用于数字平版印刷术的系统技术方案

本实用新型专利技术描述了用于数字平版印刷术的系统。所述系统可以包括：板件、至少一个台架，所述至少一个台架设置在所述板件上及能够支撑基板以便处理、至少一个激光干涉仪，耦接到所述板件的所述至少一个激光干涉仪用于测量所述台架和/或所述基板的位置和取向、以及控制器，所述控制器能够接收反馈。对所述台架和/或所述基板的准确测量将允许台架具有较低刚度，例如，以100Hz或更小的频率来移动的台架。

【技术实现步骤摘要】

本公开的实施例总体涉及用于处理一个或多个基板的系统，并且更具体地涉及用于执行光刻工艺的系统。
技术介绍
光刻广泛地用于半导体器件和显示器设备(诸如液晶显示器(LCD))的制造。通常在LCD的制造中利用大面积基板。LCD或平板常用于有源矩阵显示器，诸如计算机、触摸板设备、个人数字助理(PDA)、蜂窝电话、电视机监视器等等。一般来说，平板可以包括一层液晶材料，这层液晶材料形成夹在两个板之间的像素。当将来自电源的电力施加在液晶材料上时，就可在能够生成图像的像素位置处控制穿过液晶材料的光的量。显微光刻技术一般用来创建作为形成像素的液晶材料层的一部分而并入的电学特征。根据这项技术，通常将光敏型光刻胶涂覆到基板的至少一个表面。接着，图案生成器(patterngenerator)用光曝光光敏型光刻胶的所选区域来作为图案的一部分，以便对选择区域中的光刻胶造成化学变化，从而使这些选择区域准备好进行后续材料去除和/或材料添加工艺以创建电学特征。为了继续以消费者所期望的价格为消费者提供显示器设备以及其他设备，需要新装置和方法以在基板(诸如大面积基板)上精确且成本有效地创建图案。
技术实现思路
本文中描述的实施例总体涉及用于执行光刻工艺的系统和方法。更具体来说，本文中描述的实施例涉及数字微镜设备(DMD)的使用以得到稳健且可靠的光刻。在一个实施例中，一种用于数字平版印刷术的系统包括板件以及耦接到所述板件的至少一个激光干涉仪。台架(stage)设置在所述板件上，其中所述台架能够支撑激光导向的基板。所述台架被配置成在X方向上移动，并且所述台架的移动的谐振频率为100Hz或更小。所述实施例进一步包括控制器，所述控制器能够接收关于所述台架的位置的反馈。在另一实施例中，一种用于数字平版印刷术的系统进一步包括处理装置，所述处理装置能够将数据输出到至少一个空间光调制器。在这个实施例中，所述控制器还能够将反馈提供到所述处理装置。附图说明因此，为了能够详细地理解本公开的上述特征的方式，可通过参考实施方式对上文中简要概述的本公开进行更具体的描述，这些实施方式中的一些在附图中示出。然而，应当注意，附图仅仅示出本公开的典型实施方式，因此附图不应视为限制本公开的范围，因为本公开可允许其他等效实施方式。图1是可受益于本文所公开的实施例的系统的立体图。图2是根据一个实施例的图1的系统的横截面侧视图。图3是根据一个实施例的多个图像投影系统的立体示意图。图4是根据一个实施例的图3的多个图像投影设备中的一个图像投影系统的立体示意图。图5是根据一个实施例的DMD的两个反射镜的放大的立体图。图6示意性示出根据一个实施例的由图5的DMD的两个反射镜反射的光束。图7示出根据一个实施例的DMD的工艺序列。图8是根据一个示例的数字光刻系统的示意性俯视图。图9是根据一个实施例的系统的示意性俯视图。图10示出根据一个实施例的系统的工艺序列。图11示出在系统与误差校正反馈环路的谐振频率之间的关系。为了促进理解，已尽可能使用相同的附图标记来指定各图所共有的相同元件。另外，一个实施例的元件可有利地适用于本文中描述的其他实施例。具体实施方式本文中的实施例总体提供用于执行光刻工艺的方法、系统和装置。具体地，本文中的实施例提供用于数字无掩模光刻的方法、系统和装置。当基板在一个或多个台架上行进通过数字光刻系统时，台架和/或基板可能在X方向和/或Y方向上经历一定的移动。许多系统试图通过使台架变硬来消除这种非预期的移动，这导致了较低频率下的移动减小，而较高频率下的移动增大。一种更有效的方法可以包括台架，所述台架具有较低刚度以及稍微较大的较低频率下的移动，所述台架与经改善的反馈环路耦接并且包括响应机构，所述响应机构用于校正提供到光刻系统的数据。图1是可受益于本文所公开的实施例的系统100的立体图。系统100包括基架110、板件120、两个或更多个台架130以及处理装置160。基架110可搁置在制造设施的地面上并且可以支撑板件120。被动式空气隔离器112可定位在基架110与板件120之间。板件120可以是整块的花岗岩，并且可将两个或更多个台架130设置在板件120上。基板140可由两个或更多个台架130中的每者支撑。多个孔(未示出)可形成在台架130中以允许多个升降杆(未示出)延伸穿过其中。升降杆可升到延伸的位置以接收基板140，诸如从传送机械手(未示出)接收。传送机械手可将基板140定位在所述升降杆上，并且此后，所述升降杆可将基板140轻轻地降低到台架130上。基板140可例如由石英制成并且用作平板显示器的一部分。在其他实施例中，基板140可由其他材料制成。在一些实施例中，基板140可以具有形成在该基板140上的光刻胶层。系统100可进一步包括一对支撑件122和一对轨道124。可将成对支撑件122设置在板件120上，并且板件120和成对支撑件122可以是单块材料。成对轨道124可由成对支撑件122支撑，并且两个或更多个台架130可沿轨道124在X方向上移动。在一个实施例中，成对轨道124是一对平行的磁性通道。如图所示，成对轨道124中的每个轨道124是线型的。在其他实施例中，轨道124可以具有非线型的形状。编码器126可耦接到每个台架130以将位置信息提供到控制器(未示出)。处理装置160可以包括支撑件162和处理单元164。支撑件162可设置在板件120上并且可以包括开口166以供两个或更多个台架130在处理单元164下方穿过。处理单元164可由支撑件162支撑。在一个实施例中，处理单元164是图案生成器，其配置成在光刻工艺中暴露光刻胶。在一些实施例中，所述图案生成器可配置成执行无掩模式平版印刷工艺。处理单元164可以包括多个图像投影系统301(图3所示)，这些图像投影系统301设置在壳体165中。处理装置160可以用来执行无掩模数字图案化。在操作期间，两个或更多个台架130中的一个在X方向上从装载位置(如图1所示)移动到处理位置。处理位置可指在台架130在处理单元164下方穿过时的台架130的一个或多个位置。在操作期间，两个或更多个台架130可由多个空气轴承202(图2所示)来进行升降，并且可沿成对轨道124从装载位置移动到处理位置。多个竖直引导空气轴承202(图2所示)可耦接到每个台架130并定位成与每个支撑件122的内壁128相邻，以便使台架130的移动稳定。多个机械轴承132可耦接到每个台架130和/或轨道124，以便使台架130的移动稳定。两个或更多个台架130中的每一个还可通过沿轨道150移动来在Y方向上移动，以对基板140进行处理和/或转位(index)。图2是根据一个实施例的图1的系统100的横截面侧视图。如图所示，每个台架130包括用于升降和定位台架130的多个空气轴承202。系统100还可包括多个机械轴承132以定位和稳定台架130。每个台架130还可包括用于沿轨道124移动台架130的电机线圈(未示出)。两个或更多个台架130以及处理装置160可用外壳(未示出)封闭，以便提供温度和压力控制。系统100还包括控制器(未示出)。所述控制器一般被设计成促进本文所描述的处理技术的控制和自动化。所述控制器可与处理装置160、台架130和编码器126中的一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于数字平版印刷术的系统，所述系统包括：板件；至少一个激光干涉仪，所述至少一个激光干涉仪耦接到所述板件；台架，所述台架设置在所述板件上，其中所述台架能够支撑激光所导向的基板；所述台架被配置成在X方向上移动；以及所述台架的移动的谐振频率为100Hz或更小；以及控制器，所述控制器能够接收关于所述台架的位置的反馈。

