【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】,制备方法包括，(1)浆料准备；粉体放入球磨管，加入纯水后开始球磨后导入到压力浆料储罐中开始制备注浆；（2）注浆成型；向模具内输送浆料同时从模具上下模分别开始抽气，取出靶胚体放置在通风区域干燥；（3）靶材烧结；烘干剩余水份，后转入烧结炉进行烧结，通过自然降温，当炉膛温度小于200℃后，打开炉门得到靶材。不但能同时满足大面积镀膜应用在靶材尺寸和形状上的要求，而且能很好的控制成本，提高生产效率。产品的稳定性、均匀性，可成形大尺寸、高密度、复杂形状靶材，可以保证靶材的密度和微观结构的均匀性。【专利说明】
本专利技术涉及IPC国际专利分类C23对金属材料的镀覆中的一种陶瓷旋转靶材技术，尤其是。
技术介绍
在平面显示器制造过程中，ITO靶材是用来制作透明电极的。无论是采用高压气氛烧结还是常压烧结，都需要把粉体先成形为靶材素坯。素坯成形的方式目前主要有两种:一个是先模压后冷等静压成形，即CIP成形；另一个是压力注浆成形。压制成形的工艺过程是:在ITO粉中加入粘结剂造粒，然后进行模压，最后再经过冷等静压即可。国内目前普遍采取CIP成形，但CIP成形有其自身的...
【技术保护点】
注浆成型的陶瓷旋转靶材的制备方法,其特征在于，制备方法包括，(1)浆料准备；将称重后的粉体放入球磨管，加入纯水后开始球磨，球磨至少5个小时后，将球磨好的粉体导入到压力浆料储罐中开始制备注浆；（2）注浆成型；将模具装配好从上下方向压紧，向模具内输送浆料同时从模具上下模分别开始抽气，注浆结束后，同时停止抽气，关闭进料阀门；完成注浆停止抽气后，再次启动成型机，打开上下顶板，取出靶胚体放置在通风区域干燥； （3）靶材烧结；将经过注浆和干燥的靶胚体放置到脱脂炉中进一部烘干剩余水份，后转入烧结炉进行烧结，通过自然降温，当炉膛温度小于200℃后，打开炉门得到靶材。
【技术特征摘要】
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