【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，包括X轴传送单元和Y轴传送单元，所述X轴传送单元沿垂直方向设置，所述Y轴传送单元沿水平方向设置，其中，所述X轴传送单元上安装有Z轴传送单元；所述X轴传送单元包括第一伺服电机、第一丝杠、第一直线导轨、X轴板和第一防护罩；所述Y轴传送单元包括第二伺服电机、第二丝杠、第二直线导轨、Y轴板和第二防护罩；所述Z轴传送单元包括第三伺服电机、第三丝杠、第三直线导轨和Z轴板；所述Z轴板安装在X轴板上，所述Y轴板安装在真空平台的下方。本技术提供的用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，能够大大降低制作成本，易于维护维修，而且保证设备的响应速度及精度。【专利说明】 用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构
本技术涉及一种适用于脉冲激光刻蚀的运动平台，尤其涉及一种用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构。
技术介绍
现有的脉冲激光刻蚀ITO设备中的PET薄膜导电膜层加工装置的X-Y-Z运动平台，XY两轴均采用直线电机，这样运动平台相应速度快，精度也比较高，但制作成本却十分昂贵。另外，直线电机维护维修也比较繁琐。因此，有必要提供一种更加经济并适用于...
【技术保护点】
一种用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，包括X轴传送单元和Y轴传送单元，所述X轴传送单元沿垂直方向设置，所述Y轴传送单元沿水平方向设置，其特征在于，所述X轴传送单元上安装有Z轴传送单元。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：龚楷峰，刘俊辉，施心星，
申请(专利权)人：苏州镭明激光科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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