【技术实现步骤摘要】
支撑组件及具有该支撑组件的石墨舟
本技术涉及光伏领域,具体而言,涉及一种支撑组件及具有该支撑组件的石墨舟O
技术介绍
现有技术中,在PECVD工艺时,工艺炉管通过抽真空的方式使其炉管气压保持在工艺设定值后,这时陶瓷圈两端均与石墨舟片抵接,没有空隙,使得陶瓷圈的轴向通孔内依然存在部分气体,当通入工艺气体时,陶瓷圈内外气压差导致气体流动不均,造成色差,同时陶瓷圈里的气体影响工艺炉管内工艺气体的纯度,造成对镀膜的影响。其中,PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition):等离子增强化学气相沉积,是一种太阳能电池生产制程中的镀膜方式。石墨舟:是镀膜工序在进行镀膜时使用于承载硅片的载体。色差:同类物质在颜色上的差异。陶瓷圈:石墨舟用来支撑及固定石墨舟片的一种部件,它也叫陶瓷管、陶瓷套。
技术实现思路
本技术旨在提供一种支撑组件及具有该支撑组件的石墨舟,以达到支撑组件内部的气体易于被抽出的目的。为了实现上述目的,本技术提供了一种支撑组件,用于支撑和固定石墨舟片,支撑组件包括:管状本体,设置有轴向通孔;气体通孔,设置在管状本体的外周面上,并与轴向通孔连通。进一步地,气体通孔为设置在管状本体的一侧端部的凹槽,凹槽由管状本体的外侧向内侧延伸。进一步地,气体通孔为多个,间隔布置于管状本体的外周面上。进一步地,多个气体通孔沿管状本体的周向间隔均布。进一步地,在管状本体的外周面上,气体通孔的面积为S,其中,S≥1mm2。本技术还提供了一种石墨舟,包括石墨舟片和设置在相邻两个石墨舟片之间的上述支撑组件。应用本技术的支撑组件,通过在 ...
【技术保护点】
一种支撑组件,用于支撑和固定石墨舟片,其特征在于,所述支撑组件包括:管状本体(10),设置有轴向通孔(11);气体通孔(20),设置在所述管状本体(10)的外周面上,并与所述轴向通孔(11)连通。
【技术特征摘要】
1.一种支撑组件,用于支撑和固定石墨舟片,其特征在于,所述支撑组件包括: 管状本体(10),设置有轴向通孔(11); 气体通孔(20),设置在所述管状本体(10)的外周面上,并与所述轴向通孔(11)连通。2.根据权利要求1所述支撑组件,其特征在于,所述气体通孔(20)为设置在所述管状本体(10)的一侧端部的凹槽,所述凹槽由所述管状本体(10)的外侧向内侧延伸。3.根据权利要求1所述支撑组件,其特征在于,所述气体通孔(2...
【专利技术属性】
技术研发人员:王家道,傅登峰,吴卫平,曾德栋,
申请(专利权)人:海南英利新能源有限公司,
类型:新型
国别省市:海南;66
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