加热器制造技术

本发明专利技术涉及一种加热器。就根据本发明专利技术的加热器而言，其包括：板(100)，所述板内部形成有加热丝收容部(130)；以及加热丝(200)，所述加热丝配置于加热丝收容部(130)内，并且和加热丝(200)相接的加热丝收容部(130)及板(100)的至少一部分表面包括绝缘物(150)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种加热器，更详细而言，涉及一种在与加热丝相接的加热丝收容部和板的一部分表面形成绝缘物的加热器。本专利技术的
技术介绍
基板处理装置包括沉积(VaporDeposition)装置和退火(Annealing)装置等。平板显示器的核心构成包括透明导电层、绝缘层、金属层以及硅层，沉积装置作为形成平板显示器核心构成的装置，有类似于低压化学气相沉积(LPCVD,LowPressureChemicalVaporDeposition)和等离子体增强化学气相沉积(PECVD,Plasma-EnhancedChemicalVaporDeposition)等的化学气相沉积装置和类似于溅射(Sputtering)等的物理气相沉积装置。另外，退火装置作为膜在基板上沉积后提高沉积的膜的特性的装置，是为了使沉积的膜结晶化或促成相变而进行热处理的装置。一般而言，基板处理装置包括：本体，其形成腔室，所述腔室是装载并处理基板的空间；加热器，其设置在所述本体内部，并产生处理所述基板所需的热量。加热器的形态可以是在板内配置加热丝，因为板可使用金属材质，所以加热丝和板之间必须要绝缘。但是，现有的加热器为了使加热丝和板之间绝缘，采用插入绝缘体的结构。因为还插入了绝缘体，所以发生加热器的整体厚度增加的问题，并且在组装板、加热器、绝缘体的过程中会发生绝缘体脱落或破损的问题。
技术实现思路
本专利技术为了解决上述现有技术的各种问题而提出，目的是提供一种加热器，所述加热器能够使厚度减小。同时，本专利技术的目的是提供一种加热器，所述加热器对厚度进行减小从而提供设备设计的简便性。同时，本专利技术的目的是提供一种加热器，所述加热器使板和绝缘物一体化形成，从而减少绝缘物脱落或破损的危险性。为了达到上述目的，根据本专利技术的一个实施例的加热器，其特征在于，包括：板，所述板内部形成有加热丝收容部；加热丝，所述加热丝配置于所述加热丝收容部内，并且和所述加热丝相接的所述加热丝收容部及所述板的至少一部分表面包括绝缘物。所述板可包括：第一板，所述第一板配置在上部；第二板，所述第二板以与所述第一板相对的形式配置于下部。可在所述第一板或所述第二板形成有所述加热丝收容部。可在所述第一板形成第一加热丝收容部，并以与所述第一板的第一加热丝收容部相对应的形式，在所述第二板形成第二加热丝收容部。所述绝缘物可包括金属氧化物、金属氮化物中的至少任意一种。所述绝缘物可通过对所述加热丝收容部和所述板的至少一部分表面进行阳极氧化处理来形成。所述板的材质可以是铝(Al)或者钛(Ti)。所述加热丝可以形成为板状。所述加热丝的材质可以是铬铝钴耐热钢(Kanthal)、镍铬合金(Ni-Cralloy)、石墨(Graphite)、碳复(Carbon)合体、碳化硅(Siliconcarbide)或钼(Mo)中的至少任意一种。所述绝缘物的厚度可以是50μm至120μm。根据如上所构成的本专利技术，效果在于，能够提供厚度减小的加热器。同时，本专利技术效果在于，对厚度进行减小，从而为设备设计提供简便性。同时，本专利技术效果在于，使板和绝缘物一体化形成，从而具有能够减少绝缘物脱落或破损的危险性。附图说明图1是展示根据本专利技术的一个实施例的加热器的分解立体图。图2是展示根据本专利技术的另一个实施例的加热器的分解立体图。图3是根据本专利技术的一个实施例的图1中“A-A'”线的剖面图。图4是根据本专利技术的另一个实施例的图1中“A-A'”线的剖面图。图5是展示现有加热器的一个实施例的剖面图。具体实施方式以下所述的对于本专利技术的详细说明，是能够实施本专利技术的特定实施例的示例，参见附图。为了使所属领域的普通技术人员能够充分实施本专利技术的这些实施例，这些实施例会对本专利技术做出详细说明。虽然本专利技术的多个实施例互相不一样，但是应当理解，它们相互之间没有互相排斥的必要。例如，这里所记载的特定形状、构造及特性与其中一个实施例关联，在不超出本专利技术的精神和范围的前提下可以体现在另一个实施例中。另外，应当理解，在不超出本专利技术的精神和范围的前提下，所示的各个实施例中的个别构成要素的位置或者布局有可能发生变更。