旋转冲洗设备专用多工位转架制造技术

一种旋转冲洗设备专用多工位转架，包括前、后盘，前、后盘之间通过三组内、外侧左支杆和内、外侧右支杆以及压杆焊接构成三个放置晶片盒的工位结构。压杆外部套接有减震套管用于限制晶片在离心力作用下的移动。后盘内侧在减震套管下面焊接有小垫块用于限动晶片盒的位置。后盘外侧在中心孔处焊接空心从动轴和传动键用于与电机输出轴连接。工位结构绕转架中心呈圆周均布排列，解决了动平衡值高出现微颗粒影响晶片清洗效果的问题，使晶片的清洗质量得到显著提高。本发明专利技术通过电机带动可同时带载三个晶片盒内的晶片进行旋转清洗，晶片远离旋转冲洗设备专用多工位转架的旋转中心，很容易在一道工序内被甩干，极大地提高了生产效率，降低了生产成本。

【技术实现步骤摘要】
旋转冲洗设备专用多工位转架
本专利技术涉及一种晶片冲洗设备，特别是涉及一种旋转冲洗设备专用多工位转架。
技术介绍
在IC及相关产业中，旋转冲洗设备是晶片洁净化处理不可缺少的工装，而旋转冲洗设备的转架则更是晶片冲洗工装上的重要装置。生产中，晶片放在晶片盒中，晶片盒安装在旋转冲洗设备的转架上，电机带动转架旋转对晶片盒中的晶片进行冲洗。传统旋转冲洗设备的转架上只设置了一个晶片盒的放置体，该放置体只能带载一个晶片盒并对少量晶片进行冲洗。传统的只设置了一个晶片盒置放体的转架存在以下缺陷:1、因转架上晶片放置的数量少，晶片清洗工作效率低；2、晶片盒安装在转架的中心，晶片因靠近旋转中心而甩干效果差；3、晶片盒以转架旋转中心为旋转中心，晶片盒以及安放晶片盒的放置体其横向剖面是不规则形面，有的结构点距离旋转中心点近，有的结构点距离旋转中心点远，转架旋转过程中动平衡值高。动平衡振动下产生的微颗粒会影响晶片清洗效果，造成晶片洁净度下降，成品合格率降低。
技术实现思路
本专利技术的目的是要给出一种晶片盒的放置体多，一次清洗晶片的数量多，清洗效率高，对晶片甩干效果好，动平衡值低，洁净化处理后的晶片成品合格率高的旋转冲洗设备专用多工位转架。本专利技术的目的是能够实现的。本专利技术旋转冲洗设备专用多工位转架的特征在于:所述旋转冲洗设备专用多工位转架包括一个前盘和一个后盘，所述前盘和后盘之间设有三个放置晶片盒的工位，所述前盘的外表面上设有三个晶片盒进出口，所述一个晶片盒进出口与一个工位形成一组工位结构，所述三组工位结构的轴心线均与旋转冲洗设备专用多工位转架的旋转轴心线平行且距离相等，所述三组工位结构在旋转冲洗设备专用多工位转架中相间120°均布。本专利技术旋转冲洗设备专用多工位转架，其中所述每组工位结构中都包含有各是一个的外侧左支杆、外侧右支杆、内侧左支杆、内侧右支杆、压杆、减震套管和两个小垫块，所述前盘和后盘由三组外侧左支杆、外侧右支杆、内侧左支杆和内侧右支杆分别通过前盘和后盘上各自的定位孔焊接成一体，所述压杆过渡配合地套接一个减震套管，所述压杆的后端通过定位孔焊接在后盘上，前端通过减震套管贴合连接在前盘的定位槽上，所述焊接成一体的前盘、后盘以及同一组的外侧左支杆、外侧右支杆、内侧左支杆、内侧右支杆、压杆和减震套管以及晶片盒进出口构成一个晶片盒的放置体，所述后盘内侧在所述每个减震套管的下面均焊接小垫块，所述前盘和后盘的中心各设有一个中心孔，所述后盘的外侧于中心孔上焊接一个空心从动轴，所述空心从动轴在外部上面与后盘共同焊接一个传动键。