【技术特征摘要】
2015.06.05 US 62/171,9261.一种用于数字平版印刷术的系统，所述系统包括：板件；至少一个激光干涉仪，所述至少一个激光干涉仪耦接到所述板件；台架，所述台架设置在所述板件上，其中所述台架能够支撑激光所导向的基板；所述台架被配置成在X方向上移动；以及所述台架的移动的谐振频率为100Hz或更小；以及控制器，所述控制器能够接收关于所述台架的位置的反馈。2.根据权利要求1所述的系统，进一步包括：至少一个反射镜，所述至少一个反射镜耦接到所述台架；以及干涉仪，其中所述至少一个反射镜与所述干涉仪在X方向上对准。3.根据权利要求2所述的系统，进一步包括：激光源，其中所述激光源朝向所述干涉仪引导电磁能量。4.根据权利要求1所述的系统，进一步包括：多个反射镜，所述多个反射镜耦接到所述台架，其中每个反射镜与干涉仪在X方向和Z方向上对准；以及激光源。5.根据权利要求4所述的系统，进一步包括：第一分束器，其中所述第一分束器被配置成将所述激光源的激光束分成第一子束和第二子束；第二分束器，所述第二分束器导向第一干涉仪，其中所述第二分束器被配置成接收所述第一子束。6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述第二分束器将所述第一子束分成导向第二干涉仪的第三子束和导向第三干涉仪的第四子束。7.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述干涉仪与所述控制器可操作地通信。8.一种用于数字平版印刷术的系统，所述系统包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·怀特，T·莱帝克，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：新型
国别省市：美国;US