【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种多晶硅还原尾气的处理系统，该系统包括：除尘装置，该除尘装置用于将多晶硅还原尾气进行除尘处理，以便获得经过除尘的还原尾气；压缩装置，该压缩装置与除尘装置相连，用于将经过除尘的还原尾气进行压缩处理，以便获得压缩后气；冷却装置，将压缩后气经过一系列冷却装置，以便得到冷凝液和经过冷却处理的压缩后气，并且将后者冷却装置中所产生的冷凝液和经过冷却处理的压缩后气用于前者冷却装置中的冷却液或冷却气使用。根据本技术实施例的多晶硅还原尾气的处理系统可以节省大量的冷量，从而显著降低多晶硅还原尾气的处理成本和还原尾气对环境的污染。【专利说明】多晶硅还原尾气的处理系统
本技术涉及多晶硅生产领域，具体而言，本技术涉及多晶硅还原尾气的处理系统。
技术介绍
在传统的西门子干法回收工艺中，一般采用“除尘、深冷、压缩、深冷”的方法实现将氯硅烷从还原尾气(氢气、氯化氢、氯硅烷的混合物)中分离出来。该路线的典型代表是CDI公司的干法回收工艺，而且国内多数多晶硅厂家采用此工艺进行生产。然而，该系统流程较为复杂，冷耗消耗较大。因此，多晶硅还原尾气的处理有待进一步改善。技术...
【技术保护点】
一种多晶硅还原尾气的处理系统，其特征在于，包括：除尘装置，所述除尘装置用于将多晶硅还原尾气进行除尘处理，以便获得经过除尘的还原尾气；压缩装置，所述压缩装置与所述除尘装置相连，用于将所述经过除尘的还原尾气进行压缩处理，以便获得压缩后气；第一冷却装置，所述第一冷却装置与所述压缩装置相连且利用冷却水对所述压缩后气进行第一冷却处理，以便获得经过第一冷却处理的压缩后气和第一冷凝液；第二冷却装置，所述第二冷却装置与所述第一冷却装置相连，用于将所述经过第一冷却处理的压缩后气进行第二冷却处理，以便获得经过第二冷却处理的压缩后气和第二冷凝液；第三冷却装置，所述第三冷却装置与所述第二冷却装置相...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：司文学，严大洲，肖荣晖，汤传斌，杨永亮，
申请(专利权)人：中国恩菲工程技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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