本实用新型专利技术公布了一种用于湿法刻蚀装置的汇流挡板，其特征在于：所述汇流挡板的底部为开口三角形结构，所述三角形结构的数量与所述汇流挡板相配套的湿法刻蚀装置的湿法机台的通道数量一致，所述汇流挡板的内外两均设有汇流槽，所述汇流槽的出口分布于所述汇流挡板的两端。本实用新型专利技术的汇流挡板设有三角形斜面和汇流槽，有利于对液滴进行导流，有效解决了湿法刻蚀槽冷凝酸性液滴掉到硅片表面的风险；采用本实用新型专利技术所述方法得到的挡板，可直接用于现在装置上，而无需改变现有装置的结构，使用和维护都很方便。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公布了一种用于湿法刻蚀装置的汇流挡板，其特征在于：所述汇流挡板的底部为开口三角形结构，所述三角形结构的数量与所述汇流挡板相配套的湿法刻蚀装置的湿法机台的通道数量一致，所述汇流挡板的内外两均设有汇流槽，所述汇流槽的出口分布于所述汇流挡板的两端。本技术的汇流挡板设有三角形斜面和汇流槽，有利于对液滴进行导流，有效解决了湿法刻蚀槽冷凝酸性液滴掉到硅片表面的风险；采用本技术所述方法得到的挡板，可直接用于现在装置上，而无需改变现有装置的结构，使用和维护都很方便。【专利说明】一种用于湿法刻蚀装置的汇流挡板
本技术涉及一种用于湿法刻蚀装置的汇流挡板。
技术介绍
在多晶硅太阳能电池电池制造工艺中，需要使用湿法刻蚀装置(机台)来实现绝缘化。湿法刻蚀溶液为氢氟酸和硝酸低温混合液，因此，在长时间生产过程中刻蚀槽内部不可避免地产生强酸性液滴，特别是出刻蚀槽位置的挡板，作为挡气和隔离前后槽的作用，成为酸滴凝结重点区，长时间生产后挡板上布满了酸性液滴，凝结到一定程度会直接滴落到硅片表面造成表面PN结腐蚀，产生严重的不良后果。
技术实现思路
技术目的:本技术的目的在于针对目前现有技术中的不足，提出一种用于湿法刻蚀装置的汇流挡板。技术方案:为实现上述技术目的，本技术采用如下的技术方案:一种用于湿法刻蚀装置的汇流挡板，其特征在于:所述汇流挡板的底部为开口三角形结构，所述三角形结构的数量与所述汇流挡板相配套的湿法刻蚀装置的湿法机台的通道数量一致，所述汇流挡板的内外两均设有汇流槽，所述汇流槽的出口分布于所述汇流挡板的两端。在湿法刻蚀时，刻蚀的硅片是水平前进的，相对于硅片而言，汇流挡板则是竖直安装，安装时汇流挡板的两端固定于刻蚀装置的槽体上，下沿与硅片留有一定距离，以便硅片通过，而汇流挡板的作用是作为相邻槽实现气氛的隔离。所述汇流槽中心处高并逐渐向两端下倾。湿法刻蚀的硅片分布于相邻汇流槽之间，相邻通道的汇流槽末端间距小于相邻通道的硅片间距，同一通道的汇流槽末端跨度大于硅片宽度与相邻通道的汇流槽末端间距的总和。所述汇流槽的上沿坡度为5-30度，下沿仰角为5-30度。所述三角形挡板的斜面仰角为15-75度。所述汇流挡板表面光滑。汇流挡板采用激光进行切割，表面光滑粗糙度极小，便于液滴的汇滴。液滴通过光滑斜面和汇流槽，凝聚在斜面两端，进而滴落在硅片两侧。所述汇流挡板的材质为PVDF。PVDF板材具有强度高，耐酸碱，使用寿命长的优点。本技术适用于多晶硅太阳能电池湿法刻蚀，不论哪个厂家的湿法刻蚀设备，均可以安装本例所述的挡板，安装使用和拆卸维护都很方便，具有普遍意义。有益效果:采用上述技术方案的本技术具有以下优点:本技术所述的汇流挡板，与现有常规挡板相比具有以下优点:( I)本技术的汇流挡板设有三角形斜面和汇流槽，有利于对液滴进行导流，有效解决了湿法刻蚀槽冷凝酸性液滴掉到硅片表面的风险；(2)采用本技术所述方法得到的挡板，可直接用于现在装置上，而无需改变现有装置的结构，使用和维护都很方便。(3)本技术所述的挡板，采用PVDF板材加工而成，强度高，耐酸碱，使用寿命长的优点。【专利附图】【附图说明】图1为本技术使用时的正面结构示意图；图2为本技术的截面图；图3为本技术的截面图的局部放大示意图。【具体实施方式】以下结合附图及具体实施例对本技术做进一步阐述。图1为本技术使用时的正面结构示意图，其中I是汇流挡板，2是汇流槽，3是需要湿法刻蚀的硅片，ΘI是三角形斜面仰视角；图2为本技术的截面图；图3为本技术的截面图的局部放大示意图，其中Θ 2是汇流槽上沿坡度，Θ 3是汇流槽下沿坡度。实施例1:一种用于湿法刻蚀装置的汇流挡板，其特征在于:所述汇流挡板I的底部为开口三角形结构，三角形的斜面的仰角Θ I为15度，所述三角形结构的数量与所述汇流挡板I相配套的湿法刻蚀装置的湿法机台的通道数量一致，所述汇流挡板I的内外两均设有汇流槽2，所述汇流槽2中心处高并逐渐向两端下倾，其出口分布于所述汇流挡板I的两端，所述汇流槽的上沿坡度Θ 2为5度，下沿仰角Θ 3为5度，所述汇流挡板I采用激光进行切割，表面光滑。实施例2:一种用于湿法刻蚀装置的汇流挡板，其特征在于:所述汇流挡板I的底部为开口三角形结构，三角形的斜面的仰角Θ I为40度，所述三角形结构的数量与所述汇流挡板I相配套的湿法刻蚀装置的湿法机台的通道数量一致，所述汇流挡板I的内外两均设有汇流槽2，所述汇流槽2中心处高并逐渐向两端下倾，其出口分布于所述汇流挡板I的两端，所述汇流槽的上沿坡度Θ 2为20度，下沿仰角Θ 3为20度，所述汇流挡板I采用激光进行切害1J，表面光滑。实施例3:一种用于湿法刻蚀装置的汇流挡板，其特征在于:所述汇流挡板I的底部为开口三角形结构，三角形的斜面的仰角Θ I为75度，所述三角形结构的数量与所述汇流挡板I相配套的湿法刻蚀装置的湿法机台的通道数量一致，所述汇流挡板I的内外两均设有汇流槽2，所述汇流槽2中心处高并逐渐向两端下倾，其出口分布于所述汇流挡板I的两端，所述汇流槽的上沿坡度Θ 2为30度，下沿仰角Θ 3为30度，所述汇流挡板I采用激光进行切害1J，表面光滑。本技术适用于多晶硅太阳能电池湿法刻蚀的湿法刻蚀设备，使用时将其安装到湿法刻蚀设备中的挡板位置，所需要湿法刻蚀的硅片3放置于本技术的相邻汇流槽2之间，同时，相邻通道的汇流槽2末端间距小于相邻通道的硅片间距，同一通道的汇流槽2末端跨度大于硅片3宽度与相邻通道的汇流槽2末端间距的总和，并且刻蚀的硅片3是水平前进的，相对于硅片3而言，汇流挡板I则是竖直安装，安装时汇流挡板I的两端固定于刻蚀装置的槽体上，下沿与硅片3留有一定距离，以便硅片3通过，而汇流挡板I的作用是作为相邻槽实现气氛的隔离。以上所述是本技术的【具体实施方式】，应当指出:对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，对本技术的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。【权利要求】1.一种用于湿法刻蚀装置的汇流挡板，其特征在于:所述汇流挡板(I)的底部为开口三角形结构，所述三角形结构的数量与所述汇流挡板(I)相配套的湿法刻蚀装置的湿法机台的通道数量一致，所述汇流挡板(I)的内外两均设有汇流槽(2)，所述汇流槽(2)的出口分布于所述汇流挡板的两端。2.根据权利要求1所述的用于湿法刻蚀装置的汇流挡板，其特征在于:所述汇流槽(2)中心处高并逐渐向两端下倾。3.根据权利要求1所述的用于湿法刻蚀装置的汇流挡板，其特征在于:所述汇流槽(2)的上沿坡度为5-30度，下沿仰角为5-30度。4.根据权利要求1所述的用于湿法刻蚀装置的汇流挡板，其特征在于:所述三角形挡板的斜面仰角为15-75度。5.根据权利要求1所述的用于湿法刻蚀装置的汇流挡板，其特征在于:所述汇流挡板(1)表面光滑。6.根据权利要求1所述的用于湿法刻蚀装置的汇流挡板，其特征在于:所述汇流挡板(!)的材质为PVDF。【文档编号】H01L31/18GK203674240SQ201320761023【公开日】2014年6月25日 申请日期:2013年11月28日 优先权本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于湿法刻蚀装置的汇流挡板，其特征在于：所述汇流挡板（1）的底部为开口三角形结构，所述三角形结构的数量与所述汇流挡板（1）相配套的湿法刻蚀装置的湿法机台的通道数量一致，所述汇流挡板（1）的内外两均设有汇流槽（2），所述汇流槽（2）的出口分布于所述汇流挡板的两端。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：庞瑞卿，展士飞，叶超，桑和伟，郭梦龙，王海超，
申请(专利权)人：合肥海润光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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