蒸镀掩模用框架、带框架蒸镀掩模以及蒸镀方法技术

提供一种蒸镀掩模用框架，该蒸镀掩模用框架轻量并具有高刚性，且抑制脱气的产生。一个实施方式的蒸镀掩模用框架(50)具备构成为保持蒸镀掩模的框架主体(51)。框架主体是基材以及强化材料均由无机固体材料构成的复合材料。及强化材料均由无机固体材料构成的复合材料。及强化材料均由无机固体材料构成的复合材料。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蒸镀掩模用框架、带框架蒸镀掩模以及蒸镀方法


[0001]实施方式涉及蒸镀掩模用框架、带框架蒸镀掩模以及蒸镀方法。

技术介绍

[0002]在有机EL(electro
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luminescence：电致发光)面板的制造中，已知有在蒸镀室内在被蒸镀基板上蒸镀有机物等蒸镀物质时使用的蒸镀掩模、以及保持该蒸镀掩模的蒸镀掩模用框架。
[0003]在通过蒸镀处理形成高精细的图案的情况下，由于蒸镀掩模的厚度，从倾斜方向入射的蒸镀物质被遮挡，像素内不能均匀地蒸镀，可能产生阴影的问题。因此，希望将蒸镀掩模设计成薄膜。薄膜的蒸镀掩模的刚性容易降低，有时蒸镀掩模单体不容易相对于被蒸镀基板高精度地定位。因此，要求蒸镀掩模用框架具有高刚性，从而具有取代蒸镀掩模而提高蒸镀掩模相对于被蒸镀基板的定位精度的功能。
[0004]另外，在蒸镀处理时，来自蒸镀源的热量向蒸镀掩模以及蒸镀掩模用框架辐射，发生蒸镀掩模以及蒸镀掩模用框架的热变形。因此，为了抑制蒸镀掩模由于温度变化而变形，希望蒸镀掩模用框架具有与蒸镀掩模相同程度低的热膨胀系数。由于在蒸镀掩模中经常使用殷钢合金，因此在蒸镀掩模用框架中也经常使用殷钢合金。
[0005]另外，在专利文献1中，提出了一种蒸镀掩模用框架，该蒸镀掩模用框架由柱状的芯部和面板形成为夹层构造体，该柱状的芯部内含通过以碳化硅为强化纤维的碳纤维强化塑料(CFRP：Carbon fiber reinforced plastics)而形成的空隙，该面板覆盖该柱状的芯部的包含露出空隙的面的侧面的周围且由粘贴于芯部的由CFRP或金属板构成。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1：日本国特开2019
‑
112713号公报

技术实现思路

[0009]专利技术要解决的课题
[0010]伴随着有机EL面板的大型化，该有机EL面板的制造中使用的蒸镀掩模用框架有大型化、质量增加的倾向。因此，在使用密度为8.1[g/cm3]左右的殷钢合金作为蒸镀掩模用框架的情况下，在蒸镀装置内用于输送蒸镀掩模用框架的输送机器人的载荷过大，结果有可能增加蒸镀装置的成本。
[0011]另一方面，CFRP在具有高刚性的同时，密度为1.6[g/cm3]左右，因此能够形成比殷钢合金轻的蒸镀掩模用框架。因此，从减轻对输送机器人施加的载荷的观点出发，能够比殷钢合金更有利。
[0012]然而，CFRP包括塑料(树脂)。在专利文献1中，该树脂虽然使用具有热固化性的树脂，但在蒸镀室内的真空环境中，会成为脱气的产生原因，会引起该脱气导致的被蒸镀基板的污染。
[0013]本专利技术是鉴于这样的实际情况而完成的，其目的在于提供一种蒸镀掩模用框架，该蒸镀掩模用框架轻量并具有高刚性，且抑制脱气的产生。
[0014]用于解决课题的方案
[0015]为了解决上述的课题，本专利技术采用以下的结构。
[0016]即，实施方式的蒸镀掩模用框架具备构成为保持蒸镀掩模的框架主体。上述框架主体是基材以及强化材料均由无机固体材料构成的复合材料。
[0017]专利技术效果
[0018]根据本专利技术，能够提供一种蒸镀掩模用框架，该蒸镀掩模用框架轻量并具有高刚性，且抑制脱气的产生。
附图说明
[0019]图1是示出实施方式的蒸镀装置的结构的示意图。
[0020]图2是示出实施方式的带框架蒸镀掩模的结构的俯视图以及侧视图。
[0021]图3是示出实施方式的带框架蒸镀掩模的结构的剖视图。
[0022]图4是示出设置在实施方式的蒸镀装置的蒸镀室内的带框架蒸镀掩模的示意图。
[0023]图5是用于说明实施方式的效果的示意图。
[0024]图6是示出变形例的带框架蒸镀掩模的结构的俯视图以及侧视图。
具体实施方式
[0025]以下，参照附图对实施方式进行说明。各实施方式例示了用于具体化专利技术的技术思想的装置和方法。附图是示意性或概念性的，各附图的尺寸以及比率等未必与现实的相同。本专利技术的技术思想并不是通过构成要素的形状、构造、配置等来确定的。
[0026]需要说明的是，在以下的说明中，对于具有大致相同的功能以及结构的构成要素，标注相同的参照附图标记。在相互区分具有大致相同的功能以及结构的多个构成要素的情况下，在参照附图标记的末尾，还附加有分配给多个构成要素的每一个的数字或字符。
[0027]1.实施方式
[0028]对实施方式的蒸镀掩模用框架进行说明。实施方式的蒸镀掩模用框架是用于保持在有机EL面板的制造工序中用于在被蒸镀基板形成蒸镀图案的蒸镀掩模的框架。蒸镀掩模用框架具有难以因热或自重而变形的特性，通过与蒸镀掩模接合，能够容易地进行蒸镀掩模相对于被蒸镀基板的正确的定位。
[0029]需要说明的是，作为有机EL面板的显示方式，可以有使各自独立蒸镀的红、蓝、绿三原色的有机EL层单独地发光而进行有色显示的方式，和经由滤色器对在一面蒸镀的白色的有机EL层的白色发光进行有色显示的方式。实施方式的蒸镀掩模用框架在上述的任一种显示方式的有机EL面板的制造工序中都可以应用。
[0030]1.1结构
[0031]首先，对实施方式的蒸镀掩模用框架以及带框架蒸镀掩模、以及应用该带框架蒸镀掩模的蒸镀装置的结构进行说明。
[0032]1.1.1蒸镀装置
[0033]图1是用于说明实施方式的蒸镀装置的结构的示意图。在图1中，示出用于在被蒸
镀基板上蒸镀蒸镀物质、作为有机EL面板发挥功能的蒸镀装置1的一部分的概观。
[0034]如图1所示，蒸镀装置1具备至少一个集群CTR，同时设置有清洗室8，该集群CTR具备输送室2、交接室3以及4、掩模储存室5、以及多个蒸镀室6(6A、6B以及6C)。蒸镀装置1内能够维持例如1.0
×
10
‑4[Pa]以下的真空状态。
[0035]输送室2例如设置在交接室3以及4、掩模储存室5以及多个蒸镀室6A～6C的中心。在输送室2，设置有输送机器人7。输送室2构成为，能够经由该输送机器人7将被蒸镀基板(未图示)输送到交接室3以及4、掩模储存室5以及多个蒸镀室6A～6C中的任一个。
[0036]交接室3以及4例如是用于在与其他集群CTR(未图示)之间交接被蒸镀基板的室，分别连接两个集群CTR之间。
[0037]掩模储存室5是在设置于相同的集群CTR内的多个蒸镀室6A～6C内保管与被蒸镀的图案对应的多个蒸镀掩模(未图示)的室。如后述这样，保管在掩模储存室5内的多个蒸镀掩模的每一个可以在与蒸镀掩模用框架(未示出)一体化的状态(带框架蒸镀掩模的状态)下被保管。另外，掩模储存室5具有实施在真空环境和大气压环境之间置换室内的压力的置换工序的功能。
[0038]蒸镀室6A～6C具备用于对被蒸镀基板蒸镀各自不同的蒸镀物质的功能。通过输送机器人7，以规定的顺序将被蒸镀基板输送到蒸镀室6A～6C。由此，在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种蒸镀掩模用框架，具备构成为保持蒸镀掩模的框架主体，所述框架主体是基材以及强化材料均由无机固体材料构成的复合材料。2.如权利要求1所述的蒸镀掩模用框架，其中，还具备至少一个固定在所述框架主体的金属材料的台座，所述框架主体构成为经由所述至少一个台座来保持蒸镀掩模。3.如权利要求1所述的蒸镀掩模用框架，其中，所述复合材料是碳纤维强化碳复合材料。4.如权利要求1所述的蒸镀掩模用框架，其中，所述复合材料是金属基复合材料。5.如权利要求2所述的蒸镀掩模用框架，其中，所述框架主体具有矩形状，所述至少一个台座包括第一台座以及第二台座，所述第一台座固定在所述框架主体中的所述矩形状的第一边，所述第二台座固定在所述框架主体中的与所述第一边对置的第二边。6.如权利要求5所述的蒸镀掩模...

【专利技术属性】
技术研发人员：若林雅，野本将史，
申请(专利权)人：株式会社V技术，
类型：发明
国别省市：