一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具制造技术

本实用新型专利技术所述的一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具，适用于在单晶硅硅片施加背风片的工艺过程中清除沉积在排气罩上的二氧化硅挥发物，所述的除尘工具主要由加长扁管（1）、毛刷头（2）、刷毛（3）构成。加长扁管（1）的管口呈矩形状，毛刷头（2）前端面设计成平面，侧面设计成圆形弧度面并加工有开孔（4），开孔（4）上与毛刷头（2）上粘接的刷毛（3）呈交叉排列。本实用新型专利技术可轻松刷掉排气罩深处及弧度处的沉积物，同时由于毛刷头（2）与加长扁管（1）的吸头（6）组合成一体，使得刷掉的沉积物可立刻被吸走，避免了微小颗粒污染环境。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具，其特征是：所述的一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具主要是由加长扁管（1）、毛刷头（2）、刷毛（3）构成；其中加长扁管（1）采用聚氯乙烯材料制做，加长扁管（1）的管口呈矩形状；毛刷头（2）的前端面设计为平面，侧面设计圆形弧度面，圆形弧度面上加工有开孔（4）；开孔（4）上与毛刷头（2）上粘接有刷毛（3），加长扁管（1）的一端与吸尘器上的软管连接，另一端吸头（6）组装在毛刷头（2）上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴跃峰，苗立刚，
申请(专利权)人：洛阳单晶硅集团有限责任公司，
类型：新型
国别省市：河南;41