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多晶硅还原尾气的处理系统技术方案
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文档序号:10079343
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本实用新型公开了一种多晶硅还原尾气的处理系统,该系统包括:除尘装置,该除尘装置用于将多晶硅还原尾气进行除尘处理,以便获得经过除尘的还原尾气;压缩装置,该压缩装置与除尘装置相连,用于将经过除尘的还原尾气进行压缩处理,以便获得压缩后气;冷却装置...
该专利属于中国恩菲工程技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。
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