本发明专利技术提供一种粉体粉体供给器。粉体供给器(1)具备：搅拌部(3)，其搅拌原料物质(6)；气溶胶化部(4)，其引入径搅拌的原料物质(6)和载气，使原料物质(6)气溶胶化而生成气溶胶(62)，在气溶胶化部(4)的下游侧设置有喷出气溶胶(62)的喷出口(53)，在搅拌部(3)和气溶胶化部(4)之间设置有隔板(8)，在隔板(8)上形成有从搅拌部(3)侧向气溶胶化(4)部侧扩大，将经搅拌的原料物质(6)导出至气溶胶化部(4)的导出孔(8H)。
Powder feeder, film forming device, and film forming method
The present invention provides a powder powder feeder. Powder supply device (1) includes a stirring part (3), the mixing of raw material (6); aerosolize Department (4), the diameter of raw material mixing (6) and the carrier gas, the raw material (6) aerosol generated aerosol (62), the Ministry of solation in the gas (4) is arranged downstream of the aerosol spray (62) of the discharge port (53), (3) and in the stirring part of sol (4) is arranged between the baffle plate (8), the partition (8) is formed from the mixing section (3) lateral aerosolize (4) the side to expand, raw material mixing (6) export to aerosolize Department (4) export hole (8H).
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】粉体供给器、成膜装置、及成膜方法
本专利技术涉及一种物品移动工具及陈列柜。本案基于2014年9月17日在日本提出申请的日本特愿2014－189134号主张优先权，并在此引用其内容。
技术介绍
作为在基材的表面形成薄膜的方法之一，有气溶胶沉积法(以下，记载为AD法)。所谓AD法是指将作为原料物质的粉体粉碎而获得纳米尺寸的微粒，在使该微粒气溶胶化后，使用由氮气等非活性气体形成的载气，使所生成的气溶胶从亚音速加速到超音速程度而将其物理性地吹送至基材的方法。在AD法中，由于冲击固化现象，原料物质和基材、或原料物质彼此而强力接合，因此在基材表面以较低的温度条件和较高的成膜速度形成薄膜。AD法具有可实现常温下的成膜，基材特性的限制少等优点。因此，业界正盛行具备使用AD法所形成的薄膜的各种电子零件等的开发。如上所述，在AD法中，必须使原料物质气溶胶化。目前采用通过将预先制备的可气溶胶化的原料物质收纳在容器内，向该容器导入载气，从而生成气溶胶的方法。例如专利文献1中公开有一种复合结构物形成系统，其具备：收纳原料物质收纳机构；和使收纳在该收纳部件的原料物质分散在载气中而形成气溶胶的气溶胶化机构。在该系统中，在收纳机构和气溶胶化机构之间设置有从收纳机构向气溶胶化机构供给原料物质的供给机构。并且，在供给机构设置有压力阻断机构，该压力阻断机构使收纳机构内的压力和气溶胶化机构内的压力设置压力差，并阻断收纳机构和气溶胶化机构之间的载气流。通过该构成，能够在该复合结构物形成系统保持运转的状态下，向收纳机构补充原料物质。专利文献1:日本特开2006－206976号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题但是，在专利文献1中所记载的复合结构物形成系统中，作为压力阻断的方法，采用在收纳机构和气溶胶化机构之间将原料物质压紧的方法，因此存在原料物质凝聚，原料物质向气溶胶化机构的导出量产生不一致，气溶胶变得不稳定的问题。专利文献1中虽然公开有可利用粉碎方法使从收纳机构挤出且经过压缩的原料物质散开的主旨内容，但有可能原料物质未充分地散开至可稳定地生成气溶胶的程度。本专利技术是鉴于上述情况而开发的，提供一种不对原料物质压紧就能够抑制再凝聚而稳定且高效地生成气溶胶的粉体供给器及具备该粉体供给器的成膜装置以及使用它们的成膜方法。用于解决课题的技术方案[1]一种粉体供给器，其具备：搅拌部，其搅拌原料物质；气溶胶化部，其装入经过搅拌的所述原料物质和载气，并使所述原料物质气溶胶化而生成气溶胶；喷出口，其喷出所述气溶胶，在所述搅拌部和所述气溶胶化部之间设置有隔板，在所述隔板上形成有导出孔，所述导出孔从所述搅拌部侧向所述气溶胶化部侧扩大，并将经过搅拌的所述原料物质导出至气溶胶化部。[2]如所述[1]记载的粉体供给器，其中，所述导出孔的所述搅拌部侧的最小开口宽度为经过搅拌的所述原料物质的平均粒径的100倍以上100000倍以下。[3]如所述[1]或所述[2]记载的粉体供给器，其中，所述导出孔的开口面积的扩大倍数为10倍以上1000倍以下。[4]如所述[1]～[3]中任一项记载的粉体供给器，其中，所述搅拌部具备能够以轴线为中心进行旋转的搅拌叶片，在所述搅拌叶片上形成有使所述原料物质通过的孔部或切口。[5]如所述[1]～[4]中任一项记载的粉体供给器，其中，在所述隔板和所述喷出口之间设置有具有多个微孔的部件。[6]如所述[1]～[5]中任一项记载的粉体供给器，其中，在所述隔板的所述搅拌部侧插入有粉碎用介质。[7]一种成膜装置，其具备一个以上的所述[1]～[6]中任一项记载的粉体供给器，并且具备：收纳作为成膜对象的基材的成膜室，和将从所述粉体供给器导入至所述成膜室的气溶胶向所述基材进行喷射的喷射部。[8]一种成膜方法，该方法包括：使用所述[1]～[6]中任一项记载的粉体供给器或所述[7]记载的成膜装置，在基材上形成薄膜。专利技术的效果根据本专利技术，提供不将原料物质压紧而抑制再凝聚，从而能够稳定且高效地生成气溶胶的粉体供给器及具备该粉体供给器的成膜装置以及使用它们的成膜方法。附图说明图1是表示本专利技术一个实施方式的粉体供给器的剖面图；图2是表示本专利技术一个实施方式的粉体供给器的第一变形例的剖面图；图3是表示本专利技术一个实施方式的粉体供给器的第二变形例的剖面图；图4是表示本专利技术一个实施方式的粉体供给器的第三变形例的剖面图；图5是表示本专利技术一个实施方式的粉体供给器的第四变形例的剖面图；图6是表示本专利技术一个实施方式的粉体供给器的第五变形例的剖面图；图7是表示本专利技术一个实施方式的粉体供给器的第六变形例的剖面图；图8是表示本专利技术一个实施方式的粉体供给器的第七变形例的剖面图；图9是用于说明本专利技术一个实施方式的粉体供给器的使用方法的概略图；图10是用于说明本专利技术一个实施方式的粉体供给器的使用方法的概略图；图11是本专利技术一个实施方式的粉体供给器的使用方法的概略图；图12是表示具备本专利技术一个实施方式的粉体供给器的成膜装置的构成的概略图；图13是表示本专利技术一个实施方式的粉体供给器的第八变形例的剖面图。符号说明1…粉体供给器3…搅拌部3B…搅拌叶片3D…搅拌棒4…气溶胶化部6…原料物质8…隔板8H…导出口10…成膜装置11…成膜室20…滚珠(粉碎用介质)21…部件41…基材53…喷出口62…气溶胶C…切口H…孔部J…轴线具体实施方式以下，参照图1至图8对使用本专利技术的一个实施方式的粉体供给器及具备该粉体供给器的成膜装置以及使用它们的成膜方法进行说明。以下的说明中使用的附图为示意图，长度、宽度及厚度的比率等未必与实物相同，可适当变更。在以下的说明中所例示的材料等为一个例子，本专利技术并不限定于这些，可以不变更其主旨的范围内适当变更而实施。[粉体供给器]图1至图7是表示本专利技术第一个实施方式的粉体供给器1的剖面图。如图1至图7所示，本实施方式的粉体供给器1至少具备搅拌部3、气溶胶化部4和喷出口53。本实施方式的粉体供给器1具备搅拌部3、收纳气溶胶化部4及喷出口53的生成容器5。生成容器5为粉体供给器1的箱体，在同一空间内分别具备搅拌部3、气溶胶化部4、喷出口53及隔板8。生成容器5是连续地生成气溶胶62并送出至外部的容器状的部件，形成为大致筒状，使得容易对所填充的原料物质进行搅拌。生成容器5设置有上部导入口51及下部导入口52作为两处载气导入口。并且，在生成容器5的底部(气溶胶化部4的下游侧)设置有将所生成的气溶胶62送出至外部的喷出口53。载气没有特别限定，例如使用氧气、氮气、稀有气体、空气(大气)等。搅拌部3是用于粉碎及搅拌原料物质6的部位，兼作收纳作为气溶胶62的原料的原料物质6的部位。搅拌部3在生成容器5的内部，经由隔板8的导出孔8H与气溶胶化部4连通而构成。用于将原料物质6填充至搅拌部3的构成没有特别限定。虽然省略详细的图示，但为了将原料物质6填充至搅拌部3，例如可以采用下述构成：可在生成容器5的上部设置盖体，在生成容器5的高度方向的任一位置将生成容器5的内部上下分割且可开闭。也可以利用管材等将另一容器连接于生成容器5，向该容器内填充原料物质6，并且从该容器原料物质6至生成容器5，而不限定于图1至图11例示的配置及构成。搅拌部3由粉碎及搅拌由原料物质6的粉碎搅拌装置构成。作为粉碎搅拌装置，优选以将形成搅本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种粉体供给器，其具备：搅拌部，其搅拌原料物质；气溶胶化部，其装入经过搅拌的所述原料物质和载气，并使所述原料物质气溶胶化而生成气溶胶；喷出口，其喷出所述气溶胶，在所述搅拌部和所述气溶胶化部之间设置有隔板，在所述隔板上形成有导出孔，所述导出孔从所述搅拌部侧向所述气溶胶化部侧扩大，并将经过搅拌的所述原料物质导出至气溶胶化部。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.17 JP 2014-1891341.一种粉体供给器，其具备：搅拌部，其搅拌原料物质；气溶胶化部，其装入经过搅拌的所述原料物质和载气，并使所述原料物质气溶胶化而生成气溶胶；喷出口，其喷出所述气溶胶，在所述搅拌部和所述气溶胶化部之间设置有隔板，在所述隔板上形成有导出孔，所述导出孔从所述搅拌部侧向所述气溶胶化部侧扩大，并将经过搅拌的所述原料物质导出至气溶胶化部。2.如权利要求1所述的粉体供给器，其中，所述导出孔的所述搅拌部侧的最小开口宽度为经过搅拌的所述原料物质的平均粒径的100倍以上100000倍以下。3.如权利要求1或2所述的粉体供给器，其中，所述导出孔的开口面积的扩大倍数为10倍以上1000...
【专利技术属性】
技术研发人员：铃木尊士，片桐友章，功刀俊介，
申请(专利权)人：积水化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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