因此，以下所述的详细说明不是为了对本专利技术做出限定，而仅仅是为了对本专利技术的保护范围做出适切的说明，本专利技术的保护范围仅根据与权利要求的主张等同的全部范围和一并附加的权利要求所限定。附图中类似的参考标号指代多个方面相一致或者类似的功能，并且简易地描述长度与面积、厚度等这些形态并可能夸张地做出表述。本专利技术的加热器可以作为单片式或者批量式基板处理装置的加热器。特别地，本专利技术的加热器具有能够使厚度减小的效果，因此可更为优选地利用为，可降低批量式的基板处理装置的层高并且提高生产效益，所述批量式的基板处理装置以与多个基板相对应的形式设置多个加热器。下面，参照附图对本专利技术的实施例的加热器做出详细说明。图1是展示根据本专利技术的一个实施例的加热器的分解立体图，图2是展示根据本专利技术的另一个实施例的加热器的分解立体图。参考图1及图2，根据本实施例的加热器可包括板100和加热丝200。为了组装简便，板100由配置在上部的第一板110和配置在下部的第二板120构成。优选地，第一板110和第二板120对向配置。另外，在第一板110和第二板120形成紧固件(未图示)，使用螺栓等紧固工具(未图示)可以将第一板110和第二板120相互结合。板100的材质可以是后面所述的可以进行阳极氧化(anodizing)处理的金属材质。金属材质可以是铝(Al)或者钛(Ti)，并考虑到成本更优选为铝(Al)。为了在内部容纳加热丝200，板100可形成有具有规定图案(pattern)的槽状的加热丝收容部130。优选地，加热丝收容部130与加热丝200相比最好实质上尺寸相同或者略微大一点。加热丝收容部130虽然能够仅在第一板110或第二板120中的任何一个中形成[参考图3]，但也能够以对应为一致的形态的形式形成于第一板110和第二板120的两部分上[参考图4]。加热丝收容部130形成的图案形状可以是类似于“∪”和“∩”连续反复的形状[参考图1]、“┓”形和“┏”形依次连续反复的之字形、直线形[参考图2]等多种形状。加热丝200可由通过电流发热的导线构成。加热丝200形成为板状，能够有效地向板100传递热量。加热丝200的材质可以是铬铝钴耐热钢(Kanthal)、镍铬合金(Ni-Cralloy)、石墨(Graphite)、碳(Carbon)复合体、碳化硅(Siliconcarbide)或钼(Mo)中的至少任意一种。加热丝200可通过端子210从外部的电源供给装置(未图示)接受电源供给。如图1所示，通过配置在整个板100的一个加热丝200也能够发热；如图2所示，通过配置在整个板100的多个加热丝200也能够发热。图1中使用一个加热丝200，因此端子的构成简单，具有耗电量小的优点；图2中使用多个加热丝200，因此可以按区域独立控制温度，具有维修简便的优点。图3是根据本专利技术的一个实施例的图1中“A-A'”线的剖面图，图4是根据本专利技术的另一个实施例的图1中“A-A'”线的剖面图。本专利技术中与加热丝200相接的加热丝收容部130及板100的至少一部分表面包括绝缘物150。在这里，包括绝缘物150不应理解成连接或者设置单独的带有绝缘性质的绝缘本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加热器，其特征在于，包括：板，所述板内部形成有加热丝收容部；加热丝，所述加热丝配置于所述加热丝收容部内，和所述加热丝相接的所述加热丝收容部及所述板的至少一部分表面包括绝缘物。

【技术特征摘要】
2015.07.10 KR 10-2015-00985151.一种加热器，其特征在于，包括：板，所述板内部形成有加热丝收容部；加热丝，所述加热丝配置于所述加热丝收容部内，和所述加热丝相接的所述加热丝收容部及所述板的至少一部分表面包括绝缘物。2.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述板包括：第一板，所述第一板配置在上部；第二板，所述第二板以与所述第一板相对的形式，配置在下部。3.根据权利要求2所述的加热器，其特征在于，在所述第一板及所述第二板形成有所述加热丝收容部。4.根据权利要求2所述的加热器，其特征在于，在所述第一板形成第一加热丝收容部，并以与所述第一板的第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：康浩荣，金炳燮，
申请(专利权)人：泰拉半导体株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR