【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种测定装置，具备：照明部，是以照明光照明于表面具有因曝光而形成的图案的基板；检测部，检测因所述图案而被调变的照明光并输出检测信号；以及测定部，使用在所述图案的多个部分检测出的检测信号测定所欲部分的所述图案的曝光条件。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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