沉积设备制造技术

一种沉积设备包括：基底支承件，构造为支承基底；沉积源，构造为供应沉积材料；传感器单元，构造为感测沉积材料的沉积量；第一防附着板，结合到传感器单元并且包括一个或多个第一磁单元；第二防附着板，结合到传感器单元并且包括一个或多个第二磁单元；和第三防附着板，结合到第一防附着板和第二防附着板，处于传感器单元下面，并且包括一个或多个第三磁单元，其中，第一防附着板、第二防附着板和第三防附着板通过第一磁单元、第二磁单元和第三磁单元彼此结合，毗邻第一磁单元、第二磁单元和第三磁单元中的各个磁单元，并且其中，第一防附着板、第二防附着板和第三防附着板共同地覆盖传感器单元的一部分。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种沉积设备包括：基底支承件，构造为支承基底；沉积源，构造为供应沉积材料；传感器单元，构造为感测沉积材料的沉积量；第一防附着板，结合到传感器单元并且包括一个或多个第一磁单元；第二防附着板，结合到传感器单元并且包括一个或多个第二磁单元；和第三防附着板，结合到第一防附着板和第二防附着板，处于传感器单元下面，并且包括一个或多个第三磁单元，其中，第一防附着板、第二防附着板和第三防附着板通过第一磁单元、第二磁单元和第三磁单元彼此结合，毗邻第一磁单元、第二磁单元和第三磁单元中的各个磁单元，并且其中，第一防附着板、第二防附着板和第三防附着板共同地覆盖传感器单元的一部分。【专利说明】沉积设备 本专利申请要求于2013年4月3日提交的第10-2013-0036529号韩国专利申请 的优先权和权益，该专利申请的全部内容通过引用被包含于此。
本公开涉及沉积设备。
技术介绍
近年来，有机发光显示器因其优异的亮度和视角并且因为当与液晶显示器相比时 它不需要包括单独的光源而突出地作为下一代显示装置。因此，有机发光显示器具有纤薄 且重量轻的优点。另外，有机发光显示器具有诸如本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种沉积设备，所述沉积设备包括：基底支承件，构造为支承基底；沉积源，构造为向基底供应沉积材料；传感器单元，构造为接收沉积材料的一部分，以感测沉积材料的沉积量；第一防附着板，结合到传感器单元并且包括一个或多个第一磁单元；第二防附着板，结合到传感器单元并且包括一个或多个第二磁单元，第二防附着板相对于传感器单元与第一防附着板相对；和第三防附着板，结合到第一防附着板和第二防附着板，处于传感器单元下方，并且包括一个或多个第三磁单元，其中，第一防附着板、第二防附着板和第三防附着板通过第一磁单元、第二磁单元和第三磁单元在第一磁单元、第二磁单元和第三磁单元中的相应的磁单元附近彼此结合，并且其中，第一防附着板、...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金保云，赵相圭，吴准植，金建植，吴仙英，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR