温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种刻蚀液加热器，包括至少两个加热管，所述刻蚀液加热器还包括：并行连接在每个加热管上的进液管和并行连接在每个加热管上的进液管的出液管。采用并行连接的方式，缩短了刻蚀液的流经线路，因此由进液口到出液口的压力损耗变小，刻蚀液的流...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。