本发明专利技术公开了一种用于双面ITO激光刻蚀设备的手动升降机构，包括高度调节结构,所述高度调节结构可以是利用进给结构通过高度调节机构进行过渡进而升降，也可以是直接使用进给机构直接进行升降，进给机构可以是螺旋机构，也可以是离散式渐进机构，还包括反射机构,所述反射机构用来改变激光路径,所述手动升降机构还包括滑动机构,所述滑动机构用来带动振镜上下运动，所述手动升降机构还包括振镜。本发明专利技术公开的双面ITO激光刻蚀设备的手动升降机构可以对现有设备进行简化，大大降低设备整体成本，操作更自由，维修更加方便。
【技术实现步骤摘要】
一种用于双面Iτο激光刻蚀设备的手动升降机构
本专利技术涉及激光加工领域，特别涉及一种用于双面ιτο激光刻蚀设备的手动升降机构。
技术介绍
ΙΤ0是铟锡氧化物的英文缩写，它是一种透明的导电体，通常厚度只有几千埃，在所有在透明导电体中，其具有优良的物理性能:高的可见光透过率，高的红外反射率，良好的机械强度和化学稳定性，用酸溶液等湿法刻蚀工艺能很容易形成一定的电极图形，制备相对比较容易等，这使它广泛应用于各种电子及光电子器件，如手机和电脑等平板显示领域。按照尺寸分类，常见双面ΙΤ0玻璃有14*14英寸，14*16英寸，20*24英寸等规格，按厚度分有 1.1mm, 0.7mm, 0.55mm, 0.4mm, 0.3mm 等规格。双面IT0玻璃的加工工艺要求同时对玻璃上下两个表面加工以便提高加工效率，因此在加工过程中，上下振镜分别相对玻璃上下表面的位置是固定的，当加工玻璃的厚度发生改变时，需要通过控制动态聚焦镜来适应玻璃厚度的变化，同时要求调整的范围要小，精度要高.由于动态聚焦镜的价格较高，造成双面ΙΤ0玻璃加工设备整体价格昂贵，同时，由于ΙΤ0玻璃厚度具有标准规格，所以振镜操作和维修就显得复杂，本专利技术提出提出一种新的装置，可以替代动态聚焦镜，可大大降低设备整体成本，操作更自由，维修更加方便。
技术实现思路
有鉴于此，需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个。本专利技术提供了一种用于双面ΙΤ0激光刻蚀设备的手动升降机构，所述手动升降机构包括滑动机构，所述滑动机构用来带动振镜位置移动；高度调节机构，所述高度调节结构可以驱动所述滑动机构进行位置移动；和反射机构，所述反射机构用来改变激光路径。。在传统使用的激光刻蚀设备中，动态聚焦镜为一光学部件，使用时固定在2D振镜后部，激光经动态聚焦镜后进入2D振镜，加工过程中，通过控制动态聚焦镜可以改变聚焦光斑的高度位置，实现3D扫描，动态聚焦镜与2D振镜的位置关系如图1所示。激光刻蚀双面ΙΤ0玻璃时，2D振镜相对ΙΤ0玻璃的布局如图2所示，图中L为2D振镜下端面相对玻璃表面的距离，该值为一定值，当玻璃厚度变化时，为了适应变化，由于2D振镜的位置是固定的，因此需要使用动态聚焦镜来满足厚度变化要求，而动态聚焦镜成本较高，设备上配置的数量也较大,造成了设备整体成本很高，同时维修也带来不便。基于以上原因，本专利技术提出一种新的机构，所述手动升降机构运动原理描述如下，如图3所示，当激光束由激光器发出之后，经反射机构反射进入振镜中，对ΙΤ0玻璃进行加工，当ΙΤ0玻璃厚度发生变化时，可以操作高度调节机构使振镜进行上下移动，并固定，从而对激光束焦点距离L进行调节，达到加工不同规格厚度的ITO玻璃的目的。由此可以使整体设备成本大大降低，同时使操作和维修变得更加简便。同时，所述手动升降机构还包括振镜。根据本专利技术提供的一种用于双面ITO激光刻蚀设备的手动升降机构，所述手动升降机构包括滑动机构，所述滑动机构用来带动振镜位置移动；高度调节机构，所述高度调节结构可以驱动所述滑动机构进行位置移动；和反射机构，所述反射机构用来改变激光路径。进一步地，所述手动升降机构还包括进给机构，所述进给机构用来驱动所述高度调节机构进行位置移动，从而对振镜高度进行调节，便于不同规格厚度的ITO玻璃加工。可选地，所述进给机构可以是连续进给机构，也可以是离散进给机构。进一步可选地，所述连续进给机构可以是螺旋进给机构。进一步可选地，所述离散进给机构可以包括根据不同规格的双面ITO玻璃设置的带有离散分隔装置的长形固体及固定所述长形固体的固定部件。可选地，所述滑动机构可以是滑轨机构，也可以是滑道机构。进一步地，所述高度调节机构包括具有曲面特征的高度调节部件。进一步优选地，所述具有曲面特征的高度调节部件可以是楔型块，或者具有弧形面高度调节部件。同时，所述手动升降机构还可以包括振镜。