成膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术的成膜装置的旋转工作台单元具备旋转工作台和拆装自如地安装在旋转工作台上的第1更换单元及第2更换单元。载置在第2更换单元上的工件的直径与载置在第1更换单元上的工件的直径不同。为了将不同大小的工件与靶的距离维持为一定，将载置在第1更换单元上的工件的对置于靶射出面的位置与旋转工作台的旋转中心的距离设定为，与载置在第2更换单元上的工件的对置于靶射出面的位置与上述旋转中心的距离相同。

【技术实现步骤摘要】
成膜装置
本专利技术涉及通过从靶出来的粒子将工件成膜处理的成膜装置。
技术介绍
以往，已知有下述成膜装置：在真空腔室的内部进行真空电弧放电或溅射等使靶的材料蒸发，通过从靶表面飞出的粒子在载置于旋转工作台之上的工件的表面上形成硬质皮膜。这里，为了在成膜时将成膜速度及膜厚分布维持为一定，希望靶与工件表面的距离是一定。即，发生如果它们的距离变远则成膜速度下降、另一方面如果距离变近则膜厚分布的均匀性下降的问题，所以考虑这些点而希望上述距离为一定。因此，在被成膜处理的工件的大小不同的情况下，通常准备与工件的大小对应的专用的旋转工作台，使得靶与工件表面的距离为一定。但是，如果按照工件的大小准备专用的旋转工作台，则需要设备费用及用来保管多台的旋转工作台的空间。所以，为了解决这些问题，如在日本特许4234652号所记载那样，提出了尽管是一台旋转工作台的使用、但是也能够将不同大小的工件与靶的距离维持为一定的工件保持装置。该工件保持装置具备：中央齿轮，被不能旋转地固定；旋转工作台，具有将该中央齿轮的径向外侧包围的圆环状的导引部并与该中央齿轮同心地配置；齿轮单元，配置在中央齿轮与导引部之间；多个间隔件，分别拆装自如地设在齿轮单元上，具有不同的宽度；和多个载置台，设在齿轮单元上，载置工件。该齿轮单元具有与中央齿轮啮合的第1行星齿轮、旋转自如地支承第1行星齿轮的旋转轴、摆动自如地支承在旋转轴上的支承部件、与第1行星齿轮啮合的第2行星齿轮、和连结在该第2行星齿轮上的支承轴。旋转轴固定在旋转工作台的上表面上。支承轴被支承部件旋转自如地支承。因此，第2行星齿轮及支承轴经由支承部件绕第1行星齿轮的旋转轴摆动自如地被支承。在连结在第2行星齿轮上的支承轴的上端连结着载置台。该载置台能够与第2行星齿轮一起自转。进而，在支承轴上拆装自如地安装着间隔件。通过间隔件抵接在旋转工作台的导引部上，旋转工作台的向径向的移动被限制。此外，通过相邻的间隔件彼此抵接，旋转工作台的向周向的移动被限制。这样，间隔件抵接在旋转工作台的导引部上，旋转工作台的向径向的移动被限制，所以安装着间隔件的支承轴及连结在其上的载置台的公转轨道（即，以旋转工作台的旋转中心为中心的公转轨道）由间隔件的大小规定。在具有上述结构的工件保持装置中，通过使旋转工作台旋转，与固定齿轮啮合的第1行星齿轮一边自转一边绕旋转工作台的旋转中心公转，与此同时，与第1行星齿轮啮合的第2行星齿轮及经由支承轴相对于该第2行星齿轮连结的载置台也一边自转一边公转。结果，能够使载置在载置台上的工件一边自转一边绕旋转工作台的旋转中心公转。由此，能够通过从设置在工件的公转轨道的外部的靶出来的粒子进行工件的成膜处理。此外，通过根据工件的大小变更为与其对应的大小的载置台及间隔件，能够将载置在多个载置台上的工件的公转轨道的半径维持为一定。由此，能够将靶与工件的距离维持为一定。日本特许4234652号的工件保持装置具备用来将载置工件的载置台及支承它的支承轴的公转轨道维持为一定的多个间隔件，这些间隔件抵接在旋转工作台的导引部上并且相邻的间隔件彼此也抵接。这里，在进行成膜处理的期间中，由于从靶表面飞出的粒子具有较高的能量，所以成膜装置的真空腔室内部成为非常高温。因此，这些间隔件热膨胀。但是，如果如上述那样任一个间隔件抵接在旋转工作台的导引部上并且相邻的任一个间隔件相互抵接，则不能将因间隔件的热膨胀带来的尺寸变化量吸收，由此齿轮单元有可能不再能够正常地动作。