一种板式PECVD装置用挂钩制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种板式PECVD装置用挂钩，包括挂钩本体和垫片，所述挂钩本体包括两个钩体，所述垫片的两端分别与两个所述钩体固定连接。当需要使用挂钩时，由于垫片的两端分别与两个钩体固定连接，直接将挂钩安装在石墨舟上使用即可。在本实用新型专利技术提供的挂钩中，由于垫片的两端分别与两个钩体固定连接，直接将挂钩安装在石墨舟上使用即可，有效地避免了在使用挂钩时，需要工作人员先将垫片安装在挂钩本体上才能使用的情况，降低了工作人员的劳动强度，省去了组合挂钩的时间，提高了板式PECVD的工作效率。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
—种板式PECVD装置用挂钩
本技术涉及太阳能电池制作
，特别涉及一种板式PECVD装置用挂钩。
技术介绍
PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,等离子体增强化学气相沉积法)是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。PECVD加工工艺分为管式PECVD工艺和板式PECVD工艺，板式PECVD工艺分为上镀膜工艺和下镀膜工艺。传统的板式PECVD装置的下镀膜工艺中，板式PECVD搭载硅片镀膜时需要使用石墨舟，石墨舟在运行工艺时需要使用挂钩才能形成完整的硅片承载体一石墨载板。如图1至图3所示，传统的挂钩主要包括挂钩本体和垫片02，其中挂钩本体包括连接件03和两个钩体01，其中连接件03的两端分别与两个钩体01固定连接，连接件03上表面的宽度与钩体01上与连接件03连接处宽度相等，垫片02上表面的宽度大于连接件03上表面的宽度。在石墨舟上安装挂钩时，首先工作人员一只手拿着垫片02，另一只手拿着挂钩本体，然后将垫片02嵌在两个钩体01之间，连接件03用于支撑垫片02，完成挂钩安装之后再将挂钩安装在石墨舟上。由于，需要使用挂钩时需要工作人员先将垫片02嵌在钩体OI上，为了确保垫片02准确地嵌在钩体01上需要先将垫片02的两个侧边先与两个钩体01的内侧面对齐，然后将垫片02沿钩体01的长度方向由上至下运动，最后嵌在挂钩本体上，工作人员的劳动强度大；另一方面，每次使用挂钩都需要先进行挂钩的安装工作，板式PECVD的工作效率较低。因此，如何在降低工作人员劳动强度的同时提高板式PECVD的工作效率，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种板式PECVD装置用挂钩，该板式PECVD装置用挂钩能够在降低工作人员劳动强度的同时提高板式PECVD的工作效率。为实现上述目的，本技术提供一种板式PECVD装置用挂钩，包括挂钩本体和垫片，所述挂钩本体包括两个钩体，所述垫片的两端分别与两个所述钩体固定连接。优选地，所述挂钩本体和所述垫片为一体式结构。优选地，还包括两端分别与所述钩体和所述垫片固定连接的加强筋。优选地，所述加强筋和所述挂钩本体为一体式结构。优选地，所述垫片的两端通过焊接与两个所述钩体固定连接。优选地，所述挂钩为铁质挂钩。在上述技术方案中，本技术提供的板式PECVD装置用挂钩包括挂钩本体和垫片，其中挂钩本体包括两个钩体，垫片的两端分别与两个钩体固定连接。当工作人员需要使用挂钩时，由于垫片的两端分别与两个钩体固定连接，直接将挂钩安装在石墨舟上使用即可。通过上述描述可知，在本技术提供的挂钩中，由于垫片的两端分别与两个钩体固定连接，直接将挂钩安装在石墨舟上使用即可，有效地避免了在使用挂钩时，需要工作人员先将垫片安装在挂钩本体上才能使用的情况，降低了工作人员的劳动强度，省去了组合挂钩需要的时间，提高了板式PECVD的工作效率。