带有管中的加热器的负载锁定室制造技术

本发明专利技术的实施例包含经加热的负载锁定室。在一实施例中，经加热的负载锁定室包含腔体主体，其具有多个灯组件，这些灯组件至少部份地位于腔体主体中。每个灯组件包含可罩住一灯的传导管件。该传导管件延伸进入该腔体主体中，并提供一压力阻障以将该灯与该腔体主体的内部体积隔离开。在另一实施例中，该传导管件的开口端延伸穿过该腔体主体的侧壁。该传导管件的封闭端是由该腔体主体的内部体积包围的，且在该腔体主体的顶部下方按间隔的关系被支撑着。该管件的开口端被密封至该腔体主体的侧壁，使得该管件的内部朝向大气打开。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术一般涉及真空处理系统的负载锁定室，更具体来说，本专利技术涉及经 加热的负载锁定室。
技术介绍
薄膜晶体管与光伏装置是两个快速发展的
由平板技术所制作的薄膜晶体管(TFT)通常用于有源矩阵显示器，诸如计算机与电视屏幕、手机 屏幕、个人数字助理(PDA)以及其它装置。平板通常包含两块玻璃片， 一层 液晶材料夹在这两块玻璃片之间。至少其中一块玻璃片包含位于其上的导电 膜，且该导电膜连接至电源。由电源向导电膜提供的电能改变了结晶材料的取 向，进而产生图案显示。光伏装置(PV)或太阳能电池是将阳光转化为直流电源(DC)的装置。 光伏装置或太阳能电池通常具有一个或多个形成于面板上的p-n结。每个结包 含在半导体材料中的两种不同区域，其中一侧代表p型区域而另一侧为n型区 域。当光伏电池的p-n结暴露在阳光(由光子所组成的能量)下时，阳光经由 光伏效应而直接转换成电力。通常，高质量的硅基板料可用于产生高效能(即， 每单位面积具有高能量输出)的结装置。在光伏太阳能电池中已广泛使用非晶 硅膜(a-Si)当作硅基面板材料，这是因为在常规低温等离子体增强型化学气 相沉积处理(PECVD)中制造非晶硅膜的成本比较低。随着市场对平板技术的接受度以及需要更有效率的光伏装置以弥补高涨 的能源成本，对于更大面板、提高产率以及降低制造成本的需求已驱动着设备 制造商去开发新的系统以用于容纳用于平板显示器与光伏装置的制造设备的 更大型基板。现今基板的处理设备常用于容纳稍微大于约二平方米的基板。可 以预见在不久的将来会出现可容纳更大型基板尺寸的处理设备。制造上述大型基板的设备对于制造商而言是庞大的支出。因为传统的系统需要大而昂贵的硬件。为了弥补此支出，因此非常需要高基板产率。实现高系统产率的一个重要方面在于，负载锁定室中加热以及/或冷却基 板。因为可预见处理系统将来会处理更大尺寸的基板，因此需要一种可均匀且 快速加热与冷却大面积基板的专利技术。特别是，因大表面积暴露至真空所造成的 偏移对于维持加热器、基板与腔体主体之间的均匀间隔形成挑战。再者，因为 用于负载锁定室中的常规电阻式加热器与灯的电连接暴露在真空中，所以这些连接易受电弧放电(arcing)的影响，进而造成腔体硬件的损害和/或产生不必 要的污染源微粒。就以上来说，需求用于促进均匀温度调节、硬件寿命、污染 控制与高热传送速率的各种进步。因此，需要一种改良式负载锁定室，其可快速且均匀的加热和冷却大面积 的基板。
技术实现思路
本专利技术的实施例包含经加热的负载锁定室。在一实施例中，经加热的负载 锁定室包含腔体主体，该腔体主体具有多个灯组件，这些灯组件至少部分地位 于该腔体主体中。每个灯组件包含用于罩住一灯的传导管件。传导管件延伸进 入腔体主体，并提供可将灯与负载锁定室内部体积隔离开的压力阻障。在另一实施例中，经加热的负载锁定室包含腔体主体，该腔体主体具有至 少一个灯组件。每个灯组件包含用于将一灯罩在其中的传导管件。传导管件的 开口端透过腔体主体的侧壁而暴露于大气。传导管件的封闭端延伸进入腔体主 体的内部，且由腔体主体的内部所包围。在腔体主体中所界定的内部体积的顶 部下方，按间隔开的关系支撑着传导管件的封闭端。在另一实施例中，经加热的负载锁定室包含腔体主体，该腔体主体至少具 有第一与第二灯组件。每个灯组件包含传导管件，传导管件将一灯罩在其中。第一灯组件的第一传导管件的开口端延伸通过腔体主体的第一侧壁。第二灯组 件的第二传导管件的开口端延伸通过腔体主体的第二侧壁。传导管件的封闭端 朝向彼此，延伸进入腔体主体的内部。传导管件提供一压力阻障，以将灯与负 载锁定室的内部体积隔离开。