【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能电池硅片加工设备领域,尤其是一种氮化硅膜制备装置。
技术介绍
由于太阳光照射到太阳能电池的硅片上,其中一部分太阳光会被反射,即使对将硅表面设计成绒面,虽然入射光会产生多次反射可以增加光的吸收率,但是,还是会有一部分的太阳光会被反射,为了减少太阳光的反射损失,通常所采取的办法是在太阳能电池的硅片表面覆盖一层减反射膜,这层薄膜可以减少太阳光的反射率,增加光电转换效率,在晶体硅表面淀积减反射膜技术中,氮化硅膜具有高绝缘性、化学稳定性好、致密性好、硬度高等特点,同时具有良好的掩蔽金属和水离子沉积的能力,从而被广泛采用。在晶体硅太阳能电池制造过程中,制备氮化硅膜通常采用等离子体增强化学气相沉积法,简称为PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition),PECVD是利用强电场使所需的气体源分子电离产生等离子体,等离子体中含有很多活性很高的化学基团,这些基团经过经一系列化学和等离子体反应,在硅片表面形成固态薄膜。目前,在晶体硅太阳能电池制造过程中,用于制备氮化硅膜的装置主要包括设置有炉门的真空沉积室,真空沉积室内设有石墨舟,硅片放置于石墨舟上,真空沉积室上设有进气口与排气口,所述进气口上连接有用于通入制程气体的进气管,所述排气口上连接有排放管,排放管末端连接有真空泵,真空泵的进口与排放管的出口相连,真空泵的出口连接有尾排管,所述制程气体是指在氮化硅膜制备过程中用于反应 ...
【技术保护点】
氮化硅膜制备装置,包括设置有炉门(1)的真空沉积室(2),真空沉积室(2)内设有石墨舟(3),硅片放置于石墨舟(3)上,真空沉积室(2)上设有进气口(4)与排气口(5),所述进气口(4)上连接有用于通入制程气体的进气管(6),所述排气口(5)上连接有排放管(8),排放管(8)末端连接有真空泵(9),真空泵(9)的进口与排放管(8)的出口相连,真空泵(9)的出口连接有尾排管(10),其特征在于:所述石墨舟(3)下方设置有用于承载石墨舟(3)的托杆(11),所述托杆(11)朝向炉门(1)的一端穿过炉门(1),所述炉门(1)固定在托杆(11)上,所述炉门(1)内侧的中央固定有铜电极(21),所述石墨舟(3)朝向炉门(1)的一端设置有电极插孔(22),所述铜电极(21)的位置与电极插孔(22)的位置相对应,所述托杆(11)伸出炉门(1)的一端固定有托架(23),所述托架(23)通过连接杆固定在滑动块(24)上,所述滑动块(24)固定在滑竿(25)上,所述滑动块(24)、滑竿(25)均位于炉门(1)边缘的外侧,所述滑竿(25)的轴线与真空沉积室(2)轴线互相平行,所述滑动块(24)上连接有使滑动 ...
【技术特征摘要】
1.氮化硅膜制备装置,包括设置有炉门(1)的真空沉积室(2),真空沉积室(2)内设
有石墨舟(3),硅片放置于石墨舟(3)上,真空沉积室(2)上设有进气口(4)与排气口(5),
所述进气口(4)上连接有用于通入制程气体的进气管(6),所述排气口(5)上连接有排放
管(8),排放管(8)末端连接有真空泵(9),真空泵(9)的进口与排放管(8)的出口相连,
真空泵(9)的出口连接有尾排管(10),其特征在于:所述石墨舟(3)下方设置有用于承载
石墨舟(3)的托杆(11),所述托杆(11)朝向炉门(1)的一端穿过炉门(1),所述炉门(1)
固定在托杆(11)上,所述炉门(1)内侧的中央固定有铜电极(21),所述石墨舟(3)朝向
炉门(1)的一端设置有电极插孔(22),所述铜电极(21)的位置与电极插孔(22)的位置
相对应,所述托杆(11)伸出炉门(1)的一端固定有托架(23),所述托架(23)通过连接
杆固定在滑动块(24)上,所述滑动块(24)固定在滑竿(25)上,所述滑动块(24)、滑竿
(25)均位于炉门(1)边缘的外侧,所述滑竿(25)的轴线与真空沉积室(2)轴线互相平
行,所述滑动块(24)上连接有使滑动块(24)沿滑竿(25)移动的驱动装置。
2.如权利要求1所述的氮化硅膜制备装置,其特征在于:所述炉门(1)包括石英炉门
(101)和位于石英炉门(101)外侧的支撑体(102)组成,所述支撑体(102)采用生铁制
作而成,所述支撑体(102)的表面开有多个减轻孔(103)。
3.如权利要求2所述的氮化硅膜制备装置,其特征在于:所述进气管(6)与进气口(4)
之间设置有气体混合装置(12),所述气体混合装置(12)包括芯体(121)、壳体(122),芯
体(121)设置在壳体(122)内,芯体(121)表面开有螺旋槽(123),所述螺旋槽(123)
的内壁与壳体(122)的内壁围成封闭的螺旋式气体通道,所述螺旋式气体通道的一端与...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈五奎,李军,徐文州,陈磊,上官新龙,
申请(专利权)人:乐山新天源太阳能科技有限公司,
类型:发明
国别省市:四川;51
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