【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种配制系统,尤其是一种三氯化铁ITO刻蚀液配制系统,属于化工设备
技术介绍
铟锡氧化物(ITO)导电膜具有电阻率低、透光性好、高温稳定性好及制备和图形加工工艺简单等诸多优点,是一种理想的透明电极材料,被广泛应用于LCD、PDP、FED、OLED/PLED等平板显示器上作为透明电极。为制备所需要的电极图形,就要对ITO导电膜进行蚀刻。蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术分为湿蚀刻和干蚀刻,其中,湿蚀刻是采用化学试剂,经由化学反应达到蚀刻的目的。FeCl3系ITO蚀刻液,为黄褐色液体,有气味酸性,在现有技术中,主要由盐酸或硝酸、FeCl3、纯水经搅拌混匀过滤制得。在现有的FeCl3系ITO蚀刻液制备过程中,一般就是采用人工进行操作,自动化程度较低,物料混配效果较差,产品配制的精度不够。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种三氯化铁ITO刻蚀液配制系统,自动化程度高,混配效果好,保证产品精度。按照本专利技术提供的技术方案,所述三氯化铁ITO刻蚀液配制系统,其特征是:包括混配罐、溶解桶和抽料循环泵,混配罐的顶部设有第一进料口,溶解桶的出料口通过抽料管连接混配罐顶部的第二进料口,抽料循环泵的一端通过第一管道连接混配罐的底部,抽料循环泵的出料端分别连接混配罐的第二进料口和第二管道,第二管道的输出端连接过滤灌装设备,在抽料循环泵的出料端设置取样支路,在取样支路上设置取样阀。进一步的,在所述混配罐的中部连接第三管道,第三管道分别连接抽料循环泵的出料端管道和溶解桶。进一步的,在所述溶解桶的底部安装 ...
【技术保护点】
一种三氯化铁ITO刻蚀液配制系统,其特征是:包括混配罐(1)、溶解桶(2)和抽料循环泵(3),混配罐(1)的顶部设有第一进料口(5),溶解桶(2)的出料口通过抽料管(6)连接混配罐(1)顶部的第二进料口(7),抽料循环泵(3)的一端通过第一管道(8)连接混配罐(1)的底部,抽料循环泵(3)的出料端分别连接混配罐(1)的第二进料口和第二管道(9),第二管道(9)的输出端连接过滤灌装设备,在抽料循环泵(3)的出料端设置取样支路,在取样支路上设置取样阀(10)。
【技术特征摘要】
1.一种三氯化铁ITO刻蚀液配制系统,其特征是:包括混配罐(1)、溶解桶(2)和抽料循环泵(3),混配罐(1)的顶部设有第一进料口(5),溶解桶(2)的出料口通过抽料管(6)连接混配罐(1)顶部的第二进料口(7),抽料循环泵(3)的一端通过第一管道(8)连接混配罐(1)的底部,抽料循环泵(3)的出料端分别连接混配罐(1)的第二进料口和第二管道(9),第二管道(9)的输出端连接过滤灌装设备,在抽料循环泵(3)的出料端设置取样支路,在取样支路上设置取样阀(10)。2.如权利要求1所述的三氯化铁...
【专利技术属性】
技术研发人员:李虎宝,朱祥龙,殷泼清,李冬明,殷金虎,
申请(专利权)人:江阴市化学试剂厂有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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