振动元件及其制造方法、振动器件、电子设备、移动体技术

本发明专利技术提供振动元件及其制造方法、振动器件、电子设备、移动体，能够抑制由于从外部施加的冲击等引起的损坏。振动元件(1)的特征在于，具有：基部(12)；振动臂(21、22)，其具有彼此处于正反关系的第1主面(17)和第2主面(18)，且从基部(12)起延伸；以及侧面，其在振动臂(21、22)的末端处与第1主面(17)以及第2主面(18)连接，侧面是相对于第1主面(17)或第2主面(18)的垂线具有倾斜度、从第1主面(17)一直设置到第2主面(18)的倾斜面(15)，且为晶面。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种振动元件，其特征在于，该振动元件具有：基部；振动臂，其具有彼此处于正反关系的第1主面和第2主面，且从所述基部起延伸；以及侧面，其在所述振动臂的末端处与所述第1主面以及所述第2主面连接，所述侧面是相对于所述第1主面或所述第2主面的垂线具有倾斜度、从所述第1主面一直设置到所述第2主面的倾斜面，且为晶面。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山田明法，吉田周平，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP