蒸镀机的蒸发源装置及蒸镀机制造方法及图纸

本发明专利技术涉及蒸镀设备技术领域，公开了一种蒸镀机的蒸发源装置及一种蒸镀机。本发明专利技术的蒸镀机的蒸发源装置，包括：坩埚；所述坩埚的坩埚槽内设置有至少一个沿第一方向的第一导热隔板，每个所述第一导热隔板连接于所述坩埚的坩埚壁上；所述坩埚的坩埚槽内设置有至少一个沿第二方向且与每个所述第一导热隔板固定连接的第二导热隔板，每个所述第二导热隔板连接于所述坩埚的坩埚壁上。采用本发明专利技术技术方案，可以使得热量在蒸镀材料中的传递路径缩短，热量在蒸镀材料中均匀传递，进而提高了有机材料蒸镀的热稳定性，以保持镀率的稳定及提高有机材料蒸镀的良率。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及蒸镀设备
，公开了一种蒸镀机的蒸发源装置及一种蒸镀机。本专利技术的蒸镀机的蒸发源装置，包括：坩埚；所述坩埚的坩埚槽内设置有至少一个沿第一方向的第一导热隔板，每个所述第一导热隔板连接于所述坩埚的坩埚壁上；所述坩埚的坩埚槽内设置有至少一个沿第二方向且与每个所述第一导热隔板固定连接的第二导热隔板，每个所述第二导热隔板连接于所述坩埚的坩埚壁上。采用本专利技术技术方案，可以使得热量在蒸镀材料中的传递路径缩短，热量在蒸镀材料中均匀传递，进而提高了有机材料蒸镀的热稳定性，以保持镀率的稳定及提高有机材料蒸镀的良率。【专利说明】蒸镀机的蒸发源装置及蒸镀机
本专利技术涉及蒸镀设备
，特别是涉及一种蒸镀机的蒸发源装置及一种蒸镀 机。
技术介绍
有机发光二极管（Organic Light-Emitting Diode,简称0LED)通过蒸镀有机材料 来制作构成0LED显示器件的载流子传输层和有机发光层。现今的0LED蒸镀机的蒸发源分 为点源蒸发源和线形蒸发源，由于线形蒸发源可以提高蒸发材料利用率，并且可以提高成 膜的均匀性，因此，线性蒸发源作为一个研究热点被人们广泛关注。在蒸发源装置中蒸镀的 有机蒸镀材料主要分两种，一种是升华型有机材料，另一种则是融溶型有机材料。其中，升 华型有机材料主要是将有机材料直接加热，有机材料升华为气态再冷却于基板上形成有机 膜层；融溶型有机材料在加热后则先融为液态再升温为气态，最后再冷却于基板上形成有 机膜层。 如图1所示，现有的0LED蒸镀机的蒸发源装置，包括盛放有机材料的坩埚1，对坩 埚1进行加热，实现坩埚1内的有机材料的蒸镀，由于对坩埚1加热仅是对坩埚1四周的坩 埚壁进行加热，坩埚1的结构一般为图1所示的长条状，因此，对于坩埚1的坩埚槽内的有 机材料而言，有机材料本身的导热性较差，且热传导路径较长，易造成传热不均，特别对于 大尺寸的蒸发源来说，温度分布不均的现象更明显，进而造成有机材料的蒸镀的镀率稳定 性不足及良率降低等问题。 现有的蒸发源的坩埚，易造成蒸镀材料传热不均，进而降低蒸镀材料蒸镀的良率。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种蒸镀机的蒸发源装置及一种蒸镀机，用以提高蒸镀材料 的传热均匀性，进而提高有机材料蒸镀的良率。 本专利技术实施例首先提供一种蒸镀机的蒸发源装置，包括： 坩埚； 所述坩埚的坩埚槽内设置有至少一个沿第一方向的第一导热隔板，每个所述第一 导热隔板连接于所述坩埚的坩埚壁上； 所述坩埚的坩埚槽内设置有至少一个沿第二方向且与每个所述第一导热隔板固 定连接的第二导热隔板，每个所述第二导热隔板连接于所述坩埚的坩埚壁上。 在本专利技术技术方案中，由于在坩埚槽内设置有分别沿第一方向和第二方向的多个 第一导热隔板和多个第二导热隔板，第一导热隔板和第二导热隔板将坩埚槽分隔为多个容 纳蒸镀材料的容置槽，因此可以将坩埚壁的热量传递至与之接触的蒸镀材料中，因此，由第 一导热隔板和第二导热隔板构成的容置槽内的蒸镀材料内的传热路径缩短，大大减少了蒸 镀材料受其本身导热性能较低的影响，因此，可以大大提高传热的均匀性，进而提高了蒸镀 膜的均匀性，提高了有机材料蒸镀的良率。 toon] 优选的，每个所述第一导热隔板具有至少一个第一开口槽，所述第一开口槽的开 口朝向所述坩埚槽的槽底；每个所述第二导热隔板具有至少一个第二开口槽，所述第二开 口槽的开口朝向所述坩埚槽的槽底。 