一种柔性衬底基板及其制作方法技术

本发明专利技术的实施例提供一种柔性衬底基板及其制作方法，涉及显示技术领域，解决了现有的显示器件在制作过程中将柔性衬底基板从承载基板上剥离时会出现不必要的卷曲的问题，避免损坏显示器件的性能，提高了显示器件的显示品质，避免最终生产的产品成为残次品。该柔性衬底基板采用柔性材料形成，所述衬底基板包括：第一柔性膜层，其中：所述第一柔性膜层的下表面上设置有多个凹槽；所述凹槽具有相同的厚度。本发明专利技术应用于柔性衬底基板的制作技术中。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种柔性衬底基板及其制作方法。
技术介绍
柔性显示是下一代显示技术的重要发展方向，该技术具有可弯曲、不易碎、超轻超薄、低功耗、便携等特点，在电子书、移动通信、笔记本、电视、公共信息等领域具有广阔的应用前景和良好的发展前景。目前柔性显示器件的制备方法通常是将柔性基板通过粘结剂、牺牲层、涂敷等贴附在刚性承载基板上，然后在其上面制备显示器件，之后通过机械或者激光照射等方法将柔性基板与承载基板分离。受现有技术的限制目前的柔性显示器中，柔性基板的布线结构(主要包括栅极信号线、公共电极引线、数据信号线等)大多采用金属、金属合金或金属氧化物等制作，这些布线结构在某一方向上柔韧性很好，但在与该方向垂直的方向上柔韧性较差。尤其当柔性基板上覆盖有无机膜层时，由于无机膜层的薄膜应力往往很大，当柔性基板从硬质承载基板上剥离时，由于薄膜应力的原因柔性基板会发生不想要的卷曲，影响显示器件的性能。当卷曲幅度过大时，甚至会损坏柔性基板上的显示器件，使最终形成的显示器件成为残次品。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种柔性衬底基板及其制作方法，解决了现有的显示器件在制作过程中将柔性衬底基板从承载基板上剥离时会出现不必要的卷曲的问题，避免损坏显示器件的性能，提高了显示器件的显示品质，避免最终生产的产品成为残次品。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案：第一方面，提供一种柔性衬底基板，所述柔性衬底基板采用柔性材料形成，所述衬底基板包括：第一柔性膜层，其中：所述第一柔性膜层的下表面上设置有多个凹槽；其中，所述凹槽具有相同的厚度。可选的，所述柔性衬底基板还包括：第一缓冲层，其中：所述第一缓冲层设置在所述第一柔性膜层中的所述凹槽所在的位置处；所述第一缓冲层的材料与所述第一柔性膜层的材料不同。可选的，所述柔性衬底基板还包括：柔性基底膜层，其中：所述柔性基底膜层设置在所述第一柔性膜层和所述第一缓冲层的下面的位置处；其中，所述第一柔性膜层和所述第一缓冲层覆盖所述柔性基底膜层。可选的，所述柔性衬底基板还包括：至少一层柔性衬底膜层，所述柔性衬底膜层包括：第二柔性膜层和第二缓冲层，其中：所述第二柔性膜层的下表面上设置有多个厚度相同的凹槽；所述第二缓冲层设置在所述第二柔性膜层的凹槽内；所述柔性衬底膜层设置在所述第一柔性膜层的上面覆盖所述第一柔性膜层的位置处。可选的，所述第二缓冲层所在的位置与所述第一缓冲层所在位置之间具有互补的关系。可选的，所述第一柔性膜层的材料包括：聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚醚砜、聚酰亚胺或者纤维增强材料。可选的，所述第一缓冲层的材料包括：氮化硅、氧化硅、氧化铝中的至少一种；或者，所述第一缓冲层的材料包括：碳纳米管、石墨烯、钼、铜、铝中的至少一种。可选的，所述柔性基底膜层的材料与所述第一柔性膜层的材料相同。可选的，所述第一柔性膜层中的所述凹槽所在的膜层的厚度为60～100um；所述第一柔性膜层中的没有凹槽的膜层的厚度为5～20um。可选的，所述第一缓冲层的厚度为可选的，所述柔性基底膜层的厚度为5～10um。可选的，所述第二柔性膜层的厚度和材料与所述第一柔性膜层的厚度和材料相同；所述第二缓冲层的厚度和材料与所述第一缓冲层的厚度和材料相同。第二方面，提供一种柔性衬底基板的制作方法，所述方法包括:形成上表面上具有多个凹槽的承载基板；在所述承载基板的凹槽内形成第一柔性膜层；在所述第一柔性膜层上形成覆盖所述承载基板和所述第一柔性膜层的第二柔性膜层。第三方面，提供一种柔性衬底基板的制作方法，所述方法包括:形成上表面上具有多个凹槽的承载基板；在所述承载基板上形成覆盖所述承载基板的柔性膜层。第四方面，提供一种柔性衬底基板的制作方法，所述方法包括:在承载基板上形成第一缓冲层；在所述第一缓冲层上形成覆盖所述第一缓冲层和所述承载基板的第一柔性膜层。可选的，所述方法包括:在所述第一缓冲层下方形成覆盖所述承载基板的柔性基底膜层。可选的，所述方法还包括:在所述第一柔性膜层上至少形成一层包括第二柔性膜层和第二缓冲层的柔性衬底膜层；所述柔性衬底膜层覆盖所述第一柔性膜层；其中，所述第二柔性膜层的下表面上设置有多个凹槽，所述第二缓冲层设置在所述第二柔性膜层的凹槽内。本专利技术的实施例提供的柔性衬底基板及其制作方法，通过制作包括第一柔性膜层，且第一柔性膜层的下表面上设置有多个凹槽的柔性衬底基板，这样将柔性基板从承载基板上剥离时，由于柔性基板中的第一柔性膜层的下表面上设置有凹槽，从而使得第一柔性膜层上具有一定厚度的凸起，第一柔性膜层中的凸起位置能够有效的防止柔性显示器件由于应力的存在造成基板卷曲，同时，由于第一柔性膜层中具有厚度不同的膜层，可以释放基板本身的应力，使得显示器件的弯曲方向可控，并保证显示器件中的非弯曲方向可以牢固定位，解决了现有的显示器件在制作过程中将柔性衬底基板从承载基板上剥离时会出现不必要的卷曲的问题，避免损坏显示器件的性能，提高了显示器件的显示品质，避免最终生产的产品成为残次品。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术的实施例提供的一种柔性衬底基板的结构示意图；图2为本专利技术的实施例提供的另一种柔性衬底基板的结构示意图；图3为本专利技术的实施例提供的又一种柔性衬底基板的结构示意图；图4为本专利技术的另一实施例提供的一种柔性衬底基板的结构示意图；图5为本专利技术的实施例提供的一种柔性衬底基板的制作方法的流程示意图；图6为本专利技术的实施例提供的另一种柔性衬底基板的制作方法的流程示意图；图7为本专利技术的实施例提供的又一种柔性衬底基板的制作方法的流程示意图；图8为本专利技术的另一实施例提供的一种柔性衬底基板的制作方法的流程示意图。附图标记：1-第一柔性膜层；2-凹槽；3-第一缓冲层；4-柔性基底膜层；5-柔性衬底膜层；6-第二柔性膜层；7-第二缓冲层。具体实本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性衬底基板，其特征在于，所述柔性衬底基板采用柔性材料形成，所述衬底基板包括：第一柔性膜层，其中：所述第一柔性膜层的下表面上设置有多个凹槽；其中，所述凹槽具有相同的厚度。

【技术特征摘要】
1.一种柔性衬底基板，其特征在于，所述柔性衬底基板采用柔性
材料形成，所述衬底基板包括：第一柔性膜层，其中：
所述第一柔性膜层的下表面上设置有多个凹槽；
其中，所述凹槽具有相同的厚度。
2.根据权利要求1所述的柔性衬底基板，其特征在于，所述柔性
衬底基板还包括：第一缓冲层，其中：
所述第一缓冲层设置在所述第一柔性膜层中的所述凹槽所在的位
置处；
所述第一缓冲层的材料与所述第一柔性膜层的材料不同。
3.根据权利要求2所述的柔性衬底基板，其特征在于，所述柔性
衬底基板还包括：柔性基底膜层，其中：
所述柔性基底膜层设置在所述第一柔性膜层和所述第一层缓冲层
的下面的位置处；
其中，所述第一柔性膜层和所述第一层缓冲层覆盖所述柔性基底
膜层。
4.根据权利要求2或3所述的柔性衬底基板，其特征在于，所述
柔性衬底基板还包括：至少一层柔性衬底膜层，所述柔性衬底膜层包
括：第二柔性膜层和第二缓冲层，其中：
所述第二柔性膜层的下表面上设置有多个厚度相同的凹槽；
所述第二缓冲层设置在所述第二柔性膜层的凹槽内；
所述柔性衬底膜层设置在所述第一柔性膜层的上面覆盖所述第一
柔性膜层的位置处。
5.根据权利要求4所述的柔性衬底基板，其特征在于，
所述第二缓冲层所在的位置与所述第一缓冲层所在位置之间具有
互补的关系。
6.根据权利要求1所述的柔性衬底基板，其特征在于，
所述第一柔性膜层的材料包括：聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二
甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚醚砜、聚酰亚胺或者纤维增强材料。
7.根据权利要求2所述的柔性衬底基板，其特征在于，
所述第一缓冲层的材料包括：氮化硅、氧化硅、氧化铝中的至少

\t一种；
或者，所述第一缓冲层的材料包括：碳纳米管、石墨烯、钼、铜、
铝中的至少一种。
8.根据权利要求3所述的柔性衬底基板，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：高涛，毛雪，周伟峰，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11