一根两端带有螺纹的连杆连接而成；左连接块和右连接块分别位于连杆的两端，通过连杆连接成一体，呈对称状分布；连接杆两端带有相同的螺纹结构，中间为光杆结构，左连接块的密封用端面除了具有六个均布的安装孔外，还带有胶圈密封槽及定位销孔结构，定位销孔与六个安装孔位于同一圆周上，胶圈密封槽位于安装孔的外部圆周处，并带有退刀孔；右连接块的密封用端面上只有六个均布的安装孔，没有其他结构。2.如权利要求1所述的加热盘检漏替代工装，其特征在于:所述的左连接块和右连接块都是圆柱凸台结构，分为大、小同心圆柱面的结构形式，大的圆柱面外形尺寸与加热盘固定端的外形尺寸完全一致，小的圆柱面的端面上有一螺纹孔，该螺纹孔与连杆上的螺纹相匹配，螺纹孔的端面设有倒角，大的圆柱面与小的圆柱面之间设有圆角，二者各自的端角处也都为圆角，无尖角存在。3.如权利要求1所述的加热盘检漏替代工装，其特征在于:由连接块和一根两端带有螺纹的连杆组合而成，连接块是圆柱凸台结构，分为大、小同心圆柱面的结构形式，大的圆柱面外形尺寸与加热盘固定端的外形尺寸完全一致，小的圆柱面的端面上有一螺纹孔，该螺纹孔与连杆上的螺纹相匹配，螺纹孔的端面设有倒角，大的圆柱面与小的圆柱面之间设有圆角，二者各自的端角处也都为圆角，无尖角存在。4.如权利要求1所述的加热盘检漏替代工装，其特征在于:由连接块和一根两端带有螺纹的连杆组合而成，连接块是圆柱凸台结构，分为大、小同心圆柱面的结构形式，大的圆柱面外形尺寸与加热盘固定端的外形尺寸完全一致，小的圆柱面的端面上有一螺纹孔，该螺纹孔与连杆上的螺本文档来自技高网...

【技术保护点】
加热盘检漏替代工装，其特征在于:由两个密封用端面结构不同的左连接块和右连接块通过一根两端带有螺纹的连杆连接而成；左连接块和右连接块分别位于连杆的两端，通过连杆连接成一体，呈对称状分布；连接杆两端带有相同的螺纹结构，中间为光杆结构，左连接块的密封用端面除了具有六个均布的安装孔外，还带有胶圈密封槽及定位销孔结构，定位销孔与六个安装孔位于同一圆周上，胶圈密封槽位于安装孔的外部圆周处，并带有退刀孔；右连接块的密封用端面上只有六个均布的安装孔，没有其他结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴凤丽，国建花，
申请(专利权)人：沈阳拓荆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21