本发明提供等离子处理装置以及等离子处理方法。即使是在半导体晶片表面的微细形状中发生偏差的情况，也能精度良好地检测被处理膜的厚度。在具备检测在真空处理室的内部中被处理的被处理件的被处理膜的状态的处理状态检测组件的等离子处理装置中，具备如下...

更简便且切实地使生物分子在纳米孔内往复运动。一种衔接子分子，其与分析对象的生物分子直接或间接地结合，且具有由单链核苷酸构成的立体结构形成区域。成的立体结构形成区域。成的立体结构形成区域。

本发明提供一种自动分析装置，其提高疾病和接下来应进行的检查的判定的可靠性。在自动分析装置中具备针对每个患者存储有患者数据的存储器，该患者数据包含分析单元得到的过去的测定数据、既往病史、用药历史以及家族病史的至少1种，在从分析单元输入了测...

在带电粒子显微镜装置中的视野调整方法中，设定试样的参照数据，针对参照数据设定多个关心区域，针对多个关心区域的各区域设定稀疏的采样坐标组，根据采样坐标组对试样照射带电粒子而得到对应的像素值组，根据像素值组生成与多个关心区域对应的多个重构图...

一种带电粒子束装置(100)具有：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；粒子检测部(130)，其对向试样(S)照射带电粒子束引起的粒子进行检测；以及控制部(151)，其根据来自粒子检测部(130)的输出来生成试样(S)的图像，...

本发明能够根据SN比低的图案图像测量出工艺间的重叠误差。因此，根据二次电子检测器(107)的检测信号形成二次电子像(200)，根据反射电子检测器(109)的检测信号形成反射电子像(210)，制作将反射电子像中的亮度信息沿线图案的长度方向...

在复合型自动分析装置中，迅速地确定异常部位，缩短为了消除异常而对应的时间。该复合型自动分析装置具备：不同种类的分析部；与分析部对应的不同的检测器；不同种类的分析部所使用的共用的机构部；以及控制部，其具有基于由凝血分析部测定出的时间序列数...

本发明的带电粒子束装置(100)具备：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；检测部(130)，其输出向试样(S)照射带电粒子束引起的信号；显示部(154)，其输出用于从多个条件组中选择1个条件组的条件选择界面；以及控制部(15...

本发明提供一种技术，在不参照需要技能的图像处理的参数调整或难以获得的情况的设计图的情况下就能够执行测量处理。本公开的测量系统参照基于根据半导体的样品图像生成的监督数据和样品图像而生成的学习模型，根据具有预定结构的半导体的输入图像(测量目...

本发明的目的在于提供一种能够推定制程错误的原因并且提示该制程错误的修正候补的系统。本发明的制程信息提示系统或制程错误推定系统使学习器学习制程与起因于该制程的错误之间的对应关系，从所述学习器取得针对在使用了新的所述制程时是否发生错误的推定...

一种具有处理器和存储部的计测装置，存储部保持由拍摄装置取得的按每时刻的计测数据、和时空间制约。处理器从按每时刻的计测数据提取物体的位置；判定物体是否满足时空间制约；基于物体是否满足时空间制约的判定结果，判定物体是否是解析对象。物体是否是...

在短时间内测量重合偏差量的测定。图像生成部根据检测器的信号生成图像。匹配处理部在由图像生成部生成的图像中，通过与模板图像的匹配处理，确定重合测量用图案的位置。线轮廓生成部对重合图案进行扫描，生成针对二次电子信号的第一线轮廓，并且生成针对...

在不中断操作的情况下，将废液罐中的废液可靠地杀菌后废弃，减轻废弃废液中用户的负担。自动分析装置具备：测定部，其进行关于检体的测定；第一废液罐，其收纳从测定部经由第一流路排出的废液；第二废液罐，其收纳从测定部经由第二流路排出的废液；电磁阀...

本发明提供能够更适当地维持真空室的气压的质量分析装置以及控制该质量分析装置的方法。本发明的质量分析装置的一例具备：第一真空室(101、201、301、401、501)、第一真空泵(106、203、303、403、503)、大气压相关值取...

本发明提供一种在分注用于化学反应的试剂等的液体分注装置中，判定反应所需的试剂是否正常地排出到反应容器内的手段。作为该手段，液体分注装置包括用于将反应位置控制到任意温度的温度控制部；及用于监视反应位置的温度的温度监视部，由温度监视部监视由...

自动分析装置(100)具备至少在试样的电位测定前实施1次以上的内部标准液的测定的电解质测定部(114)，在连续实施由电解质测定部(114)进行的试样的电位测定的情况下，根据前一次测定的试样是否是高浓度试样来变更电位测定前的内部标准液的测...

在需要在产生了警报的装置之前访问其他场所的情况下，缩短处置所需要的时间。因此，基于从负责人日程管理表(214)得到的位于临床检查室(101)内的检查技师当前正在执行的任务的信息和从警报信息管理表(212)及警报处置中途停留位置管理表(2...

本发明提出一种用于降低装置停止、结果报告延迟的风险的自动分析装置。该自动分析装置具备：分析动作部，其对将试剂和检体分注到反应容器而得到的反应液进行分析；控制部，其控制分析动作部的动作；存储部，其存储分析动作部的分析结果和分析动作部使用的...

本发明的衍射光栅的制造方法提高衍射光栅的性能。准备包括基板(7)、和具有由多个槽(GR1)构成的表面形状的抗蚀剂图案(6b)的成型构件(8)。多个槽(GR1)包括多个底部(BP1)和多个顶部(TP1)，多个底部(BP1)和多个顶部(TP...

在依次层叠有铁磁性固定层、铁磁性自由层以及保护层的磁阻效应元件中，能够不损害作为磁传感器的功能而更高效地进行磁阻效应元件上的磁场的检测。作为方法，形成GMR层叠膜，该GMR层叠膜具备铁磁性自由层以及形成在铁磁性自由层上、保护铁磁性自由层...