本专利技术旋转冲洗设备专用多工位转架，其中所述外侧左支杆、外侧右支杆、内侧左支杆、内侧右支杆的径向断面均呈L形，所述径向断面呈L形的外侧左支杆、外侧右支杆、内侧左支杆、内侧右支杆的L形直角处都开有若干甩水孔。本专利技术旋转冲洗设备专用多工位转架，其中所述小垫块的端面与晶片盒的内侧面贴合连接，所述减震套管的外表面在旋转动态下与晶片盒内的晶片最高点限动贴合连接。本专利技术旋转冲洗设备专用多工位转架，其中所述前盘上的晶片盒进出口形状与晶片盒端面形状基本相同。本专利技术旋转冲洗设备专用多工位转架，其中所述空心从动轴上套接电机输出轴，所述电机输出轴上设置的键槽与所述传动键镶嵌连接，所述后盘的空心从动轴通过穿入其空心的连接螺栓与所述电机输出轴14螺纹连接。本专利技术旋转冲洗设备专用多工位转架与现有技术不同之处在于本专利技术旋转冲洗设备专用多工位转架在前、后盘之间通过三组内、外侧左支杆和内、外侧右支杆以及压杆焊接构成三个放置晶片盒的工位结构。压杆外部套接有减震套管用于限制晶片在离心力作用下的移动。后盘内侧在每个减震套管下面焊接一个小垫块用于限动晶片盒的位置。后盘外侧在中心孔处焊接空心从动轴和传动键用于与电机输出轴连接。工位结构绕旋转冲洗设备专用多工位转架旋转中心呈圆周均布排列，此结构使带动晶片盒转动的旋转冲洗设备专用多工位转架动平衡量值下降，因而解决了高速旋转下传统转架带动晶片盒难以解决的动平衡问题，减弱了动平衡出现微颗粒对晶片清洗效果的影响，使晶片的清洗质量得到显著提高。旋转冲洗设备专用多工位转架的空心从动轴通过专用工具由连接螺栓与电机输出轴固定，可同时带载三个晶片盒并对晶片盒内的晶片进行旋转清洗。工位内的晶片都远离旋转冲洗设备专用多工位转架的旋转中心，很容易在一道工序内被甩干，极大地提高了生产效率,降低了生产成本。下面结合附图对本专利技术的旋转冲洗设备专用多工位转架作进一步说明。【附图说明】图1是旋转冲洗设备专用多工位转架轴侧视图。图2是旋转冲洗设备专用多工位转架正面结构图。图3是旋转冲洗设备专用多工位转架的压杆与减震套管装配图。图4是后盘上的从动轴、电机输出轴、连接螺栓与旋转冲洗设备专用多工位转架装配图。图5是旋转冲洗设备专用多工位转架侧面剖视以及安装角度示意图。图6是后盘上的从动轴、电机输出轴、连接螺栓以及专用工具装配关系局部放大图。图7是前盘与压杆及减震套管装配关系部分局部放大图。图8是旋转冲洗设备专用多工位转架三维立体剖视图。【具体实施方式】如图1、图2所示，本专利技术旋转冲洗设备专用多工位转架包括一个前盘I和一个后盘8，前盘I和后盘8之间设有三个放置晶片盒12的工位。前盘I的外表面上设有三个晶片盒进出口。一个晶片盒进出口与一个工位形成一组工位结构。三组工位结构的轴心线均与旋转冲洗设备专用多工位转架的旋转轴心线平行且距离相等。三组工位结构在旋转冲洗设备专用多工位转架中相间120°均布。如图1、图2、图3、图4、图5、图7所示，每组工位结构中都包含有各是一个的外侧左支杆3、外侧右支杆5、内侧左支杆2、内侧右支杆6、压杆4、减震套管9和两个小垫块7。前盘I和后盘8由三组外侧左支杆3、外侧右支杆5、内侧左支杆2和内侧右支杆6分别通过前盘I和后盘8上各自的定位孔焊接成一体。压杆4过渡配合地套接一个减震套管9，压杆4的后端通过定位孔焊接在后盘8上，前端通过减震套管9贴合连接在前盘I的定位槽上。焊接成一体的前盘1、后盘8以及同一组的外侧左支杆3、外侧右支杆5、内侧左支杆2、内侧右支杆6、压杆4和减震套管9以及晶片盒进出口构成一个晶片盒12的放置体。