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本发明的成膜装置的旋转工作台单元具备旋转工作台和拆装自如地安装在旋转工作台上的第1更换单元及第2更换单元。载置在第2更换单元上的工件的直径与载置在第1更换单元上的工件的直径不同。为了将不同大小的工件与靶的距离维持为一定，将载置在第1更换单元...
该专利属于株式会社神户制钢所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社神户制钢所授权不得商用。

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