支撑组件及具有该支撑组件的石墨舟制造技术

本实用新型专利技术提供了一种支撑组件及具有该支撑组件的石墨舟，支撑组件用于支撑和固定石墨舟片，支撑组件包括：管状本体，设置有轴向通孔；气体通孔，设置在管状本体的外周面上，并与轴向通孔连通。应用本实用新型专利技术的支撑组件，通过在管状本体上设置连通轴向通孔的气体通孔，在支撑组件与石墨舟片配合时，轴向通孔内部的气体可以很容易从气体通孔处抽出，达到便于支撑组件内部气体易于被抽出的目的。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
支撑组件及具有该支撑组件的石墨舟
本技术涉及光伏领域，具体而言，涉及一种支撑组件及具有该支撑组件的石墨舟O
技术介绍
现有技术中，在PECVD工艺时，工艺炉管通过抽真空的方式使其炉管气压保持在工艺设定值后，这时陶瓷圈两端均与石墨舟片抵接，没有空隙，使得陶瓷圈的轴向通孔内依然存在部分气体，当通入工艺气体时，陶瓷圈内外气压差导致气体流动不均，造成色差，同时陶瓷圈里的气体影响工艺炉管内工艺气体的纯度，造成对镀膜的影响。其中，PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition):等离子增强化学气相沉积，是一种太阳能电池生产制程中的镀膜方式。石墨舟:是镀膜工序在进行镀膜时使用于承载硅片的载体。色差:同类物质在颜色上的差异。陶瓷圈:石墨舟用来支撑及固定石墨舟片的一种部件，它也叫陶瓷管、陶瓷套。
技术实现思路
本技术旨在提供一种支撑组件及具有该支撑组件的石墨舟，以达到支撑组件内部的气体易于被抽出的目的。为了实现上述目的，本技术提供了一种支撑组件，用于支撑和固定石墨舟片，支撑组件包括:管状本体，设置有轴向通孔；气体通孔，设置在管状本体的外周面上，并与轴向本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种支撑组件，用于支撑和固定石墨舟片，其特征在于，所述支撑组件包括：管状本体（10），设置有轴向通孔（11）；气体通孔（20），设置在所述管状本体（10）的外周面上，并与所述轴向通孔（11）连通。

【技术特征摘要】
1.一种支撑组件，用于支撑和固定石墨舟片，其特征在于，所述支撑组件包括: 管状本体(10)，设置有轴向通孔(11)； 气体通孔(20)，设置在所述管状本体(10)的外周面上，并与所述轴向通孔(11)连通。2.根据权利要求1所述支撑组件，其特征在于，所述气体通孔(20)为设置在所述管状本体(10)的一侧端部的凹槽，所述凹槽由所述管状本体(10)的外侧向内侧延伸。3.根据权利要求1所述支撑组件，其特征在于，所述气体通孔(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：王家道，傅登峰，吴卫平，曾德栋，
申请(专利权)人：海南英利新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：海南;66