下载多晶硅还原尾气的处理系统的技术资料

文档序号:10079343

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种多晶硅还原尾气的处理系统,该系统包括:除尘装置,该除尘装置用于将多晶硅还原尾气进行除尘处理,以便获得经过除尘的还原尾气;压缩装置,该压缩装置与除尘装置相连,用于将经过除尘的还原尾气进行压缩处理,以便获得压缩后气;冷却装置...
该专利属于中国恩菲工程技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。