因此，载置工件的载置台有可能难以自转及公转。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述那样的情况而做出的，目的是提供一种在实现工件的自转及公转的同时能够将不同大小的工件与靶的距离维持为一定的成膜装置。作为用来解决上述课题的技术方案，本专利技术的成膜装置是将工件通过从靶出来的粒子进行成膜处理的成膜装置，具备腔室和旋转体单元；所述腔室具有上述靶；所述旋转体单元收存在上述腔室内部；上述旋转体单元具有旋转体、驱动部和多个更换单元；所述驱动部将上述旋转体旋转驱动；所述多个更换单元具有工件载置部及支承部，所述工件载置部载置上述工件，所述支承部能够旋转地支承上述工件载置部。多个上述更换单元以在上述旋转体的周向上相互离开间隔而排列的方式拆装自如地安装在上述旋转体上。根据这样的结构，由于更换单元拆装自如地安装在旋转体上，所以能够选定各种尺寸的更换单元而安装到旋转体上。因而，通过选定具有与载置到工件载置部上的工件的大小对应的长度的支承部的更换单元，将该更换单元拆装自如地安装到旋转体上，能够将不同大小的工件与靶的距离维持为一定。并且，当将多个更换单元向旋转体拆装自如地安装时，以在旋转体的周向上相互离开间隔而排列的方式安装，所以更换单元彼此不抵接。因此，即使在成膜处理的期间中这些更换单元热膨胀，也能够由各个更换单元将因热膨胀带来的尺寸变化量吸收，所以不给工件的自转及公转带来影响。优选的是，上述多个更换单元包括多个第1更换单元和多个第2更换单元；所述多个第1更换单元具有第1工件载置部及第1支承部，以在上述旋转体的周向上相互离开间隔而排列的方式拆装自如地安装在该旋转体上，所述第1工件载置部载置具有第1直径的上述工件，所述第1支承部能够旋转地支承该第1工件载置部；所述多个第2更换单元具有第2工件载置部及第2支承部，以在上述旋转体的周向上相互离开间隔而排列的方式拆装自如地安装在该旋转体上，所述第2工件载置部载置具有比上述第1直径大的第2直径的工件，所述第2支承部能够旋转地支承该第2工件载置部；选择上述第1更换单元及上述第2更换单元中的至少一方，安装到上述旋转体上。根据这样的结构，由于具有第1更换单元及第2更换单元，所述第1更换单元及第2更换单元分别具有与不同大小的工件对应的工件载置部即第1工件载置部及第2工件载置部，所以能够根据工件的大小进行第1及第2更换单元的更换。通过选择这些第1及第2更换单元中的任一方并拆装自如地安装到旋转体上，能够将不同大小的工件与靶的距离维持为一定。优选的是，将分别载置在上述第1工件载置部上的工件的对置于上述靶的粒子出来的射出面的位置与上述旋转体的旋转中心的距离设定为，与分别载置在上述第2工件载置部上的工件的对置于上述射出面的位置与上述旋转体的旋转中心的距离相同。根据这样的结构，由于靶与分别载置在多个第1更换单元的第1工件载置部上的工件的距离、和该靶与分别载置在多个第2更换单元的第2工件载置部上的工件的距离为一定，所以能够将不同大小的工件与靶的距离维持为一定。此外，优选的是，上述靶配置在上述旋转体的径向外侧；将分别载置在多个上述第1工件载置部上的多个工件分别在上述旋转体的径向外侧接触的外接圆的半径设定为，与分别载置在多个上述第2工件载置部上的多个工件分别在上述旋转体的径向外侧接触的外接圆的半径相同，多个上述第1工件载置部沿上述旋转体的周向排列，多个上述第2工件载置部沿该旋转体的周向排列。在靶配置在旋转体的径向外侧的情况下，靶距旋转体的旋转中心的距离是一定的。所以，通过如上述那样将载置在第1工件载置部及第2工件载置部上的多个工件的外接圆的半径设定为相互相同，从靶距旋转体的旋转中心的距离减去这些外接圆的半径后的距离，即靶与载置在第1更换单元及第2更换单元的各自的工件载置部上的工件的距离为一定。此本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种成膜装置，将工件通过从靶出来的粒子进行成膜处理，其特征在于，具备腔室和旋转体单元；所述腔室具有上述靶；所述旋转体单元收存在上述腔室内部；上述旋转体单元具有旋转体、驱动部和多个更换单元；所述驱动部将上述旋转体绕旋转中心旋转驱动；所述多个更换单元具有工件载置部及支承部，以在上述旋转体的周向上相互离开间隔而排列的方式拆装自如地安装在上述旋转体上，所述工件载置部载置上述工件，所述支承部能够旋转地支承上述工件载置部。

