【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅棒截断,尤其涉及一种硅棒截断装置及截断机。
技术介绍
1、单晶炉台拉出硅棒后,硅棒需要经历切断、切方、抛光、切片、分选等工序,得到成品硅片。
2、目前,切断工序中,通常采用多头截断机对硅棒进行截断。多头截断机包括九个刀头,切割线依次经过九个刀头,九个刀头中只有两个刀头安装有电机,电机用于提供动力和平衡切割线构成的线网的张力。
3、然而,上述多头截断机工作时,线网的张力稳定性差,断线率高。
技术实现思路
1、本技术提供一种硅棒截断装置及截断机,旨在至少解决现有技术中多头截断机工作时,线网的张力稳定性差,断线率高的技术问题。
2、第一方面,本技术实施例提供了一种硅棒截断装置,包括n个用于切割硅棒的刀头组件,n个所述刀头组件沿第一方向间隔设置,n个所述刀头组件中有m个所述刀头组件连接有主轴电机,n大于m,m为大于或等于3的整数,n为大于3的整数,m个所述主轴电机沿第一方向间隔分布。
3、可选地,沿第一方向,m个所述主轴电机等间距间隔分布。
4、可选地,任意两个相邻的主轴电机之间间隔一个所述刀头组件。
5、可选的,n为8-10时,m等于4。
6、可选的,还包括切割线,所述切割线依次经过n个所述刀头组件,所述刀头组件包括位于所述切割线的入线端的入线刀头组件和位于所述切割线的出线端的出线刀头组件;
7、m个所述主轴电机位于所述入线刀头组件与所述出线刀头组件之间,且m个所述主轴电机中其中一
8、可选地,所述刀头组件包括第一切割轮和第二切割轮,所述第一切割轮和所述第二切割轮的排列方向与所述第一方向相垂直;
9、m个所述主轴电机分别连接在m个所述刀头组件中的所述第一切割轮,或者,m个所述主轴电机分别连接在m个所述刀头组件中的所述第二切割轮。
10、可选地,沿第一方向,多个所述主轴电机不等间距间隔分布。
11、可选的,所述刀头组件包括第一切割轮和第二切割轮,所述第一切割轮和所述第二切割轮的排列方向与所述第一方向相垂直,至少一个所述主轴电机连接在所述刀头组件中的所述第一切割轮,至少一个所述主轴电机连接在所述刀头组件中的所述第二切割轮。
12、可选的,还包括切割线,所述切割线依次经过n个所述刀头组件形成线网,所述刀头组件包括位于所述切割线的入线端的入线刀头组件和位于所述切割线的出线端的出线刀头组件,所述入线刀头组件和/或所述出线刀头组件连接有所述主轴电机。
13、第二方面,本技术实施例提供了一种截断机,包括上述任一项所述的硅棒截断装置。
14、本技术实施例中,通过大于或等于3个刀头组件连接有主轴电机及多个主轴电机间隔分布的设置,有效平衡了线网张力,使得线网张力更加均匀,降低了断线率,进而提高了加工效率。此外,主轴电机的数量大于或等于3个,提升了硅棒截断装置的加工动力及线网切割力,同时能够匹配提速工艺提升加工效率。
15、上述说明仅是本技术技术方案的概述,为了能够更清楚了解本技术的技术手段,可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本技术的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举本技术的具体实施方式。
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1.一种硅棒截断装置,其特征在于,包括n个用于切割硅棒的刀头组件,n个所述刀头组件沿第一方向间隔设置,n个所述刀头组件中有m个所述刀头组件连接有主轴电机,n大于m,m为大于或等于3的整数,n为大于3的整数,m个所述主轴电机沿第一方向间隔分布。
2.根据权利要求1所述的硅棒截断装置,其特征在于,沿第一方向,m个所述主轴电机等间距间隔分布。
3.根据权利要求2所述的硅棒截断装置,其特征在于,任意两个相邻的主轴电机之间间隔一个所述刀头组件。
4.根据权利要求1所述的硅棒截断装置,其特征在于,n为8-10时,m等于4。
5.根据权利要求1至4任一项所述的硅棒截断装置,其特征在于,还包括切割线,所述切割线依次经过n个所述刀头组件形成线网,所述刀头组件包括位于所述切割线的入线端的入线刀头组件和位于所述切割线的出线端的出线刀头组件;
6.根据权利要求1至4任一项所述的硅棒截断装置,其特征在于,所述刀头组件包括第一切割轮和第二切割轮,所述第一切割轮和所述第二切割轮的排列方向与所述第一方向相垂直;
7.根据权利要求1所述的硅棒
8.根据权利要求1至4任一项所述的硅棒截断装置,其特征在于,所述刀头组件包括第一切割轮和第二切割轮,所述第一切割轮和所述第二切割轮的排列方向与所述第一方向相垂直,至少一个所述主轴电机连接在所述刀头组件中的所述第一切割轮,至少一个所述主轴电机连接在所述刀头组件中的所述第二切割轮。
9.根据权利要求1至4任一项所述的硅棒截断装置,其特征在于,还包括切割线,所述切割线依次经过n个所述刀头组件,所述刀头组件包括位于所述切割线的入线端的入线刀头组件和位于所述切割线的出线端的出线刀头组件,所述入线刀头组件和/或所述出线刀头组件连接有所述主轴电机。
10.一种截断机,其特征在于,包括权利要求1至9任一项所述的硅棒截断装置。
...【技术特征摘要】
1.一种硅棒截断装置,其特征在于,包括n个用于切割硅棒的刀头组件,n个所述刀头组件沿第一方向间隔设置,n个所述刀头组件中有m个所述刀头组件连接有主轴电机,n大于m,m为大于或等于3的整数,n为大于3的整数,m个所述主轴电机沿第一方向间隔分布。
2.根据权利要求1所述的硅棒截断装置,其特征在于,沿第一方向,m个所述主轴电机等间距间隔分布。
3.根据权利要求2所述的硅棒截断装置,其特征在于,任意两个相邻的主轴电机之间间隔一个所述刀头组件。
4.根据权利要求1所述的硅棒截断装置,其特征在于,n为8-10时,m等于4。
5.根据权利要求1至4任一项所述的硅棒截断装置,其特征在于,还包括切割线,所述切割线依次经过n个所述刀头组件形成线网,所述刀头组件包括位于所述切割线的入线端的入线刀头组件和位于所述切割线的出线端的出线刀头组件;
6.根据权利要求1至4任一项所述的硅棒截断装置,其特征在于,所述刀头...
【专利技术属性】
技术研发人员:罗发福,张全,田彦福,刘瑞,马钱伟,
申请(专利权)人:银川隆基硅材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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