【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术一般地涉及压印平版印刷。具体来说，本专利技术涉及一种在压印平版印刷工艺中用来转移模板的方法、系统和保持器。
技术介绍
微型制造技术(micro-fabrication technique)可产生具有毫微米量级特征的结构。微型制造技术用于各种应用中，例如，制造集成电路(即半导体加工)、生物技术、光学技术、机械系统以及微电子机械系统(“MEMS”)。压印平版印刷是一种微型制造技术，该技术在半导体加工和其它应用中正日益变得重要。压印平版印刷提供较大的过程控制和减小形成结构的最小特征的尺寸。这又提供更加高的产量和晶片的更加集成的电路。微型制造可用来在基底上形成诸如半导体晶片那样浮雕形的图像。基底通常具有一转移层，其上涂敷有薄层的聚合化液体、热塑性或能够形成(即，模制或压印)为理想结构的其它压印材料。一带有浮雕结构的模具形成与基底的机械接触，聚合化流体或其它压印材料填充模具的浮雕结构。然后，聚合化流体聚合而在转移层上形成理想的结构，该结构与模具的浮雕结构互补。然后，转移层和固化的聚合物材料可被蚀刻而在转移层中形成一浮雕图像或涂敷一薄膜层的其它材料。压印平版印刷系...
【技术保护点】
一种方法，该方法在具有一运动台和与所述运动台相对地定位的一压印头的一压印平版印刷系统中使用，用来操作一其上具有一制有图形的模子的模板，所述方法包括：提供所述运动台，该运动台带有一模板转移保持器，该保持器具有面向所述压印头的一侧，所述 转移保持器适于支承所述模板以使所述制有图形的模具面向所述运动台并与所述一侧间隔开，以限定一第一位置；以及有选择地从所述模板转移保持器中移去所述模板，以限定一第二位置。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：MJ美斯尔，BJ乔伊，DA巴布斯，HL贝利，
申请(专利权)人：分子制模股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。