后盘8内侧在每个减震套管9的下面均焊接有两个小垫块7。如图1、图4、图5、图6、图8所示，前盘I和后盘8的中心各设有一个中心孔。后盘8的外侧于中心孔上焊接一个空心从动轴11。空心从动轴11在外部上面与后盘8共同焊接一个传动键10。空心从动轴11上套接电机输出轴14。电机输出轴14上设置的键槽与传动键10镶嵌连接。空心从动轴11中穿过一个连接螺栓15，使用专用工具16，通过连接螺栓15将后盘8与电机输出轴14螺纹连接在一起并由电机带动旋转冲洗设备专用多工位转架旋转。如图1、图5、图6、图8所示，外侧左支杆3、外侧右支杆5、内侧左支杆2、内侧右支杆6的径向断面均呈L形。径向断面呈L形的外侧左支杆3、外侧右支杆5、内侧左支杆2、内侧右支杆6的L形直角处都开有若干甩水孔。如图5、图8所示，两个小垫块7的端面与重力分力作用下的晶片盒12的内侧面贴合连接。减震套管9的外表面在旋转动态下与晶片盒12内的晶片13最高点限动贴合连接。如图1所示，前盘I上的晶片盒进出口形状与晶片盒12端面形状相同。使用本专利技术的旋转冲洗设备本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种旋转冲洗设备专用多工位转架，其特征在于：所述旋转冲洗设备专用多工位转架包括一个前盘（1）和一个后盘（8），所述前盘（1）和后盘（8）之间设有三个放置晶片盒（12）的工位，所述前盘（1）的外表面上设有三个晶片盒进出口，所述一个晶片盒进出口与一个工位形成一组工位结构，所述三组工位结构的轴心线均与旋转冲洗设备专用多工位转架的旋转轴心线平行且距离相等，所述三组工位结构在旋转冲洗设备专用多工位转架中相间120°均布。

【技术特征摘要】
1.一种旋转冲洗设备专用多工位转架，其特征在于:所述旋转冲洗设备专用多工位转架包括一个前盘(I)和一个后盘(8)，所述前盘(I)和后盘(8)之间设有三个放置晶片盒(12)的工位，所述前盘(I)的外表面上设有三个晶片盒进出口，所述一个晶片盒进出口与一个工位形成一组工位结构，所述三组工位结构的轴心线均与旋转冲洗设备专用多工位转架的旋转轴心线平行且距离相等，所述三组工位结构在旋转冲洗设备专用多工位转架中相间120°均布。2.根据权利要求1所述的转冲洗设备专用多工位转架，其特征在于:所述每组工位结构中都包含有各是一个的外侧左支杆(3)、外侧右支杆(5)、内侧左支杆(2)、内侧右支杆(6)、压杆(4)、减震套管(9)和两个小垫块(7)，所述前盘(I)和后盘(8)由三组外侧左支杆(3 )、外侧右支杆(5 )、内侧左支杆(2 )和内侧右支杆(6 )分别通过前盘(I)和后盘(8 )上各自的定位孔焊接成一体，所述压杆(4 )过渡配合地套接一个减震套管(9 )，所述压杆(4 )的后端通过定位孔焊接在后盘(8)上，前端通过减震套管(9)贴合连接在前盘(I)的定位槽上，所述焊接成一体的前盘(I)、后盘(8)以及同一组的外侧左支杆(3)、外侧右支杆(5)、内侧左支杆(2)、内侧右支杆(6)、压杆(4)和减震套管(9)以及晶片盒进出口构成一个晶片盒(12)的放置体，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：关宏武，舒福璋，姚立新，段成龙，冯小强，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11