一种板式PECVD装置用挂钩制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种板式PECVD装置用挂钩，包括挂钩本体和垫片，所述挂钩本体包括两个钩体，所述垫片的两端分别与两个所述钩体固定连接。当需要使用挂钩时，由于垫片的两端分别与两个钩体固定连接，直接将挂钩安装在石墨舟上使用即可。在本实用新型专利技术提供的挂钩中，由于垫片的两端分别与两个钩体固定连接，直接将挂钩安装在石墨舟上使用即可，有效地避免了在使用挂钩时，需要工作人员先将垫片安装在挂钩本体上才能使用的情况，降低了工作人员的劳动强度，省去了组合挂钩的时间，提高了板式PECVD的工作效率。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
—种板式PECVD装置用挂钩
本技术涉及太阳能电池制作
，特别涉及一种板式PECVD装置用挂钩。
技术介绍
PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,等离子体增强化学气相沉积法)是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。PECVD加工工艺分为管式PECVD工艺和板式PECVD工艺，板式PECVD工艺分为上镀膜工艺和下镀膜工艺。传统的板式PECVD装置的下镀膜工艺中，板式PECVD搭载硅片镀膜时需要使用石墨舟，石墨舟在运行工艺时需要使用挂钩才能形成完整的硅片承载体一石墨载板。如图1至图3所示，传统的挂钩主要包括挂钩本体和垫片02，其中挂钩本体包括连接件03和两个钩体01，其中连接件03的两端分别与两个钩体01固定连接，连接件03上表面的宽度与钩体01上与连接件03连接处宽度相等，垫片02上表面的宽度大于连接件03上表面的宽度。在石墨舟上安装挂钩时，首先工作人员一只手拿着垫片02，另一只手拿着挂钩本体，然后将垫片02嵌在两本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种板式PECVD装置用挂钩，包括挂钩本体和垫片(2)，所述挂钩本体包括连接件和两个钩体(1)，所述连接件的两端分别与两个所述钩体(1)固定连接，所述连接件上表面的宽度与所述钩体(1)上与所述连接件连接处宽度相等，所述垫片(2)上表面的宽度大于所述连接件上表面的宽度，其特征在于，所述垫片(2)的两端分别与两个所述钩体(1)固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种板式PECVD装置用挂钩，包括挂钩本体和垫片(2)，所述挂钩本体包括连接件和两个钩体(I)，所述连接件的两端分别与两个所述钩体(I)固定连接，所述连接件上表面的宽度与所述钩体(I)上与所述连接件连接处宽度相等，所述垫片(2)上表面的宽度大于所述连接件上表面的宽度，其特征在于，所述垫片(2)的两端分别与两个所述钩体(I)固定连接。2.根据权利要求1所述的挂钩，其特征在于，所述挂钩本...

【专利技术属性】
技术研发人员：符昌京，王庆森，许明金，蔡少坤，朱志文，王家道，盛峰，陈国文，王川，
申请(专利权)人：海南英利新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：海南;66