本实用新型属于单晶硅抛光片生产技术领域，主要涉及一种抛光机抛光液管路纯水反冲装置。本实用新型公开的抛光机抛光液管路纯水反冲装置主要是由纯水供应球阀（1）、纯水流量计（2）、单向阀（3）、三通接头（4）、单向阀（5）构成,纯水供应球阀（1...

一种新型过滤器，适用于单晶硅拉制过程中产生的氧化物的过滤、清理。本实用新型主要是由上支撑板（1）、下支撑板（2）、提手（3）、外层支撑架（4）、内层支撑架（5）、过滤网（6）、排气孔（7）构成。本实用新型设计体积比传统过滤器小1倍，宽度...

一种切削液自动配置供应装置，适用于半导体硅单晶切片设备在切片过程中产生大量热量的冷却和润滑。本实用新型主要由切削液罐（1）、添加剂贮罐（10）、计量泵（11）、供应泵（12）、热交换系统（13）、控制系统（14）构成。本实用新型在切削液...

一种氨水溶液自动配置供应装置，适用于擦片清洗机去除单晶硅抛光片表面污染物。本实用新型主要由原液罐（1）、配置罐（6）、计量泵（12）、氮气供应管路（19）、氮气平衡管路（31）、纯水管路（20）、氨水溶液供应管（27）、控制柜（30）构...

本实用新型所述的一种组合式工件板，用于太阳能、半导体单晶硅片的加工，所述的工件板的粘接面（2）上均布有六个与连接面（1）相对应的沉头内六方螺丝孔（3），通过沉头内六方螺丝将粘接面（2）和连接面（1）组合在一起。连接面（1）的上下两端各均...

一种箱式石英坩埚检测装置，适用于硅单晶生产中对石英坩埚是否存在裂纹、气泡、沾污、划痕等缺陷的检测。本实用新型所述的检测装置，主要是由箱体（1）、旋转盘（2）、滚轮（3）、支撑架（4）、检测灯（5）、防碰撞玻璃（6）、轴承（8）、不锈钢圆...

一种单晶炉循环水换热系统，适用于单晶生长过程中对单晶炉体进行降温冷却。本实用新型通过换热系统中冷却水换热装置（4）中冷冻水管路（3）中的冷冻水和纯水原水换热装置（6）中的纯水原水管路（9）中的纯水原水对循环水在进入单晶炉前进行降温和对出...

本实用新型所述的一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具，适用于在单晶硅硅片施加背风片的工艺过程中清除沉积在排气罩上的二氧化硅挥发物，所述的除尘工具主要由加长扁管（1）、毛刷头（2）、刷毛（3）构成。加长扁管（1）的管口呈矩形状，毛刷头（2...