【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】提供了一种沉积装置，构造为对基底执行沉积工艺，所述沉积装置包括：腔室，在表面中具有排放开口；沉积源，位于腔室中，构造为向基底喷射一种或多种沉积材料；冷却板，对应于腔室的内表面，排放开口形成在冷却板处；冷冻机，接触冷却板；以及泵，结合到排放开口。【专利说明】 本申请要求在2013年4月4日提交到韩国知识产权局的第10-2013-0036979号 韩国专利申请的优先权和权益，通过引用将该申请的全部公开内容包含于此。
以下的描述涉及沉积装置、使用该沉积装置的薄膜形成方法以及制造有机发光显 示装置的方法。
技术介绍
半导体设备、显示装置以及其他电子设备包括多个薄膜。形成多个薄膜的一个方 法是是通过沉积工艺。 在显示装置中，有机发光显示器由于诸如宽视角、高对比度和快响应速度的特性 而被认为是下一代显示装置。 有机发光显示装置包括：彼此面对的第一电极和第二电极；包括有机发射层的中 间层，位于第一电极和第二电极之间；以及可以通过沉积工艺形成的一个或多个不同的合 适的薄膜。另外，包封层在例如有机发光显示装置的显示装置中形成在第二电极...
【技术保护点】
一种沉积装置，所述沉积装置被构造为对基底执行沉积工艺，所述沉积装置包括：腔室，在表面中具有排放开口；沉积源，位于腔室中，构造为向基底喷射一种或多种沉积材料；冷却板，对应于腔室的内表面，排放开口形成在冷却板处；冷冻机，接触冷却板；以及泵，结合到排放开口。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：金善浩，许明洙，李正浩，赵喆来，朱儇佑，李勇锡，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR
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