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住友电气工业株式会社专利技术
住友电气工业株式会社共有5332项专利
制造半导体或液晶的装置制造方法及图纸
一种制造半导体或液晶的装置中,在反应室1内加给反应气体,陶瓷托架2具有嵌入其中的电阻加热元件7。陶瓷圆柱形支承部件3的一端支承陶瓷托架2,另一端被固定在反应室1的一部分上。惰性气体供送管4和惰性气体排气管5每一个都在圆柱形支承部件3内有...
外延基底和半导体元件制造技术
在肖特基二极管11中,氮化镓支撑底板13包括第一表面13a和与第一表面相反的第二表面13b,其载流子浓度大于1×10↑[18]cm↑[-3]。氮化镓外延层15放置在第一表面13a上。欧姆电极17放置在第二表面13b上。肖特基电极19放置...
半导体器件制造技术
一种半导体器件,由半导体元件产生的热能够被充分去除。半导体器件(100)包括具有底表面(2b)和与底表面(2b)相对的元件安装表面(2a)的基板(2),及具有安装到元件安装表面(2a)上的主表面(1a)的半导体元件(1)。主表面(1a)...
外延晶片及元件制造技术
一种外延晶片,具备基板(3)、缓冲层(9)、受光层(11)、窗层(13)。缓冲层(9)形成于基板(3)上。受光层(11)形成于缓冲层(9)上。受光层(11)由具有比构成基板(3)的材料的晶格常数更大的晶格常数的外延膜构成。窗层(13)形...
发光器件制造技术
公开了一种发光器件,该发光器件由于其简单结构而容易制造,并且能够长期稳定地保持高发光效率。这种发光器件在氮化物半导体衬底(1)第一主表面侧包含:n-型氮化物半导体层(2),安置在离氮化物半导体衬底(1)比n-型氮化物半导体层(2)更远处...
头灯制造技术
一种车辆的头灯装备有包含一个或多个发光器件(LED)的光源,以及基体部件(底座和后盖),用以把光源紧固在车辆上。所述发光器件包括:GaN衬底1;在所述GaN衬底1的第一主表面一侧上的n-型Al↓[x]Ga↓[1-x]N层3;位于比所述n...
制造用于从其上切割半导体晶片的单晶块的方法技术
本发明的制造单晶半导体块方法的特征在于,从较大直径的单晶半导体块(1a)中切割出用户所需的多个较小直径的单晶半导体块(2a)。这种方法的第二个优点在于,即使大直径单晶半导体块包含缺陷部分时,仍能够从缺陷区域之外的其它部分切割出一些小直径...
发光装置制造方法及图纸
发光装置是包括:作为氮化物半导体基板的GaN基板(1);在氮化物半导体基板的第(1)主表面一侧的n型Al↓[x]Ga↓[1-x]N层(3);从氮化物半导体基板看,远离n型Al↓[x]Ga↓[1-x]N层(3)的P型Al↓[x]Ga↓[1...
可以识别表里的矩形氮化物半导体基片制造技术
已有的GaN晶片表面是镜面,里面是粗糙面,用肉眼就能看到面粗糙度的不同从而区别表面和里面。这不是容易看清楚的不同,当里面未加利用和保护时恐怕会附着粒子,也恐怕也会使弯曲变大,发生裂缝.发生破裂等。我们希望不用粗糙度的不同也能够区别氮化物...
发光装置、用于制造该发光装置的方法及氮化物半导体衬底制造方法及图纸
本发明涉及一种发光装置,包括:GaN衬底1;布置在GaN衬底1的第一主表面侧面上的n-型氮化物半导体衬底层(n-型Al↓[x]Ga↓[1-x]N层3);与n-型氮化物半导体衬底层相比更远离GaN衬底1布置的p-型氮化物衬底层(p-型Al...
发光器件及其制造方法,以及氮化物半导体衬底技术
根据本发明的发光器件,包括:GaN衬底(1);GaN衬底(1)的第一主表面侧上的n型Al↓[x]Ga↓[1-x]N层(3);与n型Al↓[x]Ga↓[1-x]N层(3)相比更远离GaN衬底(1)设置的p型Al↓[x]Ga↓[1-x]N层...
键合引线和使用其的集成电路装置制造方法及图纸
一种具有芯材料和形成在芯材料上的涂覆层的邦定引线,所述涂覆层包括熔点高于芯材料熔点的金属并且具有至少一项以下特征:1.熔化的芯材料与涂覆材料的湿接触角为20度或更多,2.在邦定引线垂下使其末梢接触水平面并且在该末梢之上15厘米的点处切断...
氮化物系化合物半导体、化合物半导体的清洗、制造方法及基板技术
提供一种抑制杂质或微粒等异物附着在化合物半导体表面的清洗方法和制造方法。本发明的氮化物系化合物半导体的清洗方法,包括:准备氮化物系化合物半导体的工序(基板准备工序(S10))、和清洗工序(S20)。在清洗工序(S20)中,基于pH值为7...
表面处理方法,晶体基材,和半导体设备技术
Ⅲ族氮化物晶体膜的表面处理方法,Ⅲ族氮化物晶体基材,具有外延层的Ⅲ族氮化物晶体基材,和半导体设备。Ⅲ族氮化物晶体膜的表面处理方法,包括将Ⅲ族氮化物晶体膜的表面进行抛光,其中抛光用的抛光液的pH值x和氧化-还原电位值y(mV)同时满足y≥...
氮化镓半导体衬底及其制造方法技术
当氢化物半导体单晶晶片被抛光时,产生加工-变换层。为了除去加工-变换层,需要刻蚀。但是,氮化物半导体材料在化学上是惰性的,不存在适合的刻蚀。尽管提出了例如,氢氧化钾或硫酸作为GaN刻蚀剂,但是它们从Ga表面腐蚀地除去材料是弱的。为了除去...
化合物半导体衬底、外延衬底、制造化合物半导体衬底和外延衬底的方法技术
本发明涉及化合物半导体衬底,其包括由p型化合物半导体构成的衬底;和包含p型杂质原子的物质,该物质结合在所述衬底的表面上。
化合物半导体构件的损伤评价方法技术
本发明提供可以评价表面的损伤程度的化合物半导体构件的损伤评价方法以及损伤的程度小的化合物半导体构件的制造方法、氮化镓类化合物半导体构件及氮化镓类化合物半导体膜。首先,进行化合物半导体基板(10)的表面(10a)的光致发光测定,然后,在利...
发光器件制造技术
根据本发明的发光器件具有:GaN衬底(1);GaN衬底(1)的第一主表面侧上的n型Al↓[x]Ga↓[1-x]N层(3);比n型Al↓[x]Ga↓[1-x]N层(3)更远离GaN衬底(1)设置的p型Al↓[x]Ga↓[1-x]N层(5)...
金刚石n型半导体及其制造方法、半导体元件及电子发射元件技术
本发明涉及在较大的温度范围中充分降低载流子浓度的变化量的金刚石n型半导体等。该金刚石n型半导体,具备金刚石基板和在其主面上形成的被判定为n型的金刚石半导体。该金刚石半导体,在被判定为n型的温度区域内的一部分温度中,载流子浓度(电子浓度)...
加工氮化物半导体晶体的方法技术
在加工晶体的方法中,当加工氮化物半导体晶体(1)时,将电压施加在所述氮化物半导体晶体(1)和工具电极(3)之间导致放电,以便通过所述放电产生的局部热将所述晶体部分去除和加工。
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