【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种隔离型NLDMOS器件,其特征是,包括:P型衬底上部的相邻N阱和P阱,P阱位于N型深阱中,N型深阱一侧边缘位于N阱与P阱相邻一侧弧形侧边的下方,P阱上部顺序设置有第一P型重掺杂区、第一场氧和第二P型重掺杂区,N阱上部设置有第二场氧和N型重掺杂区,栅氧化层位于P阱和N阱上方第二P型重掺杂区和第二场氧之间,栅极多晶硅位于栅氧化层和部分第二场氧上方,第一P型重掺杂区、第二P型重掺杂区和N型重掺杂区分别通过接触孔引出连接引线。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘冬华,段文婷,钱文生,
申请(专利权)人:上海华虹宏力半导体制造有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。