【技术特征摘要】
2013.11.18 JP 2013-2378591.一种成膜装置，将工件通过从靶出来的粒子进行成膜处理，具备腔室和旋转体单元；所述腔室具有上述靶；所述旋转体单元收存在上述腔室内部；其特征在于，上述旋转体单元具有旋转体、驱动部和多个更换单元；所述驱动部将上述旋转体绕旋转中心旋转驱动；所述多个更换单元具有工件载置部及支承部，以在上述旋转体的周向上相互离开间隔而排列的方式拆装自如地安装在上述旋转体上，所述工件载置部载置上述工件，所述支承部能够旋转地支承上述工件载置部。2.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，上述多个更换单元包括多个第1更换单元和多个第2更换单元；所述多个第1更换单元具有第1工件载置部及第1支承部，以在上述旋转体的周向上相互离开间隔而排列的方式拆装自如地安装在该旋转体上，所述第1工件载置部载置具有第1直径的多个工件，所述第1支承部能够旋转地支承该第1工件载置部；所述多个第2更换单元具有第2工件载置部及第2支承部，以在上述旋转体的周向上相互离开间隔而排列的方式拆装自如地安装在该旋转体上，所述第2工件载置部载置具有比上述第1直径大的第2直径的多个工件，所述第2支承部能够旋转地支承该第2工件载置部；选择上述第1更换单元及上述第2更换单元中的至少一方，安装到上述旋转体上。3.如权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，将分别载置在上述第1工件载置部上的工件的对置于上述靶的粒子出来的射出面的位置与上述旋转体的上述旋转中心的距离设定为，与分别载置在上述第2工件载置部上的工件的对置于上述射出面的位置与上述旋转体的旋转中心的距离相同。4.如权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，上述靶配置在上述旋转体的径向外侧；将分别载置在上述多个第1工件载置部上的多个工件分别在上述旋转体的径向外侧接触的外接圆的半径设定为，与分别载置在上述多个第2工件载置部上的多个工件分别在上述旋转体的径向外侧接触的外接圆的半径相同，上述多个第1工件载置部沿上述旋转体的周向排列，上述多个第2工件载置部沿该旋转体的周向排列。5.如权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，上述靶配置在上述旋转体的中心轴上；将分别载置在多个上述第1工件载置部上的多个工件分别在上述旋转体的径向内侧接触的内接圆的半径设定为，与分别载置在多个上述第2工件载置部上的多个工件分别在上述旋转体的径向内侧接触的内接圆的半径相同，多个上述第1工件载置部沿上述旋转体的周向排列，多个上述第2工件载置部沿该旋转体的周向排列。6.如权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，上述旋转体具有多个第1安装部和多个第2安装部；所述多个第1安装部安装多个上述第1更换单元；所述多个第2安装部安装多个上述第2更换单元；上述多个第1安装部具有与...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤井博文，
申请(专利权)人：株式会社神户制钢所，
类型：发明
国别省市：日本;JP