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本实用新型所述的一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具，适用于在单晶硅硅片施加背风片的工艺过程中清除沉积在排气罩上的二氧化硅挥发物，所述的除尘工具主要由加长扁管（1）、毛刷头（2）、刷毛（3）构成。加长扁管（1）的管口呈矩形状，毛刷头（2）前...
该专利属于洛阳单晶硅集团有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛阳单晶硅集团有限责任公司授权不得商用。

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