【技术实现步骤摘要】
一种靶材等离子喷涂自吹积瘤装置
本技术一种旋转靶材生产过程中的在线高压自动吹积瘤装置，特别涉及一种 真空等离子喷涂设备上用的自动吹积瘤装置。
技术介绍
在真空等离子喷涂旋转靶材过程中，少量过熔粉末会凝结在喷咀上形成积瘤，不 及时处理，积瘤会溅射到靶材上，使靶材出现大面积积瘤导致报废。目前，公知的处理积瘤 的方式为：在发现喷咀处出现积瘤后，暂停等离子喷涂设备运行，采用人工手动方式去除 喷咀上的积瘤。由于制造旋转靶材特别是大尺寸、高纯度的靶材周期较长，经常停机除积瘤 不仅会大幅度提高了生产靶材的时间成本和人力成本,而且频繁暂停等离子喷涂作业会导 致旋转靶材粉末的结合强度和致密性大幅度降低。 由此，本专利技术人考虑对现有靶材喷涂吹积瘤装置结构进行改进，本案由此产生。
技术实现思路
为了克服在生产大尺寸、高纯度旋转靶材过程中需要吹除积瘤而经常暂停等离子 喷涂作业的不足。本技术提供一种真空等离子喷涂自动吹积瘤装置，该吹积瘤装置 能在不暂停等离子喷涂作业的情况下吹除喷咀上产生的积瘤，不但大幅度降低了生产大尺 寸、高纯度旋转靶材的时间和人力成本，...
【技术保护点】
一种靶材等离子喷涂自吹积瘤装置，其特征在于：该自吹积瘤装置包括位于喷涂罐外且依次利用气管连通的空气压缩机、减压阀、储气罐及位于喷涂罐内且依次利用高温气管连通的脉冲电磁阀、吹气架。
【技术特征摘要】
1. 一种靶材等离子喷涂自吹积瘤装置，其特征在于：该自吹积瘤装置包括位于喷涂罐 外且依次利用气管连通的空气压缩机、减压阀、储气罐及位于喷涂罐内且依次利用高温气 管连通的脉冲电磁阀、吹气架。2. 根据权利要求1所述的一种靶材等离子喷涂自吹积瘤装置，其特征在于：所述空气 压缩机、减压阀、储气罐之间利用不锈钢气管连通，且喷涂罐的上方的输出端利用高温气管 与脉冲电磁阀连通。3. 根据权利要求1或2所述的一种靶材等离子喷涂自吹积瘤装置，其特征在于：所述 脉冲电磁阀连通利用高温气管与吹气架侧面两吹...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗建冬，
申请(专利权)人：厦门映日新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35
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