限位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种可调式籽晶头限位装置，包括滑动机构、限位机构、套环机构；所述滑动机构包括设置有滑块(2)的直线滑轨(1)；所述限位机构包括两个感应式接近开关(8)、垫块(16)和金属挡片(7)；所述两个感应式接近开关(8)分别在垫块(16)的两端；相对应于两个感应式接近开关(8)，所述金属挡片(7)通过感应柱(5)固定在直线滑轨(1)上；所述套环机构包括带孔套环(12)，所述带孔套环(12)内设置有轴承(13)，所述轴承(13)内设置有固定线轮(14)；所述带孔套环(12)通过折弯杆(4)固定在滑块(2)上。

【技术实现步骤摘要】
限位装置
本技术涉及晶体生长设备
，尤其是涉及一种全自动石英熔化炉中的可调式籽晶头限位装置。
技术介绍
全自动石英熔化炉通过籽晶夹头卡住现成的石英棒悬挂在炉体内进行高温熔化结晶，籽晶夹头一端连接着籽晶绳通过线轮控制升降。现有的机械限位反应不灵敏，即便籽晶夹头达到预定上下限位位置还会运动一段距离，容易使籽晶夹头碰到上炉盖，或者石英棒碰到坩埚诱发事故，且机械限位要开孔密封容易造成漏点；另外，籽晶腔体采用的对射式光电开关效果也不理想，因为线轮做直线和旋转复合运动，即便光电开关在轴向位置被阻挡产生信号，但径向产生的位移过大，达不到理想的控制精度。此外，这两种传统的限位装置上下限位位置很难调节。
技术实现思路
本技术目的是提供一种全自动石英熔化炉中的限位装置，以解决现有技术所存在上下限位控制精度不够，限位位置很难调节等技术问题。 为了解决上述技术问题，本技术提供一种限位装置，包括滑动机构、限位机构、套环机构；所述滑动机构包括设置有滑块的直线滑轨；所述限位机构包括两个感应式接近开关、垫块和金属挡片；所述两个感应式接近开关分别在垫块的两端，由垫块形成限位位移；相对应于两个感应式接近开关，所述金属挡片通过感应柱固定在直线滑轨上；所述套环机构包括带孔套环，所述带孔套环内设置有轴承，所述轴承内设置有固定线轮的空间；所述带孔套环通过折弯杆固定在滑块上。 作为对本技术所述的限位装置的改进:所述垫块的两端分别设置有螺杆，所述两个螺杆上分别设置有调节块，所述两个调节块上分别设置感应式接近开关，所述两个感应式接近开关和垫块之间分别设置有弹簧。 作为对本技术所述的限位装置的进一步改进:所述金属挡片上设置有长孔；所述金属挡片由螺栓I穿过长孔后固定在感应柱上。 作为对本技术所述的限位装置的进一步改进:所述带孔套环通过过盈配合与轴承的外圈相互固定，所述轴承的内圈通过过盈配合的形式设置有线轮。 作为对本技术所述的限位装置的进一步改进:所述感应柱和滑块之间通过焊接固定。 作为对本技术所述的限位装置的进一步改进:所述折弯杆的一端插入滑块后，通过螺栓II固定在滑块上；所述带孔套环插入折弯杆的另外一端后，通过螺栓III固定在折弯杆的另外一端上。 本技术结构具有可以精确的控制上线限位的位置，且可以适当的调节上下限位位置等特点。线轮带动套环机构来控制滑动机构的直线运动，因只传递了轴向直线运动，使得轴向位移的精度显著提高，感应式接近开关对微量的位移变化反应灵敏高，精确控制上下限位的位置。感应柱开有槽口和金属挡片可以通过螺栓调节，来改变上下限位位置，此外也可以通过螺杆调节感应式接近开关的位置，来控制上下限位的位置，操作简便，容易控制。 【附图说明】 图1是本技术的主视结构示意图； 图2是本技术的俯视结构示意图。 【具体实施方式】 实施例1、图1和图2给出了一种全自动石英熔化炉中的可调式籽晶限位装置，主要由滑动机构、限位机构、套环机构等组成。 滑动机构包括直线滑轨I和滑块2，滑块2设置在直线滑轨1，可以沿着直线滑轨I进行滑动。限位机构包括垫块16、感应式接近开关8和金属挡片7。垫块16的左右两端分别设置有螺杆9，两个螺杆9上分别固定有调节块10，所述两个调节块10上分别设置感应式接近开关8，所述两个感应式接近开关8和垫块16之间分别设置有弹簧11 ;通过两个螺杆9与垫块16形成限位的位移，而两个螺杆9与垫块16之间均为螺纹连接，通过旋转螺杆9就可以调节限位位移值的大小。