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本实用新型公开了一种用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，包括X轴传送单元和Y轴传送单元，所述X轴传送单元沿垂直方向设置，所述Y轴传送单元沿水平方向设置，其中，所述X轴传送单元上安装有Z轴传送单元；所述X轴传送单元包括第一伺服电机、第一丝杠、第一...
该专利属于苏州镭明激光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州镭明激光科技有限公司授权不得商用。

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