下载带有管中的加热器的负载锁定室的技术资料

文档序号:5414694

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本发明的实施例包含经加热的负载锁定室。在一实施例中,经加热的负载锁定室包含腔体主体,其具有多个灯组件,这些灯组件至少部份地位于腔体主体中。每个灯组件包含可罩住一灯的传导管件。该传导管件延伸进入该腔体主体中,并提供一压力阻障以将该灯与该腔体主...
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