相对应于两个感应式接近开关8设置金属挡片7，金属挡片7通过感应柱5固定在滑块2上，感应柱5与滑块2之间通过焊接固定；而金属挡片7上设置有长孔，由螺栓I 6穿过长孔后，将金属挡片7由固定在感应柱5上；该金属挡片7通过长孔可以进行位置的微调。套环机构包括带孔套环12，带孔套环12内设置轴承13，带孔套环12通过过盈配合与轴承13的外圈相互固定，而轴承13的内圈通过过盈配合的形式设置有线轮14 ;带孔套环12通过折弯杆4与滑块2相互固定，折弯杆4的一端插入滑块2，并通过螺栓II 3固定在滑块2上；带孔套环12插入折弯杆4的另外一端后，通过螺栓III15固定在折弯杆4的另外一端上。 在实际使用的时候，直线滑轨I固定在籽晶腔体底板上，垫块16固定在籽晶腔体侧板上，通过两个感应式接近开关8和金属挡片7相配合完成限位的功能。 工作时的步骤如下: 1、线轮14与电机(一般选用步进电机)相互连接，通过电机带动线轮14做轴向直线和径向往返运动； 2、线轮14轴向的转动带动轴承13的内圈和轴承13的外圈做相对运动，而无法带动带孔套环12做相应的运动；而由于轴承13的外圈与带孔套环12之间相互固定，所以线轮14带动带孔套环12实现径向往返运动；并通过折弯杆4带动滑块2沿着直线滑轨I做出相应的径向往返运动； 3、滑块2通过感应柱5带动金属挡片7做相应的径向往返运动，而相应的，当金属挡片7靠近感应式接近开光8的时候，感应式接近开光8就会产生相应的控制信号，通过该控制信号、两个感应式接近开光8之间的位移值、线轮14转动的速率等值，就能计算出当前上下限位位置； 因带空套环12只传递了轴向运动，使得轴向位移的精度显著提高，感应式接近开关对微量的位移变化反应灵敏高，精确控制上下限位的位置。感应柱5上开有槽口(长孔)和金属挡片7可以通过螺栓6调节，从而改变上下限位位置，而且也可以通过螺杆9调节感应式接近开关8的位置，从而控制上下限位的位置，操作简便，容易控制。 最后，还需要注意的是，以上列举的仅是本专利技术的一个具体实施例。显然，本专利技术不限于以上实施例，还可以有许多变形。本领域的普通技术人员能从本专利技术公开的内容直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种限位装置，包括滑动机构、限位机构、套环机构；其特征是：所述滑动机构包括设置有滑块(2)的直线滑轨(1)；所述限位机构包括两个感应式接近开关(8)、垫块(16)和金属挡片(7)；所述两个感应式接近开关(8)分别在垫块(16)的两端；相对应于两个感应式接近开关(8)，所述金属挡片(7)通过感应柱(5)固定在直线滑轨(1)上；所述套环机构包括带孔套环(12)，所述带孔套环(12)内设置有轴承(13)，所述轴承(13)内设置有固定线轮(14)；所述带孔套环(12)通过折弯杆(4)固定在滑块(2)上。

【技术特征摘要】
1.一种限位装置，包括滑动机构、限位机构、套环机构；其特征是:所述滑动机构包括设置有滑块(2)的直线滑轨(1)； 所述限位机构包括两个感应式接近开关(8)、垫块(16)和金属挡片(7)； 所述两个感应式接近开关(8)分别在垫块(16)的两端；相对应于两个感应式接近开关(8)，所述金属挡片(7)通过感应柱(5)固定在直线滑轨(1)上； 所述套环机构包括带孔套环(12)，所述带孔套环(12)内设置有轴承(13)，所述轴承(13)内设置有固定线轮(14);所述带孔套环(12)通过折弯杆(4)固定在滑块(2)上。2.根据权利要求1所述的限位装置，其特征是:所述垫块(16)的两端分别设置有螺杆(9)，所述两个螺杆(9)上分别设置有调节块(10)，所述两个调节块(10)上分别设置感应式接近开关(8)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔东凯，李保华，杜防修，刘浦锋，宋洪伟，陈猛，
申请(专利权)人：上海超硅半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31