隔离型NLDMOS器件及其制造方法技术

技术编号:11514285 阅读:56 留言:0更新日期:2015-05-27 22:17
本发明专利技术公开了一种隔离型NLDMOS器件,包括:P型衬底上部的相邻N阱和P阱,P阱位于N型深阱中,N型深阱一侧边缘位于N阱与P阱相邻一侧弧形侧边的下方,P阱上部顺序设置有第一P型重掺杂区、第一场氧和第二P型重掺杂区,N阱上部设置有第二场氧和N型重掺杂区,栅氧化层位于P阱和N阱上方第二P型重掺杂区和第二场氧之间,栅极多晶硅位于栅氧化层和部分第二场氧上方,第一P型重掺杂区、第二P型重掺杂区和N型重掺杂区分别通过接触孔引出连接引线。本发明专利技术还公开了所示隔离型NLDMOS器件的制造方法。本发明专利技术的器件在保证器件关断电压提高的前提下同时能提高器件的开启电压。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种隔离型NLDMOS器件,其特征是,包括:P型衬底上部的相邻N阱和P阱,P阱位于N型深阱中,N型深阱一侧边缘位于N阱与P阱相邻一侧弧形侧边的下方,P阱上部顺序设置有第一P型重掺杂区、第一场氧和第二P型重掺杂区,N阱上部设置有第二场氧和N型重掺杂区,栅氧化层位于P阱和N阱上方第二P型重掺杂区和第二场氧之间,栅极多晶硅位于栅氧化层和部分第二场氧上方,第一P型重掺杂区、第二P型重掺杂区和N型重掺杂区分别通过接触孔引出连接引线。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘冬华段文婷钱文生
申请(专利权)人:上海华虹宏力半导体制造有限公司
类型:发明
国别省市:上海;31

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1