在另一实施例中，经加热的负载锁定室包含相对置的传导管件，传导管件7被安装在顶部的单个框架固定着。在另一实施例中，经加热的负载锁定室包含多个相对置的传导管件，传导管件由具有腔体长度的长条物(long bar)固定着。 长条物的末端仅连接在腔体侧壁上，因此使管件与腔体顶部的移动去耦 (decoupling)。附图说明为了实现上述的所有特征并能详细了解该特征，透过参照在附图中所示出 的本专利技术实施例对本专利技术进行更详细的描述与简要总结。然而，应该注意，附 图仅出示本专利技术的典型实施例，不应用以限定本专利技术的范围，因为本专利技术还有 其它等效的实施方式。图i是具有本专利技术的负载锁定室的一实施例的丛集工具(cluster tool)的平面图2是根据图1的剖切线2—2所绘示的负载锁定室的剖面图3是图1的负载锁定室的部分剖面图4A是图1的负载锁定室的另一部分的剖面图4B是另一实施例的负载锁定室内部的部分等角视图4C是另一实施例的负载锁定室内部的部分剖面图5是图1的负载锁定室的另一部分剖面图6A是图1的负载锁定室的部分剖面图，其绘示灯组件的一实施例； 图6B是图1的负载锁定室的部分剖面图，其绘示灯组件的另一实施例； 图6C是图1的负载锁定室的部分剖面图，其绘示灯组件的另一实施例； 图7-8是支撑在负载锁定室内的灯组件的封闭端的部分剖面图； 图9-11是负载锁定室的不同实施例的部分剖面图，其具有多个灯组件支撑 于其中。为了帮助了解，图式中相同的参照符号尽可能地用以代表相同的组件。可 以了解的是实施例中的组件可有效地运用在其它实施例中而无须进一步列举。具体实施例方式本专利技术提供一种用于有效加热大面积基板的负载锁定室。尽管本专利技术中提供的负载锁定室可参照于加州圣塔克拉拉的Applied Material公司购得的负载 锁定室的样式，但是可了解的是本专利技术的特征与方法可使用于包含其它生产商 所制造的其它负载锁定室。图1是丛集工具100的平面图，其具有本专利技术实施例的经加热的负载锁定 室104。丛集工具100包含通过负载锁定室104而耦接至传送室106的工厂接 口 102。工厂接口 102通常包含多个基板储存匣114与大气机械手臂112。大 气机械手臂112帮助基板116在基板匣114与负载锁定室104之间进行传送。 多个基板处理室108耦接至传送室106。真空机械手臂IIO被设置在传送室106 中，以帮助基板116在负载锁定室104与处理室108之间进行传送。负载锁定室104通常包含至少一个环境隔离的腔室，并在其间界定出一个 或多个基板储存缝。在一些实施例中，提供多个环境隔离腔室，每个腔室在其 间定义出一个或多个基板储存缝。操作负载锁定室104，以使基板116在工厂 接口 102的周围或大气环境和传送室106中所维持的真空环境之间进行传送。如图l所示的多个灯组件120横穿负载锁定室，且通常垂直于当基板在工 厂接口 102与传送室106之间穿行并通过负载锁定室102时的方向。灯组件120 被耦合至电源122，以选择性地加热位于负载锁定室120中的基板。尽管图1 的实施例中显示五个灯组件120，可了解的是负载锁定室102可视加热需求与 型态限制而选择性地包含较多或较少个灯组件120。图2绘示本专利技术中具有至少一个灯组件120的负载锁定室104的一个实施 例。尽管图式中负载锁定室104具有多个基板传送腔室，且其中一个腔室具有 被置于其中的灯组件120，但可以了解的是灯组件120可用于任何具有至少一 个用于传送基板的腔室的负载锁定室，其中包含其容量大于每腔室一个基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种经加热的负载锁定室，包含：　腔体主体，具有一内部体积与至少二个基板存取口；以及　多个灯组件，至少部分地延伸进入该腔体主体的内部体积中，其中每个灯组件更包含：　灯；以及　传导管件，延伸进入该腔体主体的内部体积中，并 提供一压力阻障以将该灯与该腔体主体的内部体积隔离开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：S安瓦尔，李皆淳，S栗田，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]