能够防止尘埃的产生。搬运装置是将具有载置板状的对象物的载置平面的保持构件经由框体的开口部从框体的外部的第一位置向框体的内部的第二位置搬运的搬运装置，所述搬运装置具备：第一轨道、第二轨道、第三轨道以及第四轨道，它们沿着水平方向设置；辊，其...

在载置板状的对象物时，对象物等不易损伤。载置装置是将板状的对象物水平地载置于设置有孔的保持构件的载置平面的载置装置，所述载置装置具备：基台，其以能够沿上下方向移动的方式设置于保持部的铅垂方向下侧；第一移动部，其使基台沿上下方向移动；以及...

提供反射型掩模坯料的制造方法，所述反射型掩模坯料具有基板和层叠于所述基板的表面且反射曝光光的反射膜，在所述反射膜形成有剖面凹槽形状的基准标记，其中，所述反射型掩模坯料的制造方法包括：轮廓加工工序，沿着所述基准标记的预定形成区域的轮廓利用...

激光退火装置具备射出激光束的多个光束出射部，所述激光束由连续振荡激光构成且相对于被照射面具有长方形的光束点，所述激光退火装置使所述激光束相对于在基板上成膜的非晶硅膜沿着扫描方向相对地进行扫描，而将所述非晶硅膜的带状的改性预定区域晶化，其...

提供能够提高改性为晶化用膜为止的生产效率且实现省空间化及低成本化的激光退火装置。所述激光退火装置具备射出脱氢化用激光束的脱氢化用光学头，所述脱氢化用光学头以使所述脱氢化用激光束先于所述晶化用激光束地照射所述非晶硅膜中的至少改性预定区域来...

聚焦离子束装置具备：射束射出部，其具备聚焦离子束光学系统，该聚焦离子束光学系统对从离子源向内部空间引出的离子束进行调整而射出所述离子束；以及开口部，其与所述内部空间连通，能够使从所述射束射出部射出的离子束通过来对被处理基板进行射束照射，...

本发明是将电子部件转印到转印构件的转印装置，具备：第1贴附装置部(1)，其将通过照射紫外线而粘合力下降的第1转印构件(T1)贴附于形成有多个电子部件的光透射性基板(S1)；第1转印装置部(2)，其通过将电子部件经由激光剥离进行剥离而转印...

本发明的修正装置能够在不提高制造成本的情况下以高精度进行定位。该修正装置具有：第一平台，其具有吸附基板的吸附平台；门架，其设置在吸附平台的上侧；第二平台，其设置在门架；头部，其设置在第二平台，具有修正基板的修正头部；第一移动部，其改变第...

本发明提供一种在表面具有绝缘层的导电体与其他导电体之间简单地制作导电部的制造方法。本发明通过设为如下导电部的制造方法来解决问题，其包括：第1工序，在表面具有绝缘层的第1导电体上层叠第2导电体；及第2工序，包括所述绝缘层在内将所述第1导电...

本发明提供一种防护膜组件把持装置，即使防护膜组件框架变形也能够准确地进行防护膜组件框架的把持。具有：框体(10)，其为将多个棒状构件组合成大致矩形形状的框状的构件；多个防护膜组件把持构件(21)，其设置在框体(10)；以及驱动部，其设置...

提供一种提高能量束通过的处理空间的真空度而使得检查精度或处理精度高的聚焦能量束装置。所述聚焦能量束装置具备头部和聚焦能量束柱状体，在头部的对置面上形成有中央排气口和围绕所述中央排气口的外侧的至少一个以上的外侧排气槽，所述聚焦能量束柱状体...

提供一种聚焦能量束装置，其具备：支承部，其支承被处理基板；以及聚焦能量束柱状体，其具备差动排气装置且能够以与所述被处理基板的被处理面的任意区域对应的方式进行相对移动，其中，所述支承部在将所述被处理基板水平地配置的状态下仅支承所述被处理基...

提供一种聚焦离子束装置，其具备差动排气装置和聚焦离子束柱状体，还具备：真空垫，其使吸入面露出以围绕被处理基板的面方向的外侧，且由多孔质材料构成；基板支承台，其载置所述被处理基板和所述真空垫；以及真空泵，其对所述真空垫进行真空吸引，当所述...

本发明提供一种聚焦离子束装置，其具备聚焦离子束柱状体，所述聚焦离子束柱状体在镜筒中内置有聚焦离子束光学系统而将聚焦离子束从所述镜筒的前端部射出，其中，在从所述聚焦离子束光学系统射出的所述聚焦离子束的去路的附近配置有向被处理基板的表面供给...

加工装置具备：差动排气装置，其在头部中的与被处理基板对置的面形成有多个环状槽，该多个环状槽围绕所述头部的中心，在比所述多个环状槽中的最内侧的所述环状槽靠内侧的区域设置有开口部，该开口部形成能够对所述被处理面进行处理的处理用空间，在多个所...

差动排气装置将处理用空间设为高真空度，其中，所述差动排气装置具备：位移驱动部，其能够使头部或被处理基板进行位移来调整被处理面与所述头部的对置面的平行度及距离；间隙测定部，其沿着所述头部的所述对置面的周缘分别配置在至少三个部位以上，能够检...

提供一种蒸镀掩模用框架，该蒸镀掩模用框架轻量并具有高刚性，且抑制脱气的产生。一个实施方式的蒸镀掩模用框架(50)具备构成为保持蒸镀掩模的框架主体(51)。框架主体是基材以及强化材料均由无机固体材料构成的复合材料。及强化材料均由无机固体材...

透镜阵列(50)具备透镜板(51)和多个透镜(52)。透镜板(51)具有固定有透镜(52)的透镜区域(53)和未固定有透镜(52)的非透镜区域(54)。另外，在固定有LED(25)的基板(24)上具有固定有LED(25)的LED区域(2...

本发明公开一种基板保持装置，在将基板向基准面按压时，能够使基板整体朝向基准面顺畅移动。将大致板状的基板沿着大致铅垂方向保持的基板保持装置中，基板的配置于铅垂方向下侧的下端面所抵接的多个保持块具有与基板的下端面抵接的上侧块和设置于上侧块的...

激光退火装置使CW激光相对于非晶硅膜沿固定方向进行相对移动，使非晶硅膜进行横向晶体生长来形成晶化硅膜，其中，光学系统具备：光束整形部，其将CW激光整形为形成聚光环的激光束；以及光束分割部，其具有反射面，该反射面将整形后的环状的激光束分割...