由于将一个坩埚槽划分为多个容置槽，不同的容置槽之间也可能存在受热不均的 问题，易造成不同容置槽中的蒸镀材料蒸镀速率不同，因此，在第一导热隔板和第二导热隔 板下部开设开口槽，使相邻的容置槽连通，则相邻的容置槽中的蒸镀材料可以流通，因此， 进一步提高了导热的均匀性，进而提高了镀膜的均匀性。 优选的，所述坩埚槽为长条状坩埚槽，所述第一方向为长条状坩埚槽的宽度方向， 所述第二方向为长条状坩埚槽的长度方向；所述第二导热隔板的数量为一个且位于所述坩 埚槽中部。 该实施例特别适用于长条状坩埚槽的坩埚，由于长条状坩埚槽内的蒸镀材料更易 发生导热不均的问题，第二导热隔板沿长度方向设置且位于坩埚槽中部，多个第一导热隔 板平行设置以形成多个长方体状的容置槽，第一导热隔板与第二导热隔板分别与长条状坩 埚槽的槽壁导热连接，因此，可以实现多个容置槽内的蒸镀材料的传热均匀性。 第二导热隔板与第一导热隔板固定连接，优选采用可拆卸连接的形式，优选的，所 述第二导热隔板和至少一个所述第一导热隔板通过卡槽卡接固定。例如第二导热隔板上设 置有卡槽，可以将第一导热隔板固定于卡槽内，又如，第一导热隔板和第二导热隔板分别设 置有相应的卡槽，实现第一导热板与第二导热隔板卡接。第一导热隔板和第二导热隔板卡 接固定，既可实现两者的固定连接，又可方便对坩埚进行清洗时的两者的拆卸。 优选的，所述第一导热隔板和所述第二导热隔板分别为金属导热隔板。采用金属 导热隔板，既具有较高的热传导效率，又防止第一导热隔板或第二导热隔板在高温下可能 与蒸镀材料发生反应。 优选的，所述金属导热隔板为在蒸镀条件下不与蒸镀材料发生化学反应的金属导 热隔板，例如，所述金属导热隔板的材质为不锈钢或钛金属。不锈钢或钛金属不仅具有良好 的导热性，而且具有良好的耐腐蚀性和易清洁性，可以提高第一导热隔板和第二导热隔板 的使用寿命。 优选的，所述金属导热隔板的厚度为2?3厘米。 本专利技术实施例还提供一种蒸镀机，包括上述任一种蒸镀机的蒸发源装置。由于上 述任一种蒸镀机的蒸发源装置可以实现坩埚槽内蒸镀材料导热的均匀性，因此，由该蒸镀 机蒸镀的膜具有较高的均匀性，大大提高了镀膜的良率。 优选的，所述蒸镀机为有机发光二极管蒸镀机。本专利技术的蒸镀机特别适用于有机 发光二极管蒸镀机。 【专利附图】【附图说明】 图1为现有的0LED蒸镀机的蒸发源装置的结构示意图； 图2为本专利技术第一实施例提供的蒸镀机的蒸发源装置的结构示意图； 图3为本专利技术第一实施例提供的蒸镀机的蒸发源装置的结构示意图； 图4为本专利技术一实施例提供的蒸镀机的蒸发源装置的第一导热隔板和第二导热 隔板的装配过程示意图。 附图标记： 1-坩埚 11-第一导热隔板 12-第二导热隔板 111-第一开口槽 112-第二开口槽 121-卡槽 【具体实施方式】 为了提高提高蒸镀材料的传热均匀性，本专利技术实施例提供了一种蒸镀机的蒸发源 装置及一种蒸镀机。该技术方案中，由于在坩埚槽内采用多个沿第一方向第一导热隔板和 多个沿第二方向的第二导热隔板，第一导热隔板和第二导热隔板可以将坩埚壁的热量进行 传导，因此，由第一导热隔板和第二导热隔板构成的多个容置槽内的蒸镀材料受热均匀，大 大减少了蒸镀材料受其本身导热性能较低的影响，因此，可以大大提高传热的均匀性，进而 提高了蒸镀膜的均匀性，提高了有机材料蒸镀的良率。为使本专利技术的目的、技术方案和优点 更加清楚，以下举具体实施例对本专利技术作进一步详细说明。 本专利技术实施例首先提供一种蒸镀机的蒸发源装置，如图2所示，图2为本专利技术第一 实施例提供的蒸镀机的蒸发源装置的结构示意图，所述蒸发源装置包括： 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀机的蒸发源装置，其特征在于，包括：坩埚；所述坩埚的坩埚槽内设置有至少一个沿第一方向的第一导热隔板，每个所述第一导热隔板连接于所述坩埚的坩埚壁上；所述坩埚的坩埚槽内设置有至少一个沿第二方向且与每个所述第一导热隔板固定连接的第二导热隔板，每个所述第二导热隔板连接于所述坩埚的坩埚壁上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：叶岚凯，黄俊淞，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34