一种组合式工件板制造技术

本实用新型专利技术所述的一种组合式工件板，用于太阳能、半导体单晶硅片的加工，所述的工件板的粘接面（2）上均布有六个与连接面（1）相对应的沉头内六方螺丝孔（3），通过沉头内六方螺丝将粘接面（2）和连接面（1）组合在一起。连接面（1）的上下两端各均布设有四个T型螺纹槽（4），将T型螺纹部件（5）装在T型螺纹槽（4）中，通过螺丝将连接面（1）与设备上的工件夹具连接在一起，进行晶棒的切割加工等工作。本实用新型专利技术所述的工件板解决了螺丝孔失效造成切割过程中因松动出现的切割翘曲、弯曲、总厚度偏差等现象，避免加工失误。T型螺纹部件（5）可随时方便拆卸和更换，避免因螺纹孔失效晶棒脱胶造成晶棒内部组织损伤问题。本实用新型专利技术降低了使用成本，提高了工件板的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术所述的一种组合式工件板，用于太阳能、半导体单晶硅片的加工，所述的工件板的粘接面（2）上均布有六个与连接面（1）相对应的沉头内六方螺丝孔（3），通过沉头内六方螺丝将粘接面（2）和连接面（1）组合在一起。连接面（1）的上下两端各均布设有四个T型螺纹槽（4），将T型螺纹部件（5）装在T型螺纹槽（4）中，通过螺丝将连接面（1）与设备上的工件夹具连接在一起，进行晶棒的切割加工等工作。本技术所述的工件板解决了螺丝孔失效造成切割过程中因松动出现的切割翘曲、弯曲、总厚度偏差等现象，避免加工失误。T型螺纹部件（5）可随时方便拆卸和更换，避免因螺纹孔失效晶棒脱胶造成晶棒内部组织损伤问题。本技术降低了使用成本，提高了工件板的使用寿命。【专利说明】一种组合式工件板
本技术属于太阳能、半导体单晶硅片加工
，主要涉及一种组合式工件板。
技术介绍
线切割机在半导体行业和光伏行业的硅片切割中占据绝大部分比例，线切割使用的工件板主要是工字型为主，晶锭通过树脂板或者玻璃板粘接在工件板的粘接面上，粘接面对应的另一面连接面通过螺丝与设备上的工件板夹具连接在一起，在线切割的高速线网进行切割，实现由晶锭到硅片的过程。但是在实际使用中，由于工件板每天要重复经过高温、冷却以及和工件板夹具的螺丝进行多次拆装，造成工件板上的螺丝孔重复频繁使用，降低了使用寿命；同时存在使用成本高和工件夹具紧固螺丝易失效和紧固不可靠的问题。如果晶锭和工件板没有可靠的紧固，在高速切割过程中晶棒会松动，由于硅片切割数据要求是按微米为计量单位的，轻微的松动就会造成硅片的翘曲、弯曲以及总厚度偏差等参数的超标，严重时会出现台阶片和重线痕等缺陷的产生。
技术实现思路
鉴于目前单晶硅片现有线切割技术中所使用的工件板存在的技术问题，本技术设计并公开了一种组合式工件板，用以解决现有工件板在切割工艺中出现的掉棒、晶棒松动造成的翘曲、弯曲以及总厚度偏差等参数的超标等技术难点问题。 为实现上述专利技术目的，本技术采取的技术方案是:一种组合式工件板，包括粘接面和连接面，其中粘接面上均布六个与连接面相对应的沉头内六方螺丝孔，通过沉头内六方螺丝将粘接面和连接面组合在一起；连接面的上下两端各均布设有四个T型螺纹槽，采用T型螺纹部件，靠T型螺纹部件的T型端反拉连接面并与设备上的工件夹具连接在一起。 本技术所述的组合式工件板，采取两大部分组合的好处是:工件板长期在冷热交替的环境下使用，加热过程中可以把工件板的热应力释放，减少工件板变形。解决了因工件板变形造成上棒时螺丝把晶棒拉裂，从而导致晶体内部存在隐裂现象；通过对工件板螺丝孔的重新设计，解决了螺丝孔失效造成切割过程中的松动，出现切割翘曲、弯曲、总厚度偏差等数据超标的现象，避免加工失误，减少损失。新型的工件板T型螺纹部件可随时方便拆卸和更换，避免因螺纹孔失效晶棒从工件板上脱胶对晶棒内部组织造成的损伤，也减少了劳动强度，降低了使用成本，提高了工件板的使用寿命。 【专利附图】【附图说明】 图1为本技术组合式工件板结构示意图； 图2为图1的侧面结构示意图； 图3为T型螺纹部件示意图。 图中:1、连接面；2、粘接面；3、沉头内六方螺丝孔；4、T型螺纹槽；5、T型螺纹部件。 【具体实施方式】 下面结合附图给出本技术的实施方式如下: 如图1、图2、图3所示，本技术所述的一种组合式工件板，主要由连接面1、粘接面2、沉头内六方螺丝孔3、T型螺纹槽4构成；其中，工件板连接面1的工作面的作用是与设备上的工件夹具连接后进行高速切割，工件板粘接面2的工作面的作用是粘接单晶硅晶棒。粘接面2上均布有六个与连接面1相对应的沉头内六方螺丝孔3，通过沉头内六方螺丝将粘接面2和连接面1连接组合在一起，这种组合即能满足粘接面2和连接面1工作面的平行度和强度要求，同时也方便拆卸。连接面1的上下两端各均布设有四个T型螺纹槽4，采用T型螺纹部件5，靠T型螺纹部件5 T型端反拉连接面1，并与设备上的工件夹具连接在一起，达到坚固单晶硅晶棒的目的。T型螺纹槽4和T型螺纹部件5采用的是紧配合，无论单晶硅晶棒是否粘接在工件板的粘接面2上，T型螺纹部件可随时拆卸或更换，可以避免因螺纹孔失效而造成单晶硅晶棒的切割数据超标和单晶硅晶棒重新脱胶造成隐裂、内伤等问题。【权利要求】1.一种组合式工件板，包括连接面和粘接面，其特征是；所述的一种组合式工件板，其粘接面(2)上均布六个与连接面(I)相对应的沉头内六方螺丝孔(3)，通过沉头内六方螺丝将粘接面(2)和连接面(I)连接组合在一起；连接面(I)的上下两端各均布设有四个T型螺纹槽(4)，采用T型螺纹部件(5)与设备上的工件夹具连接在一起。【文档编号】B28D7/04GK204149349SQ201420491660【公开日】2015年2月11日 申请日期:2014年8月29日 优先权日:2014年8月29日 【专利技术者】寇文杰 申请人:洛阳单晶硅集团有限责任公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种组合式工件板，包括连接面和粘接面，其特征是；所述的一种组合式工件板，其粘接面（2）上均布六个与连接面（1）相对应的沉头内六方螺丝孔（3），通过沉头内六方螺丝将粘接面（2）和连接面（1）连接组合在一起；连接面（1）的上下两端各均布设有四个T型螺纹槽（4），采用T型螺纹部件（5）与设备上的工件夹具连接在一起。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：寇文杰，
申请(专利权)人：洛阳单晶硅集团有限责任公司，
类型：新型
国别省市：河南;41