【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造
，特别涉及一种刻蚀液加热器。
技术介绍
在半导体的制造工艺中，经常需要刻蚀去除部分金属材料、绝缘材料以及半导体材料，从而形成一定形状的图形。刻蚀设备通常分为湿法刻蚀设备和干法刻蚀设备。对于湿法刻蚀设备，经常需要使用各种刻蚀液。为了达到较好的刻蚀效果，需要采用刻蚀液加热器对刻蚀液进行加热，使得刻蚀液能够处于较佳的工作温度。如图1所示，刻蚀液加热器100包括两个加热管第一加热管110和第二加热管120，所述第一加热管110包括第一进液口 111和第一出液口 112，所述第二加热管120包括第二进液口 121和第二出液口 122。所述刻蚀液加热器100还包括一个进液管130、一个串联管140和一个出液管150。所述进液管130通过第一进液口 111与所述第一加热管110连接，所述串联管140将所述第一出液口 112与所述第二进液口 121连接，所述出液管150通过第二出液口 122与所述第二加热管120连接。在每个加热管的外壁设置有一组加热线圈组(图中未示出)，通过加热线圈组给加热管加热。在上述刻蚀液加热器100中，刻蚀液通过进液管130进...
【技术保护点】
一种刻蚀液加热器，包括至少两个加热管，其特征在于，所述刻蚀液加热器还包括：并行连接在每个加热管上的进液管和并行连接在每个加热管上的进液管的出液管。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：倪尧，肖方，张伟，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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