本专利技术附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。【附图说明】本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中: 图1显示了传统激光加工设备加工不同厚度规格加工件激光束焦点调节的示意图； 图2显示了传统激光加工设备加工不同厚度规格加工件激光束焦点调节的示意图； 图3显示了本专利技术实施例的原理示意图； 图4显示了本专利技术一个实施例的示意图； 图5显示了本专利技术一个实施例的高度调节机构示意图； 图6显示了本专利技术一个实施例的高度调节机构及连续进给机构示意图； 图7显示了本专利技术一个实施例的离散进给机构及长性固体A向视图的示意图； 图1中，L为2D振镜下端面相对玻璃表面的距离为一定值，Z为上下运动方向，Max为向上方向最大变化范围，Min向下方向最大变化范围； 图2中，L为2D振镜下端面相对玻璃表面的距离为一定值； 图3中，I为滑动机构，2为反射机构，3为高度调节机构，4为振镜，5为激光束； 图4中，11为滑动机构中的支座，12位滑动机构中的滑动部件，21、22为反射机构中的反射镜，6为设备支撑部分； 图5、图6中，31为高度调节机构中的支座，32、33分别为高度调节机构中的具有曲面的上下部件，6为刻蚀设备与手动升降机构连接部分，7为进给机构；图7中，A为对离散进给机构中的长形固体的观测方向，右侧图为长形固体A向视图示意图。【具体实施方式】下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能解释为对本专利技术的限制。在专利技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“内”、“外”、“左”、“右”、“Z向”、“A向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“安置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，一体地连接，也可以是可拆卸连接；可以是两个元件内部的连通；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义下面将参照附图来描述本专利技术的用于双面ΙΤ0激光刻蚀设备的手动升降机构，其中图1、图2为传统ΙΤ0玻璃加工过程使用振镜进行激光束焦点调节示意图，图3为本专利技术高度调节示意图，图4-图7为本专利技术的实施例示意图。根据本专利技术的实施例，所述手动升降机构，包括:滑动机构1，所述滑动机构1用来带动振镜4位置移动；高度调节机构3，所述高度调节结构3可以驱动所述滑动机构1进行位置移动，进而带动振镜4进行移动，从而调节激光束5焦点位置对ΙΤ0玻璃进行加工；和反射机构2，所述反射机构2用来改变激光束5的路径，如图3所示。进一步地，根据本专利技术的实施例，所述手动升降机构还包括进给机构7，所述进给机构7用来驱动所述高度调节机构进行位置移动，如图6、7所示。根据本专利技术的实施例，所述进给机构7可以是连续进给机构，也可本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于双面ITO激光刻蚀设备的手动升降机构，包括：滑动机构,所述滑动机构用来带动振镜位置移动；高度调节机构,所述高度调节结构可以驱动所述滑动机构进行位置移动；和反射机构，所述反射机构用来改变激光路径。
【技术特征摘要】
1.一种用于双面ITO激光刻蚀设备的手动升降机构，包括: 滑动机构，所述滑动机构用来带动振镜位置移动； 高度调节机构，所述高度调节结构可以驱动所述滑动机构进行位置移动； 和反射机构，所述反射机构用来改变激光路径。2.根据权利要求1所述的手动升降机构，其特征在于，所述手动升降机构还包括进给机构，所述进给机构与所述高度调节机构相连，用来驱动所述高度调节机构进行位置移动。3.根据权利要求2所述的手动升降机构，其特征在于，所述进给机构可以是连续进给机构，也可以是离散进给机构。4.根据权利要求3所述的手动升降机构，其特征在于，所述连续进给机构可以是螺旋进给机...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏志凌，宁军，高永强，
申请(专利权)人：昆山思拓机器有限公司，
类型：发明
国别省市：
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