【附图说明】图1为传统的挂钩本体的结构示意图；图2为图1所示挂钩本体的俯视图；图3为传统的垫片的结构示意图；图4为本技术实施例所提供的挂钩的结构示意图；图5为图4所示挂钩的俯视图；图6为本技术实施例所提供的垫片的结构示意图。其中图1-6中:01_钩体、02-垫片、03-连接件；1-钩体、2-垫片。【具体实施方式】本技术的核心是提供一种板式PECVD装置用挂钩，该板式PECVD装置用挂钩能够在降低工作人员劳动强度的同时提高板式PECVD的工作效率。为了使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图和实施方式对本技术作进一步的详细说明。请参考图4至图6，在一种【具体实施方式】中，本技术提供的板式PECVD装置用挂钩，包括挂钩本体和垫片2，其中挂钩本体包括两个钩体1，垫片2的两端分别与两个钩体I固定连接，具体垫片可以通过粘结、焊接等方式与两个钩体I固定连接。当然，为了避免传统的挂钩本体浪费，工作人员可以直接将垫片2固定连接在传统的挂钩本体上，为了使垫片2能够稳定地与挂钩本体固定，垫片2还可以与传统的挂钩本体的连接件固定连接。挂钩整体可以由铝材料加工而成，为了降低制造成本，本技术优选挂钩为铁质挂钩。当然挂钩的材质并不局限于上述两种，挂钩为其它材质也可，本技术不再赘述。垫片2的具体形状可以如图5所示，垫片2上与钩体I连接处为弧形，增大了垫片2与钩体I的接触面积，使得垫片2与钩体I安装地更加牢固，当然垫片2的具体形状并不局限于图5所示形状。当工作人员需要使用挂钩时，由于垫片2的两端分别与两个钩体I固定连接，直接将挂钩安装在石墨舟上使用即可。根据石墨舟的大小及具体形状来确定使用挂钩的数量，具体数量本技术不做限定。通过上述描述可知，在本技术提供的挂钩中，由于垫片2的两端分别与两个钩体I固定连接，直接将挂钩安装在石墨舟上使用即可，有效地避免了在使用挂钩时，需要工作人员先将垫片安装在挂钩本体上才能使用的情况，降低了工作人员的劳动强度，省去了组合挂钩的时间，提高了板式PECVD的工作效率。为了降低工作人员制造挂钩的劳动强度，挂钩本体和垫片2为一体式结构，挂钩可以浇铸成型。进一步，该挂钩还包括两端分别与钩体I和垫片2固定连接的加强筋。通过设置两端分别与钩体I和垫片2固定连接的加强筋，有效地避免了挂钩在使用过程中垫片2变形的情况，有效地提闻了挂钩的使用寿命。更进一步，加强筋和挂钩本体为一体式结构。工作人员可以一次性将挂钩加工成型，减少了制造挂钩的加工步骤，提高了挂钩的加工效率，进一步降低了工作人员的劳动强度。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本技术。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种板式PECVD装置用挂钩，包括挂钩本体和垫片(2)，所述挂钩本体包括连接件和两个钩体(1)，所述连接件的两端分别与两个所述钩体(1)固定连接，所述连接件上表面的宽度与所述钩体(1)上与所述连接件连接处宽度相等，所述垫片(2)上表面的宽度大于所述连接件上表面的宽度，其特征在于，所述垫片(2)的两端分别与两个所述钩体(1)固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种板式PECVD装置用挂钩，包括挂钩本体和垫片(2)，所述挂钩本体包括连接件和两个钩体(I)，所述连接件的两端分别与两个所述钩体(I)固定连接，所述连接件上表面的宽度与所述钩体(I)上与所述连接件连接处宽度相等，所述垫片(2)上表面的宽度大于所述连接件上表面的宽度，其特征在于，所述垫片(2)的两端分别与两个所述钩体(I)固定连接。2.根据权利要求1所述的挂钩，其特征在于，所述挂钩本...

【专利技术属性】
技术研发人员：符昌京，王庆森，许明金，蔡少坤，朱志文，王家道，盛峰，陈国文，王川，
申请(专利权)人：海南英利新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：海南;66