本发明提供一种能够将基板加工成更复杂的形状的基板处理方法以及基板处理装置。基板处理方法是将具有交替层叠的氧化膜(Ma)和氮化膜(Mb)的基板(W)，在处理槽(3)中用含磷酸的蚀刻液(E)蚀刻的方法。在第一处理工序(步骤S2)中，控制参数...

本发明在于提供一种能够在减轻使用者的负担的同时创建准确的训练数据的训练数据创建辅助装置、训练数据创建辅助系统以及训练数据创建辅助方法。由推定部使用预先准备的学习模型推定应该赋予给训练数据的标签作为第一标签。推定出的第一标签由提示部提示。...

本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。衬底处理装置(1)具备：筒状护罩(53A)，接住从衬底(W)向外侧飞溅的液体；腔室(12)，包围护罩(53A)；间隔板(81)，将腔室(12)内的护罩(53A)周围的空间上下隔开；以及排气管，将...

本发明涉及信息处理装置、信息处理系统以及信息处理方法。在信息处理装置中，由获取部获取表示解释变量与目标变量的关系的学习用数据。在由获取部获取到的学习用数据中，由层级决定部决定目标变量所含的多个项目的层级关系。基于由层级决定部决定的层级关...

本发明提供能够防止光扩散板的滑动的热处理装置。在设置于容纳半导体晶片的腔室的上部的石英的上侧腔室窗(63)的上表面载置有石英的光扩散板(90)。光扩散板(90)的下表面被实施喷丸加工而成为磨砂玻璃。在光扩散板(90)载置于上侧腔室窗(6...

本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。主机器人的机械手进入到处理单元。将由机械手保持的处理前的衬底交递到处理单元的搬入位置。在将处理前的衬底交递到搬入位置之后，利用机械手从处理单元的搬出位置接收处理后的衬底。在从搬出位置接收处理后的...

本发明涉及一种衬底清洗装置及衬底清洗方法。在第1高度位置，通过上侧保持装置保持衬底的外周端部。在比第1高度位置更靠下方的第2高度位置，通过下侧保持装置吸附保持衬底的下表面中央区域，并使衬底绕铅直轴旋转。在第1高度位置与第2高度位置之间，...

本发明的目的在于，提供一种在向受体移植脏器时，能够保持具有各种大小、形状的脏器，并且不易妨碍主刀医生的操作的医疗器具。本发明的脏器容纳容器(1)具有袋状或筒状的隔热片材(10)。隔热片材(10)具有开口(100)，能够容纳从开口(100...

本发明涉及一种衬底洗净装置、衬底处理装置及衬底洗净方法。本发明的第1衬底保持部保持衬底的外周端部。第2衬底保持部在第1衬底保持部下方的位置吸附保持衬底的下表面中央区域。下表面刷在与利用第1衬底保持部保持的衬底的下表面接触的位置、与下表面...

本申请说明书所公开的技术是一种在真空腔内即使是弯曲的基板也能够适当地被保持的技术。关于本申请说明书所公开的技术的基板保持方法，包括：在真空腔内，将基板配置于沿着第一方向弯曲的载置台的上表面的工序；以及使用设置于所述载置台的所述上表面的一...

本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。衬底处理装置包含衬底处理部与衬底搬送部。衬底处理部包含构成为能保持衬底的上侧保持装置及下侧保持装置。衬底处理部中，下侧保持装置设置在上侧保持装置的下方。因此，能由上侧保持装置保持衬底的高度位置，...

本发明提供一种真空处理装置，在真空腔室内能够适当地进行载物台的移动。真空处理装置具有：真空腔室；载物台，设置在真空腔室内；外部固定部，经由伸缩性构件与真空腔室连接；移动机构，固定于外部固定部且设置在真空腔室内，并且用于使载物台移动，移动...

本发明提供一种真空处理装置，能够抑制因升降销机构的移动而产生摩擦热或产生灰尘等。真空处理装置具有：真空腔室；载物台，形成有孔；移动机构，使载物台移动；以及升降销机构，相对于载物台独立地固定在真空腔室内，并且从下方支撑配置于载物台的基板，...

本发明涉及一种利用显影液对基板进行显影的显影方法及显影装置。本发明的显影装置包括：搬送部，将表面具有经曝光的光致抗蚀剂膜的基板以光致抗蚀剂膜朝上的方式水平搬送；一次供给部，向基板的上表面供给显影液并用显影液的液膜进行覆盖；以及二次供给部...

副垫片基材(9)依次具有长条带状的第二背板(91)、副垫片膜(92)以及覆盖膜(93)。第二半切部(4)沿与电极层基材(8)的第一催化剂层(83)对应的对应区域(9A1)设置从覆盖膜(93)的表面到达第二背板(91)的厚度方向中间部为止...

本发明提出一种在将电接地作为目的而安装于辊轴的装置中，容易组装的导电装置以及辊输送装置。本发明的导电装置包括：壳体，具有卡合在辊轴的端部的卡合部位；轴构件，经由设置于壳体的开口而朝外部突出；轴承，相对于壳体旋转自如地支撑轴构件；以及导电...

本发明的工件接收装置具备：载置部(11)，其上表面成为能够载置预先决定的形状的工件(W)的载置面(11a)；以及投影部(13)，其设于载置面的上方，将示出载置面上的工件的适当的位置及姿势的导向图像投影到载置面。导向图像是与工件的形状以及...

本发明涉及一种位置判定装置、衬底搬送装置、位置判定方法及衬底搬送方法。衬底搬送装置具备保持衬底的机械手、使机械手在水平面内分别移动的支撑部件、旋转部件及移动部件。此外，衬底搬送装置具备：检测器，具有检测区域；及搬送控制部，在搬送衬底时控...

本发明涉及一种旋转保持装置及具备该旋转保持装置的衬底处理装置。旋转保持装置具备：吸附保持部，具有吸附保持衬底的下表面中央部的上表面；及旋转驱动部，使吸附保持部绕铅垂轴旋转。上表面具有周缘部区域、及被周缘部区域包围的中央部区域。在周缘部区...

本发明涉及一种衬底处理方法及衬底处理装置。用来将具有硬化层的抗蚀剂从衬底表面去除的衬底处理方法包含硬化层去除步骤与湿处理步骤。硬化层去除步骤包含将所述衬底加热到150℃以上的加热步骤、与对通过所述加热步骤加热的所述衬底的表面供给臭氧气体...