拉制大直径N型单晶的导流筒制造技术

技术编号:10108513 阅读:131 留言:0更新日期:2014-06-02 02:44
拉制大直径N型单晶的导流筒,包括导流筒内胆和导流筒外胆,导流筒内胆与导流筒外胆之间设有钼隔板和保温层。钼隔板内壁与导流筒内胆外壁紧密贴合。钼隔板上沿与导流筒外胆上沿紧密配合,内部构成空腔结构,保温层填充在该空腔内。本实用新型专利技术导流筒内胆与导流筒外胆之间设置钼隔板和保温层,由于钼隔板具有反射热量的功能,因此,提高了装置的保温性能,从而提高了晶体的生长速率,且降低了生产成本。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】拉制大直径N型单晶的导流筒,包括导流筒内胆和导流筒外胆,导流筒内胆与导流筒外胆之间设有钼隔板和保温层。钼隔板内壁与导流筒内胆外壁紧密贴合。钼隔板上沿与导流筒外胆上沿紧密配合,内部构成空腔结构,保温层填充在该空腔内。本技术导流筒内胆与导流筒外胆之间设置钼隔板和保温层,由于钼隔板具有反射热量的功能,因此,提高了装置的保温性能,从而提高了晶体的生长速率,且降低了生产成本。【专利说明】拉制大直径N型单晶的导流筒
本技术属于太阳能光伏行业单晶硅生产装置
,涉及一种拉制大直径N型单晶的导流筒。
技术介绍
目前市场上单晶太阳能硅片,主要以P型为主流的产品,但是单晶P型被预估在19%会遇到技术瓶颈。而N型产品目前的转换效率可以达到20%以上甚至更高,由于容易做到高转化效率的特性,N型高效单晶以后将是未来光伏市场的主导。随着市场的发展,生产N型单晶工艺越来越成熟,高品质的N型单晶层出不穷。专利号为201210079838.5的专利,公布了一种提高N型硅单晶边缘少数载流子寿命的装置和方法,其中使用的导流筒内胆为高纯石英材质,可以有效提高N型单晶边缘少数载流子寿命,但因石英材料的保温性较差,其生长速率提高幅度不大,且随着晶棒尺寸的增大和投料量的增加,其生产成本也相应增高。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种拉制大直径N型单晶的导流筒,解决现有技术存在的N型硅单晶生长速率慢的问题。本技术的技术方案是,拉制大直径N型单晶的导流筒,包括导流筒内胆和导流筒外胆,导流筒内胆与导流筒外胆之间设有钥隔板和保温层。本技术的特点还在于:钥隔板内壁与导流筒内胆外壁紧密贴合。钥隔板上沿与导流筒外胆上沿紧密配合,内部构成空腔结构,保温层填充在该空腔内。导流筒内胆为高纯石英材质,钥隔板为钥材质,导流筒外胆为碳碳复合材料,保温层为石墨租。本技术具有如下有益效果:1、本技术导流筒内胆与导流筒外胆之间设置钥隔板和保温层,由于钥隔板具有反射热量的功能,因此,提高了装置的保温性能,从而提高了晶体的生长速率和N型少子寿命。2、本技术可保证单晶品质,且降低了生产成本。【专利附图】【附图说明】图1为本技术拉制大直径N型单晶的导流筒结构示意图;图中,1.导流筒内胆,2.钥隔板,3.保温层,4.导流筒外胆。【具体实施方式】下面结合附图和【具体实施方式】对本技术进行详细说明。拉制大直径N型单晶的导流筒,包括导流筒内胆I和导流筒外胆4,导流筒内胆I与导流筒外胆4之间设有钥隔板2和保温毡4。钥隔板2内壁与导流筒内胆I外壁紧密贴合。钥隔板2上沿与导流筒外胆4上沿紧密配合,在其内部构成空腔结构,保温层3填充在该空腔内。导流筒内胆I为高纯石英材质,钥隔板2为钥材质,导流筒外胆4为碳碳复合材料,保温层3为石墨毡。采用本技术拉制大直径N型单晶的导流筒制作8英寸高寿命N型单晶,包括清理炉腔、装料、化料、引晶、放肩、转肩、等径、收尾、冷却等步骤,具体如下:第一步:按常规方法将单晶炉清炉处理,安装上述保持N型高少子寿命的提拉速装置,开始装料,加入140kg多晶硅和P掺杂剂,合炉后进行抽真空、熔料工序。第二步:调整坩埚位置,使导流筒外胆下沿与硅料液面位置的距离为20mm。第三步:待溶液温度稳定后,进行引晶操作。第四步:引晶长度到200mm后,放肩,转肩。第五步:等径生长,晶转10-13转/分钟,锅转4-7转/分钟,晶体生长平均拉速为1.3mm/min,按照常规工 艺收尾和冷却。本实施例在22寸热系统下成功拉制出的N型硅单晶棒直径为205mm,<100>晶向,头部电阻率4.5-5.0Ω.cm,尾部电阻率0.8-1.0 Ω.cm,氧含量≤16ppma,替位碳含量< lppma,非平衡少数载流子包括边缘寿命保持在13000-5000US之间,平均生长速率为1.3mm/min。本技术拉制大直径N型单晶的导流筒不仅可以有效提高N型少子寿命,也大幅度提高了 N型硅单晶的平均生长速率,降低了生产成本。【权利要求】1.拉制大直径N型单晶的导流筒,其特征在于:包括导流筒内胆(I)和导流筒外胆(4 ),所述导流筒内胆(I)与导流筒外胆(4 )之间设有钥隔板(2 )和保温层(3 )。2.如权利要求1所述的拉制大直径N型单晶的导流筒,其特征在于:所述钥隔板(2)内壁与导流筒内胆(I)外壁紧密贴合,间隙小于2mm。3.如权利要求1-2任一项所述的拉制大直径N型单晶的导流筒,其特征在于:所述钥隔板(2)上沿与导流筒外胆(4)上沿紧密配合,内部构成空腔结构,保温层(3)填充在该空腔内。4.如权利要求3所述的拉制大直径N型单晶的导流筒,其特征在于:所述导流筒内胆(O为高纯石英导流筒内胆,所述导流筒外胆(4)为碳碳导流筒外胆,所述保温层(3)为石墨租。【文档编号】C30B15/00GK203613301SQ201320808094【公开日】2014年5月28日 申请日期:2013年12月10日 优先权日:2013年12月10日 【专利技术者】张龙龙, 邓浩, 李静 申请人:银川隆基硅材料有限公司, 宁夏隆基硅材料有限公司, 西安隆基硅材料股份有限公司, 无锡隆基硅材料有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
拉制大直径N型单晶的导流筒,其特征在于:包括导流筒内胆(1)和导流筒外胆(4),所述导流筒内胆(1)与导流筒外胆(4)之间设有钼隔板(2)和保温层(3)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张龙龙邓浩李静
申请(专利权)人:银川隆基硅材料有限公司宁夏隆基硅材料有限公司西安隆基硅材料股份有限公司无锡隆基硅材料有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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