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本实用新型公开了一种板式PECVD装置用挂钩，包括挂钩本体和垫片，所述挂钩本体包括两个钩体，所述垫片的两端分别与两个所述钩体固定连接。当需要使用挂钩时，由于垫片的两端分别与两个钩体固定连接，直接将挂钩安装在石墨舟上使用即可。在本实用新型提供...
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