一种加热腔室制造技术

本发明专利技术提供一种加热腔室，用于加热工件，所述加热腔室包括：主腔室，所述工件能够竖直地设置在所述主腔室中；热源腔室，所述热源腔室设置于所述主腔室的至少一侧并与所述主腔室固定连接，以对所述主腔室内的工件进行加热。本发明专利技术能够对工件进行均匀加热以除去工件上吸附的水蒸气以及易挥发杂质，与现有技术相比，本发明专利技术能够使得工件的受热更加均匀，使得杂质去除更加干净，同时，避免了杂质以及有机物挥发后对工件造成的污染。此外，本发明专利技术还可以同时对多个工件的加热，显著提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种加热腔室，用于加热工件，其特征在于，所述加热腔室包括：主腔室，所述工件能够竖直地设置在所述主腔室中；热源腔室，所述热源腔室设置于所述主腔室的至少一侧并与所述主腔室固定连接，以对所述主腔室内的工件进